Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Магнетронное напыление молибденовых зеркал и зеркальной микронной фольги со столбчатой упорядоченной нанокристаллитной структурой

Рогов А.В.¹, Вуколов К.Ю.¹

¹Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия National Research Center “Kurchatov Institute”, Moscow, Russia

Email: alex-rogov@yandex.ru

Поступила в редакцию: 20 июня 2005 г.

Выставление онлайн: 19 марта 2006 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Проведено исследование условий формирования столбчатой нанокристаллитной структуры отражающего покрытия при использовании молибдена в качестве напыляемого материала и материала подложки. Использовался магнетронный метод напыления на постоянном токе. В качестве подложек применялись молибденовые монокристаллические заркала. Обнаружен эффект скалывания покрытия совместно с аморфно-дефектным слоем подложки, сформированным при полировке. На основе этого эффекта получена свободная зеркальная молибденовая фольга. При удалении аморфно-дефектного слоя с подложки перед напылением получены образцы зеркал с хорошей адгезией отражающего покрытия. PACS: 81.15.-z, 42.70.-a

Voitsenya V.S., Bardamid A.F., Belyaeva A.I. et al. // Proceedings of International Conference on Advanced Diagnostics for Magnetic and Inertial Fusion. 2001. Varenna (Italy). Plenum Publishers. P. 285--294
Thornton J.A. // J. Vac. Sci. Technol. 1974. Vol. 11. P. 666--670
Рогов А.В., Вуколов К.Ю., Горшков А.В. и др. // ВАНТ. 2005. N 2. С. 39--55
Wu Y.G., Cao E.H., Wang Z.S. et al. // Appl. Phys. 2003. A 76. P. 147--152
Веденский В.Д., Рязанкин В.П. // Вакуумная технология оптического приборостроения. М.: Высшая школа, 1988. С. 51
Готра З.Ю. // Технология микроэлектронных устройств. Справочник. М.: Радио и связь, 1991. С. 107

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель