Рассмотрены результаты обработки монокристаллических НРНТ-алмазных подложек методом термохимической полировки. Основное применение данного метода - доведение поверхности механически полированных алмазных подложек до состояния, близкого к атомарно гладкому. С помощью метода оптической профилометрии впервые получены результаты исследования всей площади поверхности (4x4 mm) алмазных подложек высокого качества. Показано, что термохимическая полировка может значительно улучшить морфологические характеристики алмазных подложек вплоть до того, что на 80-90 % их площади перепады высот составляют менее 200 nm. Данные, полученные с помощью метода атомно-силовой микроскопии, свидетельствуют о снижении шероховатости поверхности до уровня Ra (0.5-0.7) nm. В процессе полировки также формируются углубления различной величины и глубины, распределенные неравномерно; с увеличением однородности поверхности их количество может увеличиваться. Результаты исследования демонстрируют значительные перспективы термохимической полировки алмазных подложек для их промышленного применения в высокотехнологичных областях микроэлектроники и микромеханики, требующих плоских поверхностей с минимальной шероховатостью. Ключевые слова: НРНТ-алмаз, термохимическая полировка, механическая полировка, шероховатость поверхности, плоскостность.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.