Влияние быстрого термического отжига на свойства тонких диэлектрических пленок оксидов гадолиния, титана и эрбия на поверхности карбида кремния
Бачериков Ю.Ю., Дмитрук Н.Л., Конакова Р.В., Кондратенко О.С., Литвин О.С., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Капитанчук Л.М., Светличный А.М., Поляков В.В., Шелкунов А.А.1
1Таганрогский государственный радиотехнический университет, Таганрог, Россия
Email: svetlich@tsure.ru
Поступила в редакцию: 5 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.
Методами атомно-силовой микроскопии, монохроматической эллипсометрии, оптического поглощения и фотолюминесценции исследовано влияние быстрого термического отжига (БТО) на свойства пленок оксидов Ti, Ga, Er на карбиде кремния. Проведен также анализ атомарного состава исследуемых пленок в зависимости от времени БТО. Показано, что в зависимости от времени БТО можно изменять фазовый состав пленок оксидов Ti, Ga, Er на карбиде кремния. PACS: 85.40.Sz, 81.07.-b
- Окисление металлов / Под ред. Ж. Бернара. Т. 1. М.: Металлургия, 1968. 499 с
- Поляков В.В., Светличный А.М., Кочеров А.Н., Шелкунов А.А. // Микроэлектронные преобразователи и приборы на их основе. Баку: Мутарджим, 2003. С. 62--64
- Светличный А.М., Поляков В.В., Кочеров А.Н. // Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники. Таганрог: ТГРУ, 2002. С. 90
- Бачериков Ю.Ю., Конакова Р.В., Кочеров А.Н. и др. // ЖТФ. 2003. Т. 7. Вып. 5. С. 75--78
- Палатник Л.С. и др. // Физ. мет. и металловед. 1961. Т. 11. С. 864--871
- Пленки оксидов редкоземельных элементов в МДМ и МДП структурах / Под ред. З.И. Кирьяшкиной. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1983. 160 с
- Ущановский Л.В. // Физика магнитных пленок. вып. 2. Иркутск: Изд-во Иркут. ун-та, 1970. С. 49--53
- Лазарев В.Б., Соболев В.В., Шаплыгин И.С. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. М.: Наука, 1983. 239 с
- Анацкая Н.О., Осадчев Л.А., Савельев С.П. и др. // Обзоры по электронной технике. Сер. "Материалы". Вып. 5 (968). М.: ЦНИИ "Электроника", 1983. 53 с
- Абрамов А.А., Ковтонюк Н.Ф., Лебедев Е.Н. и др. // Обзоры по электронной технике. Сер. "Материалы". Вып. 14(251). М.: ЦНИИ "Электроника", 1974. 45 с
- Горбань И.С., Крохмаль А.П. // ФТП. 2001. Т. 36. Вып. 11. С. 1299--1305
- Сафаралиев Г.К., Эмиров Ю.Н., Курбанов М.К., Билалов Б.А. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 8. С. 929--931
- Patrick L., Choyke W.J. // Phys. Rev. B. 1972. Vol. 5. N 8. P. 3253--3259
- Choyke W.J., Patrick L. // Phys. Rev. B. 1971. Vol. 4. N 6. P. 1843--1847
- Горбань И.С., Рудько С.Н. // ФТТ. 1963. Т. 5. Вып. 5. С. 1368--1372
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук