Эффект двукратного рассеяния и его использование для диагностики твердых растворов Si1-xGex
Бабенко П.Ю.1, Микушкин В.М.1, Шергин А.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: babenko@npd.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.
Методом спектроскопии медленных рассеянных ионов исследован эффект двукратного рассеяния ионов Ar+ от поверхности мишеней C, Al, Si, Ti, Ge и In. Предложена основанная на исследованном эффекте методика количественной оценки кластерной фазы атомов германия в твердом растворе Si1-xGex с малым содержанием германия x~ 5-10%.
- Kissinger G., Grimmeiss H.G. // Phys. St. Sol. (a). 1994. Vol. 145. N 1. P. K5--K9
- Briggs D., Seach M.P. Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy. New York: John Wiley \& Sons, 1983. 533 p
- Ogryzlo E.A., Zheng L., Heinrich B. et al. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 321. N 1--2. P. 196--200
- Gordeev Yu.S., Mikoushkin V.M., Brysgalov V.V. et al. // Proc. 10th Intern. Symposium "Nanostructures: Physics and Technology". St. Petersburg, 2002. P. 168--171
- Шергин А.П., Бабенко П.Ю., Микушкин В.М. // Изв. РАН. Сер. физ. 2004. Т. 68. N 3. С. 380--384
- Mashkova E.S., Molchanov V.A., Parilis E.S. et al. // Phys. Lett. 1965. Vol. 18. N 1. P. 7--8
- Suurmeijer E.P. Th. M., Boers A.L. // Surf. Sci. 1974. Vol. 43. N . P. 309--352
- Boers A.L. // Surf. Sci. 1977. Vol. 63. N 1. P. 475--500
- Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел. М.: Атомиздат, 1980. 256 с
- Algra A.J., Luitjens S.B., Borggereve H. et al. // Rad. Eff. 1982. Vol. 62. N 1. P. 7--17
- Шергин А.П., Шайкин А.В. // Изв. РАН. Сер. физ. 2002. Т. 66. N 4. С. 467--471
- Arnau A., Echenique P.M., Aumayr F. et al. // Surf. Sci. Rep. 1997. Vol. 27. N 4--6. P. 113--239
- Buck T.M., Chen Y.S., Wheatley G.H. et al. // Surf. Sci. 1975. Vol. 47. N 1. P. 244--255
- Luitjens S.B., Algra A.J., Suurmeijer E.P. Th. M. et al. // Surf. Sci. 1980. Vol. 99. N 3. P. 652--670
- Машкова Е.С., Молчанов В.А. // ФТТ. 1966. Т. 8. Вып. 5. С. 1517--1521
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
- Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. М.: Мир, 1995. 321 с
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Пер. с англ. Вып. II. М.: Мир, 1986. 107 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.