Вышедшие номера
Формирование наноструктур SmS в матрице анодированного оксида алюминия
Баскаков Е.Б. 1, Супельняк С.И. 1, Хмеленин Д.Н. 1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: baskakov.ras@gmail.com
Поступила в редакцию: 30 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 22 июля 2024 г.
Принята к печати: 6 августа 2024 г.
Выставление онлайн: 20 сентября 2024 г.

Матрицы из анодированного оксида алюминия с диаметром пор 40-140 nm и 60-210 nm изготовлены анодированием алюминия двухэтапным методом. Представлено распределение оксидных ячеек и пор матриц по диаметру. Установлено, что увеличение времени травления привело к росту статистического максимума среднего диаметра пор от 108 до 155 nm. Установлено, что увеличение диаметра пор в процессе травления сопровождается сохранением размеров оксидных ячеек и снижением средней толщины стенок ячеек. Методом магнетронного распыления получены наноструктуры SmS, образовавшиеся в порах матриц и уходящие на среднюю глубину 120 nm. Предположено образование проводящего канала в виде тонкого слоя SmS, соединяющего наноструктуры SmS и барьерный слой анодированного оксида алюминия. Измерено сопротивление наноструктур SmS в матрице анодированного оксида алюминия с Ni-металлизацией, которое составило 23 и 22 Ω. Ключевые слова: анодированный оксид алюминия, сульфид самария, магнетронное напыление, наноструктуры.