Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда
Байсова Б.Т.1, Струнин В.И.1, Струнина Н.Н.1, Худайбергенов Г.Ж.1
1Омский государственный университет, Омск, Россия
Email: strunin@omsu.omskreg.ru
Поступила в редакцию: 31 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Определены абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда в атмосфере чистого аргона и смеси аргона с силаном.
- Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 8. P. 2532--2551
- Flewitt A.J., Robertson J., Milne W. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85. N 12. P. 8032--8039
- Childs M.A., Gallagher A. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 87. N 3. P. 1076--1085
- Knights J.C., Lujan R.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1985. Vol. 38. N 5. P. 331--333
- Van de Sanden M.C.M., Severens R.J. et al. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 84. N 5. P. 2426--2433
- Струнин В.И., Ляхов А.А. и др. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 6. С. 109--114
- Касабов Г.А., Елисеев В.В. Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы. М., 1973. 161 с
- Прикладная спектроскопия. Материалы XVI совещания по спектроскопии / Под ред. Р.Н. Рубинштейна. М., 1969. Т. 1. 493 с
- Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М., 1980. 310 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук