Влияние метастабильных атомов и нелокальности электронного распределения на характеристики положительного столба разряда в аргоне
Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д., Арсланбеков Р.Р., Колобов В.И., Кудрявцев В.В.1
1CFD-Canada, 45 English Ivyway, Toronto
Email: vvk@cfdcanada.com
Поступила в редакцию: 3 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2004 г.
С помощью коммерческого CFDRC software (http:/www.cfdrc.com/~cfdplasma), позволяющего проводить симуляции в произвольной 3D-геометрии с использованием уравнения Пуассона для распределения потенциала, fluid-уравнений для тяжелых компонентов и решения нелокального кинетического уравнения для электронов проведено самосогласованное моделирование плазмы положительного столба DC-разряда в аргоне. Показано, что локальное приближение для расчета функции распределения электронов неприменимо практически для всех реально используемых на практике условий диффузионного режима горения PC pR<(5-10) cm·Torr. Рассмотрено влияние метастабильных атомов, которые могут существенно повлиять на параметры плазмы PC. Показана важная роль сверхупругих ударов в обогащении быстрой части EDF и пеннинговской ионизации в возможности получения растущей вольтамперной характеристики (VAC) положительного столба разряда.
- Lieberman M., Lichtenberg A. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994
- Kouznetsov I.G., Lichtenberg A.J., Lieberman M.A. // PSST. 1996. Vol. 5. P. 662--676
- Bukowski J.D., Graves D.B., Vitello P. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. P. 2614--2623
- Kiehlbauch M.W., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91. N 6. P. 3539--3546
- Gudmindsson J.T., Kouznetsov I.G., Patel K.K., Liebermann M.A. // J. Phys. D. 2002. Vol. 34. P. 1100--1112
- Shkarovsly I.P., Johnson T.W., Bachinski M.P. The Particle Kinetics of Plasmas. Addison--Wesley. MA, 1966
- Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. 1999. Vol. 44. N 11. P. 1290--1297
- Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. Lett. 2002. Vol. 28. N 10. P. 841--844
- Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д., Арсланбеков Р.Р., Колобов В.И., Кудрявцев В.В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. N 8. С. 45--55
- Bogdanov E.A., Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D., Arslanbekov R.R., Kolobov V.I., Kudryavtsev V.V. // Tech. Phys. 2003. Vol. 48. N 8. P. 983--994
- [http://www.siglo-kinema.com/BOLSIG. Boltzmann solver for the SIGLO-series. CPA Tolouse \& Kinema Software
- http://www.cfdrc.com/~cfdplasma
- Tsendin L.D. // Plasma Souse Sci. Technol. 1995. Vol. 4. P. 200--211
- Behnke J., Golobovsky Yu., Nismov S.U., Porokhova I.A. // Contrib. Plasma. Phys. 1996. Vol. 36. N 1. P. 75--91
- Rozhansky A.V., Tsendin L.D. Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London adn New York: Taylor \& Francis, 2001
- Ginsburg V.L., Gurevich A.V. // Usp. Fiz. Nauk. 1960. Vol. 70. P. 201--246
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. Raizer Yu.P. Gas Discharge Physics. New York: Springer, 1991
- Привалов В.Е. // Квантовая электрон. 1977. Т. 4. N 1. С. 2085--2111
- Морозов Д.А., Степанов В.А., Чиркин М.В. // Физика плазмы. 1998. Т. 24. N 7. С. 656--661
- Lawler J.E., Kortshagen U. // J. Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 3188--3198
- Golubovskii Yu., Porokhova I.A., Benke J., Bende J.P. // J. Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 456--470
- Sommerer T.J. // J. Phys. D. 1996. Vol. 29. P. 769--778
- Bretagne J., Capitelli M., Gorse C., Puech V. // Europhys. Lett. 1987. Vol. 3. N 11. P. 1179--1184
- CFD Research Corporation. CFD-PLASMA User Manual --- CFD Research Corporation. Huntsville. 1999--2002
- Kortshagen U., Parker G.I., Lawler J.E. // Phys. Rev. E. 1996. Vol. 54. N 6. P. 6746--6761
- Kortshagen U., Lawler J.E. // J. Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 2737--2745
- Kawamura E., Ingold J.H. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. N 7. P. 3150--3163
- Phelps A.V. // JILA Report. 1985. N 28. (ftp://jila.colorado. edu/collision data/electronneutral)
- Hayashi M. // Ar cross section set (ftp://jila.colorado.edu/ collision data/hayashi.txt)
- Bogaerz A., Gijbels R. // Phys. Rev. A. 1995. Vol. 52. N 5. P. 3743--3751
- Bogaerz A., Gijbels R., Vlcek J. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 84. N 1. P. 121--136
- Kolokolov N.B., Kudryavtsev A.A., Blagoev A.B. // Physica Scripta. 1994. Vol. 50. P. 371--402
- Биберман Л.Д., Воробьев В.С., Якубов И.Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. Biberman L.M., Vorob'ev V.S., Yakubov I.T. Kinetics of Nonequilibrium Low-temperature Plasmas. Consutants Bureau. New York \& London
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
