Влияние внешней атмосферы и типа газа на генерацию дефектов и разрушение поверхности кремния при воздействии лазерных импульсов
Банишев А.Ф.1, Голубев В.С.1, Кремнев А.Ю.1
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия
Email: banishev@laser.nictl.msk.su
Поступила в редакцию: 10 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.
Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния при импульсном воздействии субмикросекундных лазерных импульсов в атмосфере различных газов: активных - кислород, азот, углекислый газ и инертных - гелий, аргон, криптон. Установлено, что порог разрушения поверхности (порог образования неоднородностей рельефа поверхности) наименьший а атмосфере гелия и наибольший в атмосфере криптона. Предложен механизм роста и релаксации неоднородностей.
- Хайбуллин И.Б., Смирнов Л.С. // ФТП. 1985. Т. 19. Вып. 4. С. 569--591
- Laser Annealing of Semiconductors / Ed. J.M. Poate, J.W. Mayer. New York: Academic Press, 1982. 564 p
- Chaplanov A.M., Tochitsky E.L. // Thin Solid Films. 1984. Vol. 116. P. 117--128
- Бушуев В.А., Петраков А.П. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 92--96
- Петраков А.П., Голубев Е.А. // ФТТ. 1998. Т. 40. N 1. С. 156--160
- Бушуев В.А., Петраков А.П. // ФТТ. 1993. Т. 35. N 2. С. 355--364
- Фистуль В.И., Павлов А.М. // ФТП. 1983. Т. 17. Вып. 5. С. 854--857
- Комолов В.Л. // ЖТФ. 1994. Т. 64. N 7. С. 64--70
- Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Мошавец Т.В. и др. // УФН. 1985. Т. 147. Вып. 3. С. 523--540
- Стрекалов В.Н. // ФТП. 1986. Т. 20. Вып. 2. С. 361--363
- Стрекалов В.Н. // ЖТФ. 1997. Т. 67. N 2. С. 59--64
- Винецкий В.Л., Чайка Г.Е. // ФТТ. 1982. Т. 24. Вып. 7. С. 2170--2176
- Пристрем А.М., Демчук А.В., Данилов Н.И. // ЖТФ. 1986. Т. 56. Вып. 6. С. 1220--1227
- Шоу Д. Атомная диффузия в полупроводниках. М.: Мир, 1975. 688 с
- Каур И., Густ В. Диффузия по границам зерен. М.: Машиностроение, 1991. 445 с
- Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 2. С. 8--12
- Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 8. С. 33--40
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
