"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние поверхностного состава на плавление тонких пленок InSb
Гуляев Ю.В.1, Веселов А.А.1, Веселов А.Г.1, Бурылин Е.И.1, Джумалиев А.С.1, Зюрюкин Ю.А.1, Кирясова О.А.1, Рябушкин С.Л.1
1Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 3 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.

Показана возможность плавления тонких (0.1-0.5 mum) пленок InSb непосредственно в атмосфере под защитным слоем собственных окислов с целью получения высокой величины подвижности основных носителей (до 25 000 cm2/V·s). Экспериментально исследованы особенности синтеза пленок, в основу которого положено термическое импульсное испарение порошка InSb в вакууме. Технология позволила обеспечить необходимую неоднородность состава осажденной пленки по толщине для последующего плавления на воздухе.
  1. Касьян В.А., Кетруш П.И., Никольский Ю.А., Пасечник Ф.И. Тонкие пленки антимонида индия. Кишинев: Штиница, 1989
  2. Петросян В.И., Веселов А.Г., Синицин Н.И. и др. // Микроэлектроника. 1979. Т. 8. Вып. 6
  3. Веселов А.Г., Рябушкин С.Л., Шулер И.Я. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 11
  4. Кучис Е.В. Методы исследования эффекта Холла. М.: Сов. радио, 1974
  5. Веселов А.Г., Котелянский И.М., Крикунов А.И. и др. Способ получения тонких пленок антимонида индия. АС. СССР. N 713179. 1979

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.