"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности перераспределения кобальта по поверхности пленок неоднородных сплавов кобальт--медь
Стогний А.И.1, Корякин С.В.1, Новицкий Н.Н.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 13 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Приведены результаты сравнительного анализа поверхности электролитически осажденных пленок CoxCu100-x (x=8, 11 и 20 at%) толщиной до 1 mum и пленок толщиной до 0.2 mum, полученных осаждением продуктов распыления мишеней, составленных из электроосажденных пленок соответствующего состава, пучком ионов аргона. Использованы методы атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Данные последней свидетельствуют об отсутствии кобальта на поверхности электроосажденных пленок, о его наличии в объеме и на поверхности пленок, полученных ионным распылением, о менее существенных расхождениях в линиях фотоэлектронных спектров меди у пленок одного состава, полученных разными способами. Для объяснения полученных результатов предложена качественная модель, согласно которой процессы слияния субзерен основной медной компоненты в крупные образования с последующим приобретением ими на свободной поверхности вида островков правильной овальной формы способствуют миграции атомов кобальта со свободной поверхности в область приповерхностных пор. Наличие определенной доли высокоэнергетических частиц в потоке продуктов распыления мишеней и бомбардировка ими фронта поверхности роста пленок, полученных ионным распылением, сопровождается внедрением наиболее быстрых распыленных атомов кобальта в медную матрицу в виде точечных дефектов.
  1. Stratmann M., Rohwerder M. // Nature. 2001. Vol. 410. P. 420--423
  2. Erlebacger J., Aziz M.J., Karma A. et al. // Nature. 2001. Vol. 410. P. 450--453
  3. Davies A., Stroscio J.A., Priece D.T., Celotta R.J. // Phys. Rev. Lett. 1996. Vol. 76. N 22. P. 4175--4178
  4. Choi Y.J., Jeong I.C., Park J.-Y. et al. // Phys. Rev. 1999. Vol. 59. N 16. P. 10 918--10 291
  5. Keefe A.P., Kasyutich O.I., Schwarzacher W. et al. // Appl. Phys. Lett. 1998. Vol. 73. N 7. P. 1002--1004
  6. Shima M., Salamanca-Riba L., Moffat T.P., McMichael R.D. // JMMM. 1999. Vol. 198--199. P. 52--54
  7. Allenspach R., Bischof A., Durig U. // Surf. Sci. 1997. Vol. 381. P. L573--L580
  8. Стогний А.И., Корякин С.В. // Поверхность. 2001. N 6. С. 74--79
  9. Стогний А.И., Корякин С.В., Вирченко В.А. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 6. С. 87--94
  10. Tochitskii T.A., Jones G.A., Blythe H.J. et al. // JMMM. 2001. Vol. 224. P. 221--232
  11. Стогний А.И., Свирин В.Т., Тушина С.Д. и др. // ПТЭ. 2001. N 3. С. 151--154
  12. Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy / Ed. by D. Briggs, M.P. Seach. New York: John Wiley \& Sons Ltd., 1983. 600 p
  13. Черемской П.Г., Слезов В.В., Бетехтин В.И. // Поры в твердом теле. М.: Энергоатомиздат, 1990. 376 с
  14. Thompson M.V. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 1987. Vol. B 18. P. 411--429

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.