Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев

Биленко Д.И.¹, Полянская В.П.¹, Гецьман М.А.¹, Горин Д.А.¹, Невешкин А.А.¹, Ященок А.М.¹

¹Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия Saratov State University, Saratov, Russia

Saratov State University, Saratov, Russia

Email: GorinDA@info.sgu.ru

Поступила в редакцию: 27 июля 2004 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.

PDF версия

Представлены результаты численного моделирования структуры наноразмерная пленка-переходный слой-поглощающая подложка. Установлено влияние переходного слоя на точность определения показателя преломления и толщины наноразмерного покрытия. Показано, что введение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет повысить точность последующих эллипсометрических измерений параметров наноразмерных слоев. Натурными и численными экспериментами показана целесообразность замены структуры подложка-переходный слой подложкой с эффективными оптическими параметрами при определении толщины и показателя преломления наноразмерной пленки на подложке с неизвестным переходным слоем, сравнимым по толщине с пленкой. Установлено, что изменение толщины переходного слоя незначительно влияет на точность определения толщины и показателя преломления нанесенной пленки при использовании эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки.

Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физически основы молекулярной электроники. М.: МГУ, 2000. 164 с
Евтихиев В.П., Кудряшов И.В., Котельников Е.Ю. и др. // ФТП. 1998. Т. 32. Вып. 12. С. 1482--1486
Винокуров Д.А., Капитонов В.А., Коваленков О.В. и др. // ФТП. 1999. Т. 33. Вып. 7. С. 858--862
Petty M. Langmuir-Blodgett Films: an Introduction. Cambridge: University Press, 1996. 234 p
Гаврилюк И.В., Казанцева З.П., Лаврик Н.В. и др. // Поверхность. 1991. N 11. C. 93
Стащук В.С., Шкурат В.И. // Эллипсометрия --- метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983. С. 35--37
Аюпов Б.М., Сысоева Н.П., Титова Е.Ф. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск. Наука, 1987. С. 136--139
Любинская Р.И., Мардежов А.С., Швец В.А. // Там же. С. 59--67
Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974. 200 с
Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с
Основы эллипсометрии / Под ред. А.В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1978. 424 с
Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ун-та, 1986. 192 с
Физика тонких пленок / Под ред. В.С. Хангулова. Т. 1. М.: Мир, 1967. 344 с
Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю. и др. // Опт. и спектр. 1983. Т. 55. Вып. 5. С. 885--890
Егоров Г.А., Иванова Н.С., Потапов Е.В. и др. // Опт. и спектр. 1974. Т. 36. Вып. 4. С. 773--776
Янклович А.И. // Успехи коллоидной химии. М.: Химия, 1991. С. 263--291
Штыков С.Н., Климов Б.Н., Горин Д.А. и др. // ЖФХ. 2004. Т. 78. N 3. C. 503--506
Holmes D.A. // Appl. Optics. 1967. Vol. 6. N 1. P. 168
Швец В.А. Автореферат канд. дис. Новосибирск, 1988. 17 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель