Глушков Е.И.1, Ахсахалян А.А.1, Вепрев П.А.1, Забродин И.Г.1, Зорина М.В.1, Малышев И.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Петраков Е.В.1, Плешков Р.С.1, Антюшин Е.С.1, Полковников В.Н.1, Реунов Д.Г.1, Уласевич А.Б.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1, Шапошников Р.А.1, Ракшун Я.В.2,3, Хомяков Ю.В.2,4, Чернов В.А.2, Долбня И.П.5
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск, Россия
3Институт геологии и минералогии им. В.С. Соболева СО РАН, Новосибирск, Россия
4Центр коллективного пользования "Сибирский кольцевой источник фотонов" , Кольцово, Новосибирск, Россия
5Даймонд, OX11 0DE, Дидкот, Великобритания
Email: eglushkov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 6 июня 2025 г.
В окончательной редакции: 6 июня 2025 г.
Принята к печати: 6 июня 2025 г.
Выставление онлайн: 11 сентября 2025 г.
Для источника синхротронного излучения поколения 4+ "СКИФ" в ИФМ РАН разработан двухзеркальный монохроматор на рабочий диапазон энергий фотонов 10-30 keV. Монохроматизация синхротронного излучения осуществлялась многослойными рентгеновскими зеркалами. Рабочий диапазон прибора разделен на три поддиапазона: 10-19 keV, 19-30 keV и 19-30 keV с высоким спектральным разрешением. Для осуществления такой моды работы монохроматора на подложки нанесены три полосы (стрипа) многослойных рентгеновских зеркал Mo/B4C, W/B4C и Cr/Be, высотой 6 mm каждый. В зависимости от энергии фотонов и поддиапазона, разрешение варьируется в диапазоне 0.35 %-1.5 %. Коэффициенты отражения зеркал превышают 60 %. Перестройка по поддиапазонам осуществляется вертикальным перемещением зеркал. Описаны принцип работы и конструкция прибора, методы, использованные при изготовлении высокоточных подложек, и основные характеристики прибора и его составляющих. Ключевые слова: рентгеновская оптика, синхротронное излучение, двухзеркальный монохроматор, многослойные рентгеновские зеркала.
- Я.В. Зубавичус. Технологическая инфраструктура сибирского кольцевого источника фотонов "СКИФ". Том. 1. Экспериментальные станции первой очереди и Лабораторный комплекс (Ин-т катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, 2022)
- Я.В. Ракшун, Ю.В. Хомяков, Е.И. Глушков, А.С. Гоголев, М.В. Горбачев, А.В. Дарьин, Ф.А. Дарьин, И.П. Долбня, С.В. Ращенко, В.А. Чернов, Н.И. Чхало, М.Р. Шарафутдинов. Известия ТПУ. Инжиниринг георесурсов, 336 (5), 229 (2025). DOI: 10.18799/24131830/2025/5/5122
- S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Y.V. Zubavichus, I.V. Rakshun. AIP Conf. Proceed., 2299 (1), 060001 (2020). DOI: 10.1063/5.0030346
- P. Deschamps, P. Engstrom, S. Fiedler, C. Riekel, S. Wakatsuki, P. H gh j, E. Ziegler. Synchrotron Radiation, 2 (3), 124 (1995). DOI: 10.1107/S0909049595001592
- T. Koyama, Ya. Senba, H. Yamazaki, T. Takeyuchi, M. Tanaka, Ya. Shimizu, K. Tsubota, Ya. Matsuzaki, H. Kishimoto, T. Miura, S. Shimizu, T. Saito, H. Yumoto, K. Uesugi, M. Hoshino, J. Yamada, T. Osaka, M. Sugahara, N. Nariyama, Ya. Ishizawa, H. Nakano, C. Saji, Kyo Nakajima, K. Motomura, Ya. Joti, M. Yabashi, H. Ohashi. Synchrotron Radiation, 29 (5), 1265 (2022). DOI: 10.1107/S1600577522006610
- K.J.S. Sawhney, I.P. Dolbnya, S.M. Scott, M.K. Tiwari, G.M. Preece, S.G. Alcock, A.W. Malandain. In: Advances in X-Ray/EUV Optics and Components VI, 813908 (SPIE, 2011), p. 79-86. DOI: 10.1117/12.894920
- P. Brumund, J. Reyes-Herrera, C. Morawe, T. Dufrane, H. Isern, T. Brochard, M. Sanchez del Ri o, C. Detlefs. J. Synchrotron Radiation, 28, 1423 (2021). DOI: 10.1107/S160057752100758X
- А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 5 (2017). DOI: 10.7868/S0207352817010048
- D.-G Liu, C.-H. Chang, C.-Y. Liu, S.-H. Chang, J.-M. Juang, Y.-F. Song, K.-L. Yu, K.-F. Liao, C.-S. Hwang, H.-S. Fung, P.-C. Tseng, C.-Y. Huang, L.-J. Huang, S.-C. Chung, M.-T. Tang, K.-L. Tsang, Y.-S. Huang, C.-K. Kuan, Y.-C. Liu, K.S. Liang, U.-S. Jeng. J. Synchrotron Radiation, 16, 97 (2009). DOI: 10.1107/S0909049508034134
- М.А. Блохин, И.Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник (Наука, М., 1982)
- M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
- R. Shaposhnikov, V. Polkovnikov, S. Garakhin, Y. Vainer, N. Chkhalo, R. Smertin, K. Durov, E. Glushkov, S. Yakunin, M. Borisov. J. Synchrotron Radiation, 31 (2), 268 (2024). DOI: 10.1107/S1600577524000419
- C.C. Walton. PhD thesis (University of California, Berkeley, USA, 1997)
- P.C. Pradhan, A. Majhi, M. Nayak. J. Appl. Phys., 123, 095302 (2018). DOI: 10.1063/1.5018266
- A. Rack, Ch. Morawe, L. Mancini, D. Dreossi, D.Y. Parkinson, A.A. MacDowell, F. Siewert, T. Rack, T. Holz, M. Kramer, R. Dietsch. In: Advances in X-Ray/EUV Optics and Components IX, 92070V (SPIE, 2014), p. 213-219. DOI: 10.1117/12.2060801
- R. Pleshkov, N. Chkhalo, V. Polkovnikov, M. Svechnikov, M. Zorina. J. Appl. Crystallogr., 54 (6), 1747 (2021). DOI: 10.1107/S160057672101027X
- B. Huang, W. Le, Y. Wang, X. Luo, Y. Yang. Appl. Surf. Sci., 464, 10 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.09.077
- W.K. Lee, K. Fezzaa, P. Fernandez, G. Tajiri, D.M. Mills. Synchrotron Radiation, 8 (1), 22 (2001). DOI: 10.1107/S0909049500013868
- H. Thiess, H. Lasser, F. Siewert. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 616 (2-3), 157 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.10.077
- A. Erko, M. Idir, Th. Krist, A.G. Michette. Modern Developments in X-ray and Neutron Optics. (Springer, NY., Berlin, Heidelberg, 2008)
- Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов. УФН, 190 (1), 74 (2020)
- U. Dinger, F. Eisert, H. Lasser, M. Mayer, A. Seifert, G. Seitz, S. Stacklies, F. Stickel, M. Weiser. In: Soft X-Ray and EUV Imaging Systems. 4146, 35-46 (SPIE, 2000). DOI: 10.1117/12.406674
- E. Ziegler, L. Peverini, N. Vaxelaire, A. Cordon-Rodriguez, A.V. Rommeveaux, I.V. Kozhevnikov, J. Susini. Nuclear Instruments \& Methods in Physics Research Section A-accelerators Spectrometers Detectors and Associated Equipment, 616 (2-3), 188 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.12.062
- A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov. Precision Engineer., 69, 29 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
- S.R. Wilson, D.W. Reicher, J.R. McNeil. In: Advances in Fabrication and Metrology for Optics and Large Optics, 996, 74 (SPIE, 1989). DOI: 10.1117/12.948051
- T.W. Drueding, S.C. Fawcett, SR. Wilson, T.G. Bifano. Opt. Engineer., 34 (12), 3565 (1995). DOI: 10.1117/12.215648
- M. Xu, Y. Dai, X. Xie, L. Zhou, W. Liao. Appl. Opt., 54 (27), 8055 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.008055
- M. Zeuner, S. Kiontke. Opt. Photonik, 7 (2), 56 (2012). DOI: 10.1002/opph.201290051
- T. Franz, T. Hansel. In: Optical fabrication and testing. OThC7 (Optica Publishing Group, 2008), DOI: 10.1364/OFT.2008.OThC7
- B.S. Fritz. Opt. Engineer., 23 (4), 379 (1984). DOI: 10.1117/12.7973304
- G. Zhou, W. Lei, X. Dong, J. Wang. Laser Optoelectron. Progress, 60 (23), 2312001 (2023). DOI: 10.3788/LOP222992
- G. Zhou, J. Wang, W. Lei, X. Dong, J. Wang. Appl. Opt., 63 (8), 2086 (2024). DOI: 10.1364/AO.516190
- U. Griesmann. Appl. Оpt., 45 (23), 5856 (2006). DOI: 10.1364/AO.45.005856
- I. Powell, E. Goulet. Appl. Оpt., 37 (13), 2579 (1998). DOI: 10.1364/AO.37.002579
- P.B. Keenan. Pseudo-shear interferometry. In: Precision Surface Metrology, 429, 2-7 (SPIE, 1983). DOI: 10.1117/12.936333
- Y.C. Chen, C.W. Liang, H.S. Chang, P.C. Lin. Opt. Express, 26 (22), 29123 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.029123
- A. Kochetkov, A. Shaykin, I. Yakovlev, E. Khazanov, A. Cheplakov, B. Wang, Y. Jin, S. Liu, J. Shao. Opt. Express, 33 (6), 13673 (2025). DOI: 10.1364/OE.551097
- M. Otsubo, K. Okada, J. Tsujiuchi. Opt. Engineer., 33 (2), 608 (1994). DOI: 10.1117/12.152248
- M.B. Da Silva, S.G. Alcock, I.T. Nistea, K. Sawhney. Opt. Lasers Engineer., 161, 107192 (2023). DOI: 10.1016/j.optlaseng.2022.107192
- L. Huang, J. Xue, B. Gao, M. Idir. Opt. Еxpress, 26 (8), 9882 (2018). DOI: 10.1364/oe.26.009882
- H. Yumoto, T. Koyama, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Ohashi. Rev. Scientific Instruments, 87 (5), (2016). DOI: 10.1063/1.4950714
- P. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, D. Miladinovic, G. DeVries, S. O'Donohue. In: Interferometry XIII: Applications, 6293, 150-159 (SPIE, 2006). DOI: 10.1117/12.680473
- C. Supranowitz, J.P. Lormeau, C. Maloney, P. Murphy, P. Dumas. In: Optics and Measurement International Conference 2016, 10151, 81-92 (SPIE, 2016). DOI: 10.1117/12.2257279
- P. Zhang, H. Zhao, X. Zhou, J. Li. Opt. Express, 18 (14), 15216 (2010). DOI: 10.1364/OE.18.015216
- M. Bray. In: Optical Fabrication and Testing, 3739, 259-273 (SPIE, 1999). DOI: 10.1117/12.360153
- J. Fleig, P. Dumas, P.E. Murphy, G.W. Forbes. In: Advanced Characterization Techniques for Optics, Semiconductors, and Nanotechnologies, 5188, 296-307 (SPIE, 2003). DOI: 10.1117/12.506254
- E.V. Petrakov, N.I. Chkhalo, A.K. Chernyshev, E.I. Glushkov. Opt. Engineer., 63 (11), 114104-1 (2024). DOI: 10.1117/1.OE.63.11.114104
- E.V. Petrakov, E.I. Glushkov, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. J. Surf. Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 18 (Suppl 1), S58 (2024). DOI: 10.1134/S1027451024701878
- L. Zhang, R. Barrett, K. Friedrich, P. Glatzel, T. Mairs, P. Marion, G. Monaco, C. Morawe, T. Weng. J. Phys.: Conf. Ser., 425 (5), 052029 (2013). DOI: 10.1088/1742-6596/425/5/052029
- E.I. Glushkov, I.V. Malyshev, E.V. Petrakov, N.I. Chkhalo, Yu.V. Khomyakov, Ya.V. Rakshun, V.A. Chernov, I.P. Dolbnya. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 17 (Suppl 1), S233 (2023). DOI: 10.1134/S1027451023070133
- P. Kirkpatric, A.V. Baez. J. Opt. Society America, 38 (9), 766 (1948). DOI: 10.1364/JOSA.38.000766
- P.J. Eng, M. Newville, M.L. Rivers, S.R. Sutton. In: X-Ray Microfocusing: Applications and Techniques, 3449, 145-156 (SPIE, 1998). DOI: 10.1117/12.330342
- Y.S. Uchida. Jpn. J. Appl. Phys., 30 (5R), 1127 (1991). DOI: 10.1143/JJAP.30.1127
- D.G. Reunov, A.D. Akhsakhalyan, E.I. Glushkov, I.G. Zabrodin, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, E.V. Petrakov, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. J. Surf. Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 18 (Suppl 1), S38 (2024). DOI: 10.1134/S1027451024701842