"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Масс-спектры высокого разрешения остаточного газа в металлической вакуумной системе
Ануфриев Г.С.1, Болтенков Б.С.1, Рябинков А.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: anufriev.mass1@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2005 г.

В диапазоне масс 1--140 u. получены и идентифицированы масс-спектры остаточного газа в металлической вакуумной камере объемом 3 l при помощи магнитного резонансного масс-спектрометра высокого разрешения и высокой чувствительности типа МИ 9303. Исследования выполнены при четырех различных способах откачки в диапазоне давлений P=10-8-10-10 Torr с разрешением практически всех массовых пиков, образующих мультиплеты. Получено, что мультиплетный состав масс-спектров остаточного газа с массовыми числами M=<q 80, как правило, имеет сложную многокомпонентную структуру, и при всех способах откачки общее давление в камере, в основном, определяется водородом. Вслед за водородом наиболее интенсивными пиками масс-спектра являются пики CH4+, H2O+, CO+, CO+2. Другие линии масс-спектров остаточного газа образованы главным образом линиями различныx соединений C, H, N, O. Кроме того, фоновый масс-спектр содержит соединения на основе Cl и F и некоторые изотопы инертных газов. Мультиплеты масс с M>80 часто вырождаются до одной углеводородной линии. PACS: 33.15.Ta
  1. Ko Y.C., Jeon D. // Appl. Surfase Sci. 2003. Vol 215. N 1--2. P. 228--231
  2. Laubender J., Chcoda L., Sokolovcki W., Umbach E. // Synt. Metals. 2000. Vol. 111--112. P. 373--376
  3. Агафонов И.Л., Кузьмичев А.И. // ЖАХ. 1980. Т. 35. N 5. С. 940--947
  4. Ануфриев Г.С. // Анализ неорганических газов. Л.: Наука, 1983. С. 56--77
  5. Ануфриев Г.С., Болтенков Б.С. // ДФН. 2003. Т. 389. N 6. С. 799--802
  6. Мамырин Б.А., Шустров Б.Н. // ПТЭ. 1963. N 3. С. 122--125
  7. Fite W.L., Irving P. // J. Vac. Sci. Technol. 1974. Vol. 11. N 1. P. 351--356
  8. Ануфриев Г.С., Болтенков Б.С., Мамырин Б.А. и др. // ПТЭ. 1982. N 11. С. 160--163
  9. Reynolds J.H. // Rev. Sci. Instrum. 1956. Vol. 27. N 11. P. 928--934
  10. Anashin V.V., Dostovalov R.V., Krasnov A.A. et al. // Nuclear Instr. Meth. in Phys. Res. 2001. Vol. 470. N 1--2. P. 258--260
  11. Ануфриев Г.С., Бронштейн А.М., Гудкова И.В. и др. // Научное приборостроение / Под ред. М.Л. Александрова. Л.: Наука, 1987. С. 101--106
  12. Ануфриев Г.С. // ЖТФ. 1977. Т. 47. N 2. С. 452--453
  13. Ануфриев Г.С., Болтенков Б.С., Капитонов И.Н., Рябинков А.И. // Препринт ФТИ N 1438. 1990. 35 c
  14. Блашенков Н.М, Лаврентьев Г.Я., Шустров Б.Н. // ЖТФ. 1988. Т. 58. N 8. С. 1609--1612

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.