Определение удельной ионной эрозии катода вакуумной дуги на основе измерения полного ионного тока из разрядной плазмы
Андерс А., Окс Е.М., Юшков Г.Ю., Савкин К.П., Браун Я., Николаев А.Г.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: savkin@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 13 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.
Представлены результаты определения удельной ионной эрозии катода gammai на основе измерения полного ионного тока из плазмы вакуумной дуги для материалов: C, Mg, Al, Ti, Co, Cu, Y, Mo, Cd, Sm, Ta, W, Pt, Pb, Bi. Показано, что в токе вакуумного дугового разряда alphai изменяется от 5 до 19%, в зависимости от катодного материала. Экспериментально обнаружена обратная зависимость между долей ионного тока alphai и энергией связи атомов материала катода. Установлено, что создание внешнего магнитного поля в катодной области разряда приводит к увеличению извлекаемого из плазмы разряда полного ионного тока только за счет появления в плазме ионов с более высокими зарядовыми состояниями, при этом значение удельной ионного эрозии gammai остается постоянной величиной. PACS: 82.45.Fk, 52.80.Vp
- Месяц Г.А. Эктоны в вакуумном дуговом разряде: пробой, искра, дуга. М.: Наука, 2000. 424 с
- Бугаев А.С., Гушенец В.И., Юшков Г.Ю. и др. // Изв. вузов. Физика. 2001. N 9. C. 15--22
- Kimblin C.W. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. P. 3074--3081
- Daalder J.E. // J. Phys. D. Appl. Phys. 1975. Vol. 8. P. 1647--1659.
- Месяц Г.А., Баренгольц С.А. // УФН. 2002. Т. 172. N 10. C. 1113--1130
- Eckhardt G.J. // Appl. Phys. 1975. Vol. 46. P. 3282
- Anders A., Yushkov G.Yu. // Appl. Phys. Lett. 2002. N 14. P. 2457--2459
- Anders A. Book Emerging Applications of Vacuum-Arc-produced Plasma, Ion and Electron beams / Ed. by E.M. Oks, J.G. Brown. Amsterdam: Kluwer Academic Publishers, 2002. P. 1--15
- Николаев А.Г., Окс Е.М., Юшков Г.Ю. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 5. С. 39--43
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.