Влияние газовой атмосферы и параметров электронного пучка на масс-зарядовый состав ионов пучковой плазмы при испарении GZO-мишени
Российский научный фонд, №104 Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 25-19-00029
Сальников С.А.
1, Андронов А.А.
1, Золотухин Д.Б.
1, Тюньков А.В.
1, Юшков Ю.Г.
11Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР), Томск, Россия
Email: salnikovs802@gmail.com, artem.andronov.98@bk.ru, zolotukhinden@gmail.com, tyunkov84@mail.ru, yushkovyu@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 декабря 2025 г.
В окончательной редакции: 11 февраля 2026 г.
Принята к печати: 17 февраля 2026 г.
Выставление онлайн: 12 мая 2026 г.
Приведены результаты исследования масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы, формируемой в результате электронно-лучевого нагрева и испарения мишени цирконата гадолиния в атмосфере различных газов в форвакуумной области давлений. Показано влияние газовой атмосферы и параметров электронного пучка на масс-зарядовый состав пучковой плазмы. Ключевые слова: масс-зарядовый состав, пучковая плазма, ионы, GZO.
- И.В. Ситников, Д.А. Максимов, В.Н. Батраков, Ю.А. Боронников. Вестник Пермского нац. исследовательского политех. ун-та. Аэрокосмическая техника, 6, 5 (2022). DOI: 10.15593/2224-9982/2022.68.01
- В.П. Paнков. Упрочняющие технологии и покрытия, 5 (137), 36 (2016)
- M.G. Gok, G. Goller. Methods for Film Synthesis and Coating Procedures, (2019)
- M.G. Gok, G. Goller. J. Europ. Ceramic Society. 36 (7), 1755 (2016). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2016.01.036
- J. Cho, J. Park, J. An. J. Europ. Ceramic Society. 37 (9), 3131 (2017). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2017.03.045
- H.Q. Lavasani, Z. Valefi, N. Ehsani, S.T. Masoule. Ceram. Intern., 43 (15), 12497 (2017). DOI: 10.1016/j.ceramint.2017.06.120
- X. Song, Z. Liu, M. Kong, C. Lin, L. Huang, X. Zheng, Y. Zeng. Ceram. Intern., 43 (16), 14321 (2017). DOI: 10.1016/j.ceramint.2017.07.186
- Лопатка газотурбинной установки с многослойным керамическим покрытием (Пат. 140967 Рос. Федерация, заявл. 28.06.2013; опубл. 20.05.2014)
- R.S. Lima. Coatings, 10 (9), 812 (2020). DOI: 10.3390/coatings10090812
- Д.С. Кашин, П.А. Стехов. Труды ВИАМ, 2 (62), 84 (2018)
- А.В. Тюньков, А.А. Андронов, Д.Б. Золотухин, Т.О. Климкин, А.Ю. Назаров, А.К. Нестеренко, С.А. Сальников, К.Н. Рамазанов, Ю.Г. Юшков. Авиационные материалы и технологии, 4 (77), 140 (2024). DOI: 10.18577/2713-0193-2024-0-4-140-168
- D.B. Zolotukhin, A.V. Tyunkov, Yu.G. Yushkov, E.M. Oks. Rev. Scientific Instrum., 86 (12), 123301 (2015). DOI: 10.1063/1.4937606
- A.V. Tyunkov, D.B. Zolotukhin, Yu.G. Yushkov, E.V. Yakovlev. Vacuum, 180, 109573 (2020). DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109573
- D.A. Dunn, W. Nichparenko, J.E. Simpson, K.I. Thomassen. J. Appl. Phys., 36 (10), 3273 (1965). DOI: 10.1063/1.1702965
- D.B. Zolotukhin. J. Phys.: Conf. Series. IOP Publishing, 2291 (1), 012023 (2022). DOI: 10.1088/1742-6596/2291/1/012023
- K.S. Lee, D.H. Lee, T.W. Kim. J. Ceramic Society Jpn., 122 (1428), 668 (2014). DOI: 10.2109/jcersj2.122.668
- X.Q. Cao, R. Vassen, D. Stover. J. Europ. Ceramic Society. 24 (1), 1 (2004). DOI: 10.1016/S0955-2219(03)00129-8
- Е.М. Окс, В.А. Бурдовицин, А.С. Климов, А.В. Медовник, Ю.Г. Юшков. Форвакуумные плазменные источники электронов (Нац. исслед. Томский гос. ун-т., 2014), 288 с
- D.B. Zolotukhin, A.A. Andronov, A.V. Tyunkov, Yu.G. Yushkov. Vacuum, 234, 114102 (2025). DOI: 10.1016/j.vacuum.2025.114102
- A.V. Tyunkov, V.A. Burdovitsin, E.M. Oks, Yu.G. Yushkov, D.B. Zolotukhin. Vacuum., 163, 31 (2019). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.02.010
- W. Suchanek, M. Yashima, M. Kakihana, M. Yoshimura. Biomaterials. 18 (13), 923 (1997). DOI: 10.1016/S0142-9612(97)00019-7
- M. Sakaki, T. Sakakibara. Appl. Phys. Lett., 67 (18), 2606 (1995). DOI: 10.1063/1.114310
- M. Sakaki, T. Sakakibara. IEEE Transactions on Plasma Sci., 19 (1), 25 (1991). DOI: 10.1109/27.62363
- А.Н. Завилопуло, Ф.Ф. Чипев, О.Б. Шпеник. ЖТФ, 75 (4), 24 (2005)