Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Эффект самосопряженной перфорации аморфных слоев карбида кремния

Карачинов В.А.¹, Торицин С.Б.¹, Карачинов Д.В.¹

¹Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия Yaroslav-the-Wise Novgorod State University, Veliky Novgorod, Russia

Yaroslav-the-Wise Novgorod State University, Veliky Novgorod, Russia

Email: deptptr@novsu.ac.ru

Поступила в редакцию: 2 апреля 2004 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2004 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Установлено, что пленки SiC на стеклянных подложках имеют аморфную структуру, обладают высокими изоляционными свойствами и хорошей механической прочностью. Интегральный коэффициент светопропускания пленок SiC в спектральном диапазоне lambda=0.4-0.7 mum зависит от их толщины. Обнаружен эффект самосопряженной перфорации пленок SiC при травлении их в плавиковой кислоте.

Tawada Y., Tsuge K., Kondo M. // Appl. Phys. 1982. Vol. 53. N 7. P. 5273--5281
Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М.: Энергоатомиздат, 1983. 136 с
Yonezawa Toshio, Ajima Takashi, Uchida Masato // Patent USA. N 4224636
Долотов Н.И., Карачинов В.А., Таиров Ю.М., Тишер Х., Цветков В.Ф. // Кристаллография. 1987. Т. 32. N 2. С. 526--527.
Иванов П.А., Челноков В.Е. // ФТП. 1995. Т. 29. Вып. 11. С. 1921--1943
Комов А.Н., Чепурнов В.И., Фридман Т.П. // Тез. докл. III Междунар. семинара "Карбид кремния и родственные материалы" Великий Новгород: НовГУ им. Ярослава Мудрого, 2000. С. 108--109
Корляков А.В., Лучинин В.В., Никитин Н.В. // Там же. С. 111--112
Корляков А.В., Костромин С.В., Косырева М.М., Лучинин В.В., Мезенов А.В., Нитикин Н.В., Сазанов А.П., Сак А.В. // Опт. журн. 2001. Т. 68. N 12. С. 109--114
Корляков А.В., Лучинин В.В., Мальцев П.П. // Микроэлектроника. 1999. N 3. С. 201--202
Тхорик Ю.А., Хазан Л.С. Пластическая деформация и дислокации несоответствия в гетероэпитаксиальных системах. Киев: Наукова думка, 1983. 304 с
Виолин Э.Е., Демаков К.Д., Кальнин А.А., Нойберт Ф., Потапов Е.М. // ФТТ. 1984. Т. 26. Вып. 5. С. 1575--1581
Sussman R.S., Ogden R. // Phil. Mag. 1981. Vol. B44. N 1. P. 137--158
Самсонов Г.В., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения. М. Металлургия, 1976. 560 с
Луфт Б.Д. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников. М.: Радио и связь, 1982. 136 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель