Сверхпроводниковые генераторы субтерагерцового диапазона: история и новые разработки
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , Competition of large scientific projects, 075-15-2024-538
Хан Ф.В.
1, Филиппенко Л.В.
1, Ермаков А.Б.
1, Кинев Н.В.
1, Кошелец В.П.
11Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия

Email: khanfv@hitech.cplire.ru, lyudmila@hitech.cplire.ru, ermakov@hitech.cplire.ru, nickolay@hitech.cplire.ru, valery@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2025 г.
В окончательной редакции: 21 апреля 2025 г.
Принята к печати: 21 апреля 2025 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2025 г.
Представлены результаты разработки нового типа генераторов на основе массивов джозефсоновских переходов, включенных в сверхпроводниковую копланарную линию. Исследованы генераторы субтерагерцового диапазона (200-700 GHz) на основе массивов туннельных джозефсоновских переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN, шунтированных тонкопленочным резистором. Изготовлены несколько серий образцов генераторов, включающих в себя массивы 100, 200, 350 и 600 джозефсоновских переходов, площадью 2.8 и 4.2 μm2. Исследования сверхпроводниковых генераторов с помощью интегральных детекторов излучения показали возможность перестройки частоты во всем рабочем диапазоне вплоть до 700 GHz при выходной мощности до 0.4 μW для массива из 600 переходов с плотностью туннельного тока 7 kA/cm2, которой достаточно для применений в сверхпроводниковых интегральных приемниках. Использование сверхпроводникового гармонического смесителя позволило измерить спектр излучения сверхпроводникового генератора на частотах до 700 GHz в режиме частотной стабилизации и реализовать режим фазовой автоподстройки частоты. Обсуждены дальнейшие перспективы в области разработки сверхпроводниковых генераторов терагерцового диапазона. Ключевые слова: сверхпроводниковые устройства, туннельный переход сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник, генераторы subТHz-диапазона, массивы шунтированных джозефсоновских переходов.
- J.R. Tucker, M.J. Feldman. Rev. Modern Phys., 57 (4), 1055 (1985). DOI: 10.1103/RevModPhys.57.1055
- A.R. Kerr, M.J. Feldman, S.-K. Pan. Proceedings of the Eighth International Symposium on Space Terahertz Technology (Cambridge, MA, USA, 1997)
- Apex Space Telescope Website. Available online: http://www.apex-telescope.org
- LLAMA Space Observatory Website. https://www.llamaobservatory.org/
- Hershel Space Telescope Website. Available online: https://www.herschel.caltech.edu/
- Вебсайт космической обсерватории "Миллиметрон". Available online: https://millimetron.ru/
- G. de Lange, M. Birk, D. Boersma, J. Dercksen, P. Dmitriev, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, H. Golstein, R.W.M. Hoogeveen. L. de Jong. Supercond. Sci. Tech., 23 (4), 045016 (2010). DOI: 10.1088/0953-2048/23/4/045016
- V.P. Koshelets, S.V. Shitov, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, O.V. Koryukin, A.V. Khudchenko, M.Yu. Torgashin, P.A. Yagoubov, R.W.M. Hoogeveen, O.M. Pylypenko. IEEE Trans. Appl. Supercond., 15 (2), 960 (2005). DOI: 10.1109/TASC.2005.850138
- J.V. Siles, K.B. Cooper, C. Lee, R.H. Lin, G. Chattopadhyay, I. Mehdi. IEEE Transactions Terahertz Sci. Technol., 8 (6), 596 (2018). DOI: 10.1109/TTHZ.2018.2876620
- J.V. Siles, A.E. Maestrini, C. Lee, R. Lin, I. Mehdi. IEEE Transactions Terahertz Sci. Technol., 14 (5), 607 (2024). DOI: 10.1109/TTHZ.2024.3430013
- Л.В. Филиппенко, А.М. Чекушкин, М.Ю. Фоминский, А.Б. Ермаков, Н.В. Кинев, К.И. Рудаков, А.В. Худченко, А.М. Барышев, В.П. Кошелец, С.А. Никитов. УФН, 194, 1207 (2024). DOI: 10.3367/UFNr.2024.07.039726 [L.V. Filippenko, A.M. Chekushkin, M.Yu. Fominskii, A.B. Ermakov, N.V. Kinev, K.I. Rudakov, A.V. Khudchenko, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets, S.A. Nikitov. Phys. Usp., 67, 1139, (2024). DOI: 10.3367/UFNe.2024.07.039726]
- V.P. Koshelets, P.N. Dmitriev, M.I. Faley, L.V. Filippenko, K.V. Kalashnikov, N.V. Kinev, O.S. Kiselev, A.A. Artanov, K.I. Rudakov, A. de Lange, G. de Lange, V.L. Vaks, M.Y. Li, H. Wang. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol., 5 (4), 687 (2015). DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2443500
- D.R. Gulevich, V.P. Koshelets, F.V. Kusmartsev. Phys. Rev. B, 96 (2), 024515 (2017). DOI: 10.1103/PhysRevB.96.024515
- К.К. Likharev. Dynamics of Josephson junctions and circuits. (Gordon and Breach science publishers, NY., 1986)
- D.D. Coon, M.D. Fiske. Phys. Rev., 138 (3A), A744 (1965). DOI: 10.1103/PhysRev.138.A744
- Y. Uzawa, S. Saito, W. Qiu, K. Makise, T. Kojima, Z. Wang. J. Low Temperature Phys., 199, 143 (2020). DOI: 10.1007/s10909-019-02324-1
- A.K. Jain, K.K. Likharev, J.E. Lukens, J.E. Sauvageau. Phys. Reports, 109 (6), 309 (1984). DOI: 10.1016/0370-1573(84)90002-4
- P. Barbara, A.B. Cawthorne, S.V. Shitov, C.J. Lobb. Phys. Rev. Lett., 82 (9), 1963 (1999). DOI: 10.1103/physrevlett.82.1963
- M. Darula, T. Doderer, S. Beuven. Supercond. Sci. Tech., 12 (1), R1 (1999). DOI: 10.1088/0953-2048/12/1/001
- M.A. Galin, V.V. Kurin, I.A. Shereshevsky, N.K. Vdovicheva, A.V. Antonov, B.A. Andreev, A.M. Klushin. IEEE Trans. Appl. Supercond., 31 (5), 1 (2021). DOI: 10.1109/TASC.2021.3064533
- P.A.A. Booi, S.P. Benz. Appl. Phys. Lett., 68 (26), 3799 (1996). DOI: 10.1063/1.116621
- A. Kawakami, Y. Uzawa, Z. Wang. IEEE Trans. Appl. Supercond., 9 (2), 4554 (1999). DOI: 10.1109/77.784039
- B. Bi, S. Han, J.E. Lukens, K. Wan. IEEE Trans. Appl. Supercond., 3 (1), 2303 (1993). DOI: 10.1109/77.233544
- P.A.A. Booi, S.P. Benz. Appl. Phys. Lett., 64 (16), 2163 (1994). DOI: 10.1063/1.111984
- M.A. Galin, N.V. Kinev, M.Yu. Levichev, A.I. El'kina, A.V. Antonov, A.V. Khudchenko, G.P. Nazarov, V.V. Kurin, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Appl. Supercond., 34 (3), (2024). DOI: 10.1109/TASC.2023.3337197
- J. Lukens. Study of Josephson Effect Arrays as Sources at 1 THz (Rome Air Development Center, Air Force Systems Command, Rome, 1990). p. 110
- L.V. Filippenko, S.V. Shitov, P.N. Dmitriev, A.B. Ermakov, V.P. Koshelets, J.R. Gao. IEEE Trans. Appl. Supercond., 11 (1), 816 (2001). DOI: 10.1109/77.919469
- P.N. Dmitriev, I.L. Lapitskaya, L.V. Filippenko, A.B. Ermakov, S.V. Shitov, G.V. Prokopenko, S.A. Kovtonyuk, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Appl. Supercond., 13 (2), 107 (2003). DOI: 10.1109/TASC.2003.813657
- K.I. Rudakov, A.V. Khudchenko, L.V. Filippenko, M.E. Paramonov, R. Hesper, D.A.R. da Costa Lima, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets. Appl. Sci., 11 (21), 10087 (2021). https://doi.org/10.3390/app112110087
- УНУ "Криоинтеграл"--"Технологический и измерительный комплекс для создания сверхпроводниковых наносистем на основе новых материалов" Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.cplire.ru/rus/kriointegral/index.html; http://ckp-rf.ru/usu/352529/
- Ф.В. Хан, Л.В. Филиппенко, А.Б. Ермаков, М.Е. Парамонов, М.Ю. Фоминский, Н.В. Кинев, В.П. Кошелец, С.А. Никитов. УФН, 195 (6), 621 (2025). DOI: 10.3367/UFNr.2024.12.039864
- Ф.В. Хан, А.А. Атепалихин, Л.В. Филиппенко, В.П. Кошелец. Радиотехника и электроника, 68 (10), 1003 (2023). DOI: 10.31857/S0033849423090115. [F.V. Khan, L.V. Filippenko, V.P. Koshelets. J. Commun. Technol. Electron., 68 (9), 983 (2023). DOI: 10.1134/S1064226923090115]
- R. Garg, I. Bahl, M. Bozzi. Microstrip lines and slotlines (Artech house, 2013)
- V. Belitsky, C. Risacher, M. Pantaleev, V. Vassilev. Intern. J. Infrared Millimeter Waves, 27, 809 (2006). DOI: 10.1007/s10762-006-9116-5
- M.А. Galin, I.A. Shereshevsky, N.K. Vdovicheva, V.V. Kurin. Supercond. Sci. Technol., 34 (7), 075005 (2021). DOI: 10.1088/1361-6668/abfd0b
- S.K. Tolpygo, R. Rastogi, T. Weir, E.B. Golden, V. Bolkhovsky. IEEE Trans. Appl. Supercond., 34 (3), (2024). DOI: 10.1109/TASC.2024.3364128