Влияние окислительных сред на диффузионно-сегрегационное перераспределение бора в системе термический диоксид кремния-кремний
Александров О.В., Афонин Н.Н.
Поступила в редакцию: 10 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.
Методами вторично-ионной масс-спектрометрии и численного моделирования исследовано диффузионно-сегрегационное перераспределение бора в системе диоксид кремния-кремний при окислении в различных средах. Получены данные о зависимости коэффициента сегрегации бора на межфазной границе (МФГ) SiO2/Si и степени ускорения его диффузии в кремнии от типа окислительной среды ("сухой кислород", "влажный кислород", а также наличие в ней паров соляной кислоты), ориентации поверхности кремния и температуры окислительного отжига. Предложена качественная модель явления, основанная на предположении о связи между генерацией неравновесных собственных междоузельных атомов и сегрегационным массопереносом бора через МФГ SiO2/Si.
- Prince J.L., Schwettmann F.N. // J. Electrochem. Soc. 1974. Vol. 121. N 5. P. 705--710
- Murarka S.P. // Phys. Rev. 1975. Vol. B12. N 6. P. 2502--2519
- Antoniadis D.A., Gonzales A.G., Dutton R.W. // J. Electrochem. Soc. 1978. Vol. 125. N 5. P. 813--819
- Masetti G., Solmi S., Soncini G. // Solid State Electron. 1976. Vol. 19. N 6. P. 545--546
- Miyake M., Harado H. // J. Electrochem. Soc. 1982. Vol. 129. N 5. P. 1097--1103
- Colby J.W., Katz L.E. // J. Electrochem. Soc. 1976. Vol. 123. N 3. P. 409--412
- Fair R.B., Tsai J.C.C. // J. Electrochem. Soc. 1978. Vol. 125. N 12. P. 2050--2058
- Александров О.А., Афонин Н.Н., Коварский А.П. // Конденсированные среды и межфазные границы. 1999. Т. 1. N 2. С. 181--184
- Sabrahmanyan R., Hishman Z., Fair R.B. // J. Appl. Phys. 1987. Vol. 61. N 10. P. 4804--4807
- Fahey P.M., Griffin P.B., Plummer J.D. // Rev. Modern Phys. 1989. Vol. 61. N 2. P. 289--384
- Ural A., Griffin P.B., Plummer J.D. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85. N 9. P. 6440--6446
- Jeng N., Dunham S.T. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 72. N 5. P. 2049--2053
- Ho C.P., Plummer J.D., Hansen S.E. et al. // IEEE Trans. on Electron. Dev. 1983. Vol. ED-30. N 11. P. 1438--1453
- Hess D.W., Deal B.E. // J. Electrochem. Soc. 1977. Vol. 124. N 5. P. 735--739
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А. и др. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоиздат, 1985. 248 с
- Самарский А.А. Теория разностных схем. М.: Наука, 1977. 656 с
- Hu S.M. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. N 4. P. 1567--1573
- Deal B.E. // J. Electrochem. Soc. 1978. Vol. 125. N 4. P. 576--581
- Зайцев В.Я. // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1978. Т. 14. N 5. С. 963
- Александров О.А., Афонин Н.Н. // ФТП. 1998. Т. 32. N 1. С. 19--23
- Александров О.А., Афонин Н.Н. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2000. Т. 2. N 2. С. 128--131
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук