МДП структура с полиамидным диэлектриком в условиях сорбции паров воды
Тутов Е.А., Бормонтов Е.Н., Павленко М.Н., Нетесова Г.А., Тутов Е.Е.
Поступила в редакцию: 26 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.
Сформирована и изучена в качестве сенсора влажности емкостного типа кремниевая МДП структура с подзатворным слоем из сульфонатсодержащего ароматического полиамида. Отличительной особенностью сенсора на основе данного материала является его высокая чувствительность в области больших значений относительной влажности при достаточно хорошем быстродействии. Измерение электрической емкости структуры на различных частотах дает принципиальную возможность выяснения характера распределения воды в матрице полимера. Зависимость высокочастотной (1 MHz) емкости структуры от относительной влажности, т. е. градуировочная кривая сенсора, типична для изотерм сорбции паров воды подобными полимерами.
- Тимашев С.Ф. Физикохимия мембранных процессов. М.: Химия, 1988. 240 с
- Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем. Кн. 2. М.: Мир, 1992. 419 с
- Подлепецкий Б.И., Симаков А.В. // ЗЭТ. 1987. N 2. С. 64--97
- Яковлев П.В., Шапошник А.В., Воищев В.С., Котов В.В., Рябцев С.В. // Журнал аналитической химии. 2002. Т. 57. N 3. С. 326--329
- Мамедов А.К. // Сенсор. 2002. N 4. С. 16--19
- Васильев А.А., Лютикова Е.К., Мориц В., Филиппов В.И. // Сенсор. 2002. N 4. С. 8--16
- Валуев В.В., Землянова О.Ю., Семина Н.В., Федотов Ю.А., Кирш Ю.Э., Тимашев С.Ф. // Журнал физ. хим. 1994. Т. 68. N 9. С. 1667--1672
- Пономаренко А.Т., Шевченко В.Г., Рывкина Н.Г., Чмырева В.В., Чмутин И.А., Травкин В.С. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2001. Т. 3. N 1. С. 73--81
- Котов В.В., Соколова С.А., Нетесова Г.А., Кузнецова И.В. // Журнал физ. хим. 2004. Т. 78. N 9. С. 1678--1682
- Тутов Е.А., Андрюков А.Ю., Бормонтов Е.Н. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 850--853
- Тутов Е.А., Бормонтов Е.Н., Кашкаров В.М., Павленко М.Н., Домашевская Э.П. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 11. С. 83--89
- Виглеб Г. Датчики. М.: Мир, 1990. 196 с
- Кулак А.И. Электрохимия полупроводниковых гетероструктур. Минск: Изд-во "Университетское", 1986. 191 с
- Вода в полимерах / Под ред. С.М. Роуленда. М.: Мир, 1984. 555 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук