Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия 
Email: GorinDA@info.sgu.ru
Поступила в редакцию: 27 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.
Представлены результаты численного моделирования структуры наноразмерная пленка-переходный слой-поглощающая подложка. Установлено влияние переходного слоя на точность определения показателя преломления и толщины наноразмерного покрытия. Показано, что введение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет повысить точность последующих эллипсометрических измерений параметров наноразмерных слоев. Натурными и численными экспериментами показана целесообразность замены структуры подложка-переходный слой подложкой с эффективными оптическими параметрами при определении толщины и показателя преломления наноразмерной пленки на подложке с неизвестным переходным слоем, сравнимым по толщине с пленкой. Установлено, что изменение толщины переходного слоя незначительно влияет на точность определения толщины и показателя преломления нанесенной пленки при использовании эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки.
- Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физически основы молекулярной электроники. М.: МГУ, 2000. 164 с
- Евтихиев В.П., Кудряшов И.В., Котельников Е.Ю. и др. // ФТП. 1998. Т. 32. Вып. 12. С. 1482--1486
- Винокуров Д.А., Капитонов В.А., Коваленков О.В. и др. // ФТП. 1999. Т. 33. Вып. 7. С. 858--862
- Petty M. Langmuir-Blodgett Films: an Introduction. Cambridge: University Press, 1996. 234 p
- Гаврилюк И.В., Казанцева З.П., Лаврик Н.В. и др. // Поверхность. 1991. N 11. C. 93
- Стащук В.С., Шкурат В.И. // Эллипсометрия --- метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983. С. 35--37
- Аюпов Б.М., Сысоева Н.П., Титова Е.Ф. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск. Наука, 1987. С. 136--139
- Любинская Р.И., Мардежов А.С., Швец В.А. // Там же. С. 59--67
- Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974. 200 с
- Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с
- Основы эллипсометрии / Под ред. А.В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1978. 424 с
- Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ун-та, 1986. 192 с
- Физика тонких пленок / Под ред. В.С. Хангулова. Т. 1. М.: Мир, 1967. 344 с
- Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю. и др. // Опт. и спектр. 1983. Т. 55. Вып. 5. С. 885--890
- Егоров Г.А., Иванова Н.С., Потапов Е.В. и др. // Опт. и спектр. 1974. Т. 36. Вып. 4. С. 773--776
- Янклович А.И. // Успехи коллоидной химии. М.: Химия, 1991. С. 263--291
- Штыков С.Н., Климов Б.Н., Горин Д.А. и др. // ЖФХ. 2004. Т. 78. N 3. C. 503--506
- Holmes D.A. // Appl. Optics. 1967. Vol. 6. N 1. P. 168
- Швец В.А. Автореферат канд. дис. Новосибирск, 1988. 17 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
