Вышедшие номера
Эмиссия электронов в условиях легирования поверхности катода быстрыми частицами рабочего газа
Бохан А.П.1, Бохан П.А.1, Закревский Дм.Э.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bokhan@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 20 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2005 г.

Исследовано воздействие быстрых заряженных и нейтральных частиц на эмиссионные свойства материалов. Поток быстрых атомов и ионов во многих плазменных устройствах приводит к созданию и автоматическому поддержанию особого состояния приповерхностного слоя катода. Оно возникает вследствие его насыщения на глубину в несколько монослоев атомами рабочего газа. Это изменение разным образом воздействует на различные виды эмиссии. Потенциальная эмиссия, происходящая под действием атомов в метастабильных состояниях и ионов, ослабляется из-за повышения работы выхода. Кинетическая эмиссия, обусловленная воздействием быстрых тяжелых частиц, наоборот, усиливается благодаря увеличению энергетических потерь в модифицированном приповерхностном слое. Фотоэмиссия под действием резонансного излучения значительно возрастает и изменяется ее механизм.