Энергетические спектры и температурные распределения кластеров при ионном распылении металла
Матвеев В.И.1, Кочкин С.А.1
1Поморский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Архангельск, Россия
Поступила в редакцию: 5 июня 2003 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2004 г.
Предложена методика расчетов энергетических спектров и температурных зависимостей нейтральных и заряженных кластеров с числом атомов N>=q 5 при ионном распылении металла. Результаты представлены в виде простых формул. Проведено сравнение с экспериментом рассчитанных в данной работе энергетических распределений кластеров, эмиттированных при бомбардировке ниобия, тантала и железа атомарными ионами золота и ксенона, а также температурных зависимостей выхода кластеров серебра при бомбардировке ионами ксенона.
- Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей. Пер. с англ. Составитель Е.С. Машкова. М.: Мир, 1989. 399 с
- Andersen H.H.K.Dan. // Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. Vol. 43. P. 127
- Urbassek H.M., Hofer W.O.K.Dan // Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. Vol. 43. P. 97
- Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. // УФН. 1988. Т. 156. С. 478
- Распыление под действием бомбардировки частицами / Под ред. Р. Бериша, К. Виттмака. Вып. 3. М.: Мир, 1998. 551 с
- Colla Th.J., Urbassek H.M., Wucher A. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. B 143. P. 284
- Belykh S.F., Habets B., Rasulev U.Kh. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 2000. Vol. B 164--165. P. 809
- Staudt C., Heinrich R., Mazarov P. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 2000. Vol. B 164--165. P. 715
- Kissel R., Urbussek H.M. // Nucl. Instrum. Meth. 2001. Vol. B 180. P. 293
- Belykh S.F., Palitsin V.V., Veryovkin I.V. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 2003. Vol. B 203. P. 164
- Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Nucl. Instrum. Meth. 2003. Vol. B 203. P. 192
- Матвеев В.И., Хабибуллаев П.К. // ДАН. 1998. Т. 362. С. 191
- Belykh S.F., Matveev V.I., Veryovkin I.V. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1999. Vol. B 155. P. 409
- Матвеев В.И. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 10--15
- Матвеев В.И. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 6. С. 115
- Гольдбергер М., Ватсон К. // Теория столкновений. М.: Мир, 1967. 823 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статическая физика. Ч. 1. М.: Наука, 1964. 567 с
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
- Belykh S.F., Rasulev U.Kh., Samartsev A.V., Veryovkin I.V. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. B 136--138. P. 773
- Bekkerman A.D., Dzhemilev N.Kh., Verkhoturov S.V. et al. // Microchim. Acta. 1998. Vol. 15. P. 371
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук