Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние внешней атмосферы и типа газа на генерацию дефектов и разрушение поверхности кремния при воздействии лазерных импульсов

Банишев А.Ф.¹, Голубев В.С.¹, Кремнев А.Ю.¹

¹Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия Institute on Laser and Information Technologies, Branch of the Federal Scientific Research Centre “Crystallography and Photonics”, Russian Academy of Sciences, Shatura, Russia

Institute on Laser and Information Technologies, Branch of the Federal Scientific Research Centre “Crystallography and Photonics”, Russian Academy of Sciences, Shatura, Russia

Email: banishev@laser.nictl.msk.su

Поступила в редакцию: 10 ноября 2003 г.

Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния при импульсном воздействии субмикросекундных лазерных импульсов в атмосфере различных газов: активных - кислород, азот, углекислый газ и инертных - гелий, аргон, криптон. Установлено, что порог разрушения поверхности (порог образования неоднородностей рельефа поверхности) наименьший а атмосфере гелия и наибольший в атмосфере криптона. Предложен механизм роста и релаксации неоднородностей.

Хайбуллин И.Б., Смирнов Л.С. // ФТП. 1985. Т. 19. Вып. 4. С. 569--591
Laser Annealing of Semiconductors / Ed. J.M. Poate, J.W. Mayer. New York: Academic Press, 1982. 564 p
Chaplanov A.M., Tochitsky E.L. // Thin Solid Films. 1984. Vol. 116. P. 117--128
Бушуев В.А., Петраков А.П. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 92--96
Петраков А.П., Голубев Е.А. // ФТТ. 1998. Т. 40. N 1. С. 156--160
Бушуев В.А., Петраков А.П. // ФТТ. 1993. Т. 35. N 2. С. 355--364
Фистуль В.И., Павлов А.М. // ФТП. 1983. Т. 17. Вып. 5. С. 854--857
Комолов В.Л. // ЖТФ. 1994. Т. 64. N 7. С. 64--70
Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Мошавец Т.В. и др. // УФН. 1985. Т. 147. Вып. 3. С. 523--540
Стрекалов В.Н. // ФТП. 1986. Т. 20. Вып. 2. С. 361--363
Стрекалов В.Н. // ЖТФ. 1997. Т. 67. N 2. С. 59--64
Винецкий В.Л., Чайка Г.Е. // ФТТ. 1982. Т. 24. Вып. 7. С. 2170--2176
Пристрем А.М., Демчук А.В., Данилов Н.И. // ЖТФ. 1986. Т. 56. Вып. 6. С. 1220--1227
Шоу Д. Атомная диффузия в полупроводниках. М.: Мир, 1975. 688 с
Каур И., Густ В. Диффузия по границам зерен. М.: Машиностроение, 1991. 445 с
Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 2. С. 8--12
Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 8. С. 33--40

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель