Тонкие пленки углерода. I. Техника выращивания пучками заряженных частиц
Семенов А.П.1, Семенова И.А.1
1Отдел физических проблем при Президиуме Бурятского научного центра СО РАН, Улан-Удэ, Россия
Email: semenov@pres.bsc.buryatia.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.
Рассмотрим источник ионов и электронов на основе магнетронного разряда с холодным полым и неохлаждаемым стержневым катодами с улучшенными физическими и общетехническими характеристиками.
- Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. 207 с
- Семенов А.П. // А.С. SU 1375024. МКИ Н 01 J 17/00. 3/02. 1985
- Завьялов М.А., Крейндель Ю.Е., Новиков А.А. и др. Плазменные процессы в технологических электронных пушках. М.: Энергоатомиздат, 1989. 256 с
- Семенов А.П., Семенова И.А. // Изв. вузов. Физика. 2001. N 9. С. 69--76
- Семенов А.П., Семенова И.А. // Тр. V Междунар. конф. "Вакуумные технологии и оборудование". Харьков, 2002. С. 227--235
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук