Расчет толщин и упругих свойств тонкопленочных покрытий на основании данных атомно-силовой акустической микроскопии
Батог Г.С.1, Батурин А.С.1, Бормашов В.С.1, Шешин Е.П.1
1Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: egor@lafeet.mipt.ru
Поступила в редакцию: 3 октября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.
Исследована возможность применения атомно-силовой акустической микроскопии (АСАМ) для измерения упругих свойств тонкопленочных покрытий и контроля их толщины в диапазоне от единиц до сотен нанометров. Практический интерес данная методика может иметь при исследовании алмазоподобных покрытий. Главной особенностью предлагаемого подхода является применение "плоских" зондов, обеспечивающих постоянство площади контакта зонда с поверхностью, а следовательно, и контактной жесткости. Применение подобных зондов обусловлено тем, что стандартные зонды с закругленным острием не позволяют количественно интерпретировать экспериментальные данные при исследовании тонкопленочных структур. На основе результатов численного моделирования были получены данные, позволяющие по измеренному с помощью методики АСАМ значению контактной жесткости kcont количественно определять такие параметры, как толщину или индентационный модуль покрытия. PACS: 81.05.-t
- Rabe U., Amelio S., Kester E. et al. // Ultrasonics. 2000. Vol. 38. P. 430--437
- Hurley E.C., Shen K., Jennett N.M. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 94. P. 2347--2354
- Minne S.C., Adams J.D., Quate C.F. et al. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 76. N 14. P. 1950--1952
- Yaralioglu G.G., Degertekin F.L., Crozier K.B. et al. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 87. N 10. P. 7491--7496
- Rabe U., Arnold W., Amelio S. et al. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 392. P. 75--84
- Field S.K., Jarratt M., Teer D.G. // Trib. Int. 2004. Vol. 37. Iss. 11--12. P. 949--956
- Piazzaa F., Gramboleb D., Schneiderc D. et al. // Diamond and Rel. Mat. 2005. Vol. 14. Iss. 3--7. P. 994--999
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. М.: Наука, 1987. 248 с
- Rabe U., Amelio S., Kopicinska M. et al. // Surf. Interface Anal. 2002. Vol. 33. P. 65--70
- Muraoka M. // Nanotechnology. 2005. Vol. 16. P. 542--550
- Федоренко Р.П. Введение в вычислительную физику. М.: Изд-во МФТИ, 1994. 528 с
- Busio R., Buatier de Mongeot F., Boragno C. et al. // Thin Solid Films. 2003. Vol. 428. P. 111--114
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
