Влияние условий синтеза на структуру и электронные свойства алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия
Бекмурат Ф.1,2, Рягузов А.П.1, Немкаева Р.Р.1, Асембаева А.Р.1,3, Гусейнов Н.Р.1, Ерсайын Р.Ж.4
1Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный государственный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
2Кафедра Физики Твердого Тела и Технологии новых материалов, КазНУ им. Аль-Фараби
3Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И. Сатпаева, Алматы, Казахстан
4Институт топлива, катализа и электрохимии им. Д.В. Сокольского, Алматы, Казахстан
Email: zh.fariza1@mail.ru, ryaguzov_a@mail.ru, quasisensus@mail.ru, aliya.asembaeva@mail.ru, solar_neo@mail.ru, yer_ray@mail.ru
Поступила в редакцию: 28 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 28 октября 2024 г.
Принята к печати: 28 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 31 января 2025 г.
Исследована возможность управления соотношением sp^2/sp3-гибридизированных связей алмазоподобных углеродных пленок, модифицированных наночастицами иридия. Алмазоподобные углеродные пленки получены методом магнетронного распыления комбинированной мишени. Методом электронной микроскопии изучены морфология поверхности и элементный состав алмазоподобных углеродных пленок. Исследования поверхности пленок на сканирующем электронном микроскопе показали, что иридий в углеродной матрице формируется в виде наночастиц. Методом комбинационного рассеяния света были проведены исследования локальной структуры аморфных алмазоподобных углеродных пленок в зависимости от условий синтеза и концентрации иридия. Показана зависимость положения G-, D-, T-пиков от условий синтеза и концентрации иридия. Рассчитано соотношение интенсивностей I_D/IG и показано изменение ширины на полувысоте G-пика в зависимости от концентрации иридия. Также показано изменение дисперсии G-пика от алмазоподобной до графитоподобной фазы с ростом концентрации иридия. Определена ширина запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия и показана зависимость ширины запрещенной зоны от режимов синтеза и концентрации иридия. Кроме этого, наблюдалась перколяционная проводимость алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия пленок при концентрации иридия 0.9 at.%. Ключевые слова: магнетронное распыление, алмазоподобная углеродная пленка, наночастица, иридий, рамановская спектроскопия.
- J. Robertson. Phys. Stat. Sol. (A), 205 (9), 2233 (2008). https://doi.org/10.1002/pssa.200879720
- А.И. Охапкин, П.А. Юнин, Е.А. Архипова, С.А. Краев, С.А. Королев, М.Н. Дроздов, В.И. Шашкин. ФТП, 54 (9), 865 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.09.49822.14
- В.А. Власенко, С.Н. Беляев, А.Г. Ефимов, Э.А. Ильичев, М.Д. Маленкович, В.Э. Немировский, Э.А. Полторацкий, А.В. Горячев, А.Ф. Попков, Г.В. Фролова, М.Л. Шупегин, Письма в ЖТФ, 35 (15), 105 (2009)
- M.S. Dresselhaus, G. Dresselhaus, P.C. Eklund. Science of Fullerenes and Carbon Nanotubes (Academic Press, London, 1996)
- K.S. Novoselov, D. Jiang, F. Schedin, T.J. Booth, V.V. Khotkevich, S.V. Morozov, A.K. Geim. Proc. Nat. Acad. Sci. U.S.A., 102 (30), 10451 (2005). https://doi.org/10.1073/pnas.0502848102
- D. Li, N. Kong, R. Li, B. Zhang, Y. Zhang, Zh. Wu, Q. Zhang. Surf. Topography: Metrology and Properties, 9 (4), (2021). DOI: 10.1088/2051-672X/ac4086
- P.A. Radi, L. Vieira, P. Leite, V.J. Trava-Airoldi, M. Massi, D.A.P. Reis. Surface Topography: Metrology and Properties, 12 (1), 10 (2024). DOI: 10.1088/2051-672X/ad2ebe
- Kunming Gu, Yi Zheng, Junxuan Luo, Xiande Qin, Xinge Yang, Nadeem Abbas, Jiaoning Tang. Mater. Res. Express, 6 (8), 2019. DOI: 10.1088/2053-1591/ab197b
- Yeong Ju Jo, Teng Fei Zhang, Myoung Jun Son, Kwang Ho Kim. Appl. Surf. Sci., 433, 1184 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.10.151
- Shuling Zhang, Shuaizheng Wu, Tenglong Huang, Xiangdong Yang, Feng Guo, Bo Zhang, Wenjie Ding. Coatings, 13 (10), 1743 (2023). https://doi.org/10.3390/coatings13101743
- Haibo Sun, Lv Yang, Huaichao Wu, Limei Zhao, Bin Ji. Appl. Surf. Sci., 641, 158545 (2023). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158545
- A.F. Yetim, H. Kovaci, A.E. Kasapov glu, Y.B. Bozkurt, A. Celik. Diamond and Related Mater., 120, 108639 (2021). https://doi.org/10.1016/j.diamond.2021.108639
- A. Modabberas, P. Kameli, M. Ranjbar, H. Salamati, R. Ashiri. Carbon, 94, 485 (2015). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2015.06.081
- B. Pandey, S. Hussain. J. Phys. Chem. Solids, 72 (10), 1111 (2011). https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2011.06.003
- B. Ghos, F. Guzman-Olivos, R. Espinoza-Gonzalez. Mater. Sci., 52, 218 (2017)
- A.P. Ryaguzov, R.R. Nemkayeva, N.R. Guseinov, A.R. Assembayeva, S.I. Zaitsev. J. Non-Crystalline Solids, 532, 119876 (2020). https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2019.119876
- F. Bekmurat, R.R. Nemkayeva, N.R. Guseinov, M.M. Myrzabekova, A.P. Ryaguzov. Mater. Today: Proceed., 25, 13 (2019). https://doi.org/10.1016/j.matpr.2019.10.129
- Elnaz Mohammadini, Seyed Mohammad Elahi, Sheila Shahidi. Mater. Sci. Semicond. Process., 74, 7 (2018). https://doi.org/10.1016/j.mssp.2017.10.003
- Raviraj Vankayala, Ganesh Gollavelli Badal Kumar Mandal. J. Mater. Sci.: Mater. Med., 24, 1993 (2013). DOI: 10.1007/s10856-013-4952-z
- А.Л. Ивановский. Успехи химии, 78 (4) (2009)
- A. Modabberasl, P. Kameli, M. Ranjbar, H. Salamati, R. Ashiri. Carbon, 94, 485 (2015). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2015.06.081
- R.A. Alawajji, G.K. Kannarpady, Z.A. Nima, N. Kelly, F. Watanabe, A.S. Biris. Appl. Surf. Sci., 437, 429 (2018). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.08.058
- А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, П.А. Юнин, С.А. Краев, Д.Б. Радищев. ФТП, 57 (5), 309 (2023). DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56195.09k
- П.А. Юнин, А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, С.А. Королев, Е.А. Архипова, С.А. Краев, Ю.Н. Дроздов, В.И. Шашкин, Д.Б. Радищев. ФТП, 54 (9), 855 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.09.49820.12
- J. Robertson. Semicond. Sci. Technol., 18, 12 (2003). DOI: 10.1088/0268-1242/18/3/302
- J. Robertson. Mater. Sci. Eng. R, 37 (4-6), 129 (2002). https://doi.org/10.1016/S0927-796X(02)00005-0
- A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B., 61 (20), 14095 (2000). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.61.14095
- F.C. Tai, S.C. Lee, C.H. Wei, S.L. Tyan. Mater. Transactions, 47 (7), 1847 (2006). DOI: 10.2320/matertrans.47.1847
- С. Casiraghi, F. Piazza, A.C. Ferrari, D. Grambole, J. Robertson. Diamond \& Related Mater., 14, 1098 (2005). DOI: 10.1103/PhysRevB.72.085401
- J. Robertson, A.C. Ferrari. Phil. Trans. R. Soc. Lond. A, 362, 2477 (2004). https://doi.org/10.1098/rsta.2004.1452
- А.П. Рягузов, Р.Р. Немкаева, О.И. Юхновец, Н.Р. Гусейнов, С.Л. Михайлова, Ф. Бекмурат, А.Р. Асембаева. Опт. и спектр., 127 (2), 251 (2019). DOI: 10.21883/OS.2019.08.48037.33-19
- J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35 (6), 2946 (1987)
- К.В. Шалимова. Физика полупроводников (Энергоатомиздат, М., 1985), 392 с
- J. Tauc. Prog. Semicond., 9, 89 (1965)
- А.П. Рягузов, Р.Р. Немкаева, Н.Р. Гусейнов. ФТП, 52 (10), 1207 (2018). DOI: 10.21883/FTP.2018.10.46463.8785
- A. Grill. Thin Solid Films, 355--356, 189 (1999). https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)00516-7
- E. Staryga, G.W. B ak. Diamond Related Mater., 14 (1), 23 (2005). https://doi.org/10.1016/j.diamond.2004.06.030
- B.I. Shklovski, A.L. Efros. Adv. Phys. Sci., 18 (11), 24 (1975). DOI: 10.1070/PU1975v018n11ABEH005233
- V.I. Roldughin, V.V. Vysotskii. Prog. Org. Coat., 39 (2-4), 81 (2000). https://doi.org/10.1016/S0300-9440(00)00140-5