Вышедшие номера
Особенности распространения поверхностных акустических волн в ниобате лития, << поврежденном>> электронным лучом
Крышталь Р.Г.1, Медведь А.В.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Фрязино, Московская область, Россия
Email: avm@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Экспериментально исследовано распространение поверхностных акустических волн (ПАВ) в тонкопленочном алюминиевом волноводе типа Delta v/v, изготовленном на пластине 128oY-X LiNbO3 взрывной литографией с "засветкой" электронного резиста непосредственно электронным лучом энергией 20 keV без применения шаблона. Обнаружены скачки и гистерезис на температурной зависимости изменения фазы сигнала, прошедшего через ПАВ-линию задержки, образованную таким волноводом и двумя встречно-штыревыми преобразователями с центральной частотой 486 MHz и помещенную в поток азота. При введении в поток азота паров водосодержащих аналитов обнаружены аномальные изменения фазы, имеющие противоположный знак и больше, чем на порядок величины, превышающие изменения фазы, имеющие место в аналогичных условиях в образцах, изготовленных оптической литографией. Делается вывод о возможности использования обнаруженных явлений для создания датчиков влажности на ПАВ с низким уровнем пороговой чувствительности.