"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Магнетронное напыление молибденовых зеркал и зеркальной микронной фольги со столбчатой упорядоченной нанокристаллитной структурой
Рогов А.В.1, Вуколов К.Ю.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 20 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2006 г.

Проведено исследование условий формирования столбчатой нанокристаллитной структуры отражающего покрытия при использовании молибдена в качестве напыляемого материала и материала подложки. Использовался магнетронный метод напыления на постоянном токе. В качестве подложек применялись молибденовые монокристаллические заркала. Обнаружен эффект скалывания покрытия совместно с аморфно-дефектным слоем подложки, сформированным при полировке. На основе этого эффекта получена свободная зеркальная молибденовая фольга. При удалении аморфно-дефектного слоя с подложки перед напылением получены образцы зеркал с хорошей адгезией отражающего покрытия. PACS: 81.15.-z, 42.70.-a
  • Voitsenya V.S., Bardamid A.F., Belyaeva A.I. et al. // Proceedings of International Conference on Advanced Diagnostics for Magnetic and Inertial Fusion. 2001. Varenna (Italy). Plenum Publishers. P. 285--294
  • Thornton J.A. // J. Vac. Sci. Technol. 1974. Vol. 11. P. 666--670
  • Рогов А.В., Вуколов К.Ю., Горшков А.В. и др. // ВАНТ. 2005. N 2. С. 39--55
  • Wu Y.G., Cao E.H., Wang Z.S. et al. // Appl. Phys. 2003. A 76. P. 147--152
  • Веденский В.Д., Рязанкин В.П. // Вакуумная технология оптического приборостроения. М.: Высшая школа, 1988. С. 51
  • Готра З.Ю. // Технология микроэлектронных устройств. Справочник. М.: Радио и связь, 1991. С. 107
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.