Вышедшие номера
Эффект двукратного рассеяния и его использование для диагностики твердых растворов Si1-xGex
Бабенко П.Ю.1, Микушкин В.М.1, Шергин А.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: babenko@npd.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Методом спектроскопии медленных рассеянных ионов исследован эффект двукратного рассеяния ионов Ar+ от поверхности мишеней C, Al, Si, Ti, Ge и In. Предложена основанная на исследованном эффекте методика количественной оценки кластерной фазы атомов германия в твердом растворе Si1-xGex с малым содержанием германия x~ 5-10%.