Представлено исследование влияния тонких адгезионных слоев химически активных металлов, таких как Ti, Cr, Al, на адгезию пленки оксида кремния к поверхности золота. В ходе проведения исследования было показано, что адгезионный подслой из титана толщиной 1 nm незначительно (не более 1 %) снижает коэффициент отражения золотого зеркала с защитным покрытием оксида кремния и при этом улучшает среднеинтегральное значение усилия отслаивания с 0.01 по 1.25 kgf. Кроме этого, образец с подслоем Ti = 1 nm выдержал кипячение в деионизованной воде в течение 1 h и царапание алмазным резцом без отслоения защитного покрытия. Полученные результаты применяются в планарном цикле производства линеек лазерных диодов и в производстве защитных покрытий для зеркал на основе золота. Ключевые слова: адгезия, золото, оксид кремния, адгезионный подслой, зеркальное покрытие.