Самоорганизация при осаждении пленок полупроводников в среде атомарного водорода
Ромашин С.Н., Седов А.В., Касаткин Э.В., Харламов В.Ф.1
1Орловский государственный технический университет, Орел, Россия
Email: kharl@ostu.ru
Поступила в редакцию: 10 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.
С помощью сканирующего туннельного микроскопа установлено, что осажденные в среде атомарного водорода на медные подложки пленки германия содержат наноструктуры с характерным размером 30-40 nm. Исследованы локальная проводимость, фотопроводимость и неравновесная хемопроводимость пленок. Наблюдалось травление германиевых и кремниевых пленок, а также фуллереновой черни атомарным водородом.
- Островский Л.А., Рыбак С.А., Цымринг Л.Ш. // УФН, 1986. Т. 150. N 3. С. 417--437
- Браже Р.А., Новикова Т.А. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 8. С. 1--4
- Браже Р.А., Мефтахутдинов Р.М., Новикова Т.А. // Изв. вузов. Радиофизика. 1999. Т. 42. N 11. С. 1105--1110
- Лифшиц Е.М., Питаевский Л.П. // Физическая кинетика. М.: Наука, 1979. 528 с
- Anile A.M., Romano V., Russo G. // Applied Mathematics. 1999. April (12)
- Фабелинский И. // УФН. 1997. Т. 167. N 7. С. 721--733
- Сивухин Д.В. // Общий курс физики. Т. II. М.: Наука, 1975. 352 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук