Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 8 » Статья стр. 1288
<<<>>>
Высокоградиентная асферизация подложек тонкопленочными покрытиями Al/Si
Российский научный фонд, 21-72-30029
Министерство образования и науки Российской Федерации, FFUF-2024-0022
Дуров К.В. 1, Минеев С.М.2, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: zevs2801@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 15 мая 2024 г.
Принята к печати: 15 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
PDF версия
Рассмотрены вопросы пленочной асферизации. В качестве асферизующего покрытия предложена нанесенная на сферическую поверхность многослойная структура Al/Si. Подбором соотношения материалов в периоде произведен поиск состояния, при котором напряжения в многослойной структуре минимизировались. При этом период структуры 9-10 nm соответствует зеркалам нормального падения для диапазона длин волн 17-19 nm, представляющим интерес для солнечной астрономии. С помощью прецизионных фигурных диафрагм между магнетроном и подложкой был сформирован асферический профиль покрытия с максимальным перепадом высот ~1.3 μm. Ключевые слова: тонкие пленки, магнетронное напыление, внутренние напряжения, асферизация.
  1. И.И. Собельман, И.А. Житник, Б. Вальничек, М. Рыбански, М. Бернас, С.В. Гапонов, Р. Гудец, А.П. Игнатьев, Р.В. Исаджанян, В.М. Кищенко, М. Клима, Я. Копецки, В.В. Корнеев, О.Б. Краснопольский, М.Н. Крмоян, В.В. Крутов, В.М. Ломкова, А.В. Митрофанов, С.Н. Опарин, Р. Пересты, А.А. Перцов, Н.Н. Салащенко, В.А. Слемзин, А.Б. Телегин, В.О. Тимофеев, И.П. Тиндо, А.М. Урнов, Ю.Н. Фотин, Ю.М. Ходжаянц. Письма в АЖ, 16 (4), 323 (1990)
  2. И.И. Собельман, И.А. Житник, А.П. Игнатьев, В.В. Корнеев, В.Ю. Клепиков, В.В. Крутов, С.В. Кузин, А.В. Митрофанов, С.Н. Опарин, А.А. Перцов, Н.Н. Салащенко, В.А. Слемзин, А.И. Степанов, И.П. Тиндо, Э.А. Аветисян, В.М. Ломкова, В.Ф. Суханов, Ю.Н. Фотин. Письма в АЖ, 22 (8), 604 (1996)
  3. I.A. Zhitnik, A.P. Ignatiev, V.V. Korneev, V.V. Krutov, S.V. Kuzin, A.V. Mitrofanov, S. Oparin, A.A. Pertzov, V.A. Slemzin, I.P. Tindo, M. Pakhomov, N.N. Salashchenko, O. Timofeev. Proc. SPIE, 3406, 1 (1998)
  4. В.Н. Ораевский, И.И. Собельман. Письма в АЖ, 28 (6), 34 (2002)
  5. С.В. Кузин, И.А. Житник, О.И. Бугаенко, А.П. Игнатьев, А.В. Митрофанов, С.Н. Опарин, А.А. Перцов. Известия РАН. Сер. физ., 69 (2), 191 (2005)
  6. O.I. Bugaenko, S.V. Kuzin, S.A. Bogachev, I.A. Zhitnik, A.A. Perzov, A.P. Ignatiev, A.M. Mitrofanov, V.A. Slemzin, S.V. Shestov, N.K. Sukhodrev. Adv. Space Res., 43 (6), 1001 (2009)
  7. I.V. Malyshev, D.G. Reunov, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Tsybin, A.Ya. Lopatin, A.K. Chernyshev, M.S. Mikhailenko, R.M. Smertin, R.S. Pleshkov, O.M. Shirokova. Optics Express, 30 (26), 47567 (2022)
  8. J.-P. Delaboudiniere, R.A. Stern, A. Maucherat, F. Portier-Fozzani, W.M. Neupert, J.B. Gurman, R.C. Catura, J.R. Lemen, L. Shing, G.E. Artzner, J. Brunaud, A.H. Gabriel, D.J. Michels, J.D. Moses, B. Au, K.P. Dere, R.A. Howard, R. Kreplin, J.M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J.P. Chauvineau, J.P. Marioge, F. Clette, P. Cugnon, E.L. van Dessel. Adv. Space Res., 20 (12), 2231 (1997)
  9. N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, A.S. Kozlov. Appl. Opt., 58, 3652 (2019)
  10. С.С. Андреев, С.Ю. Зуев, В.И. Позднякова, Н.Н. Салащенко, В.А. Слемзин, И.Л. Струля, И.А. Шерешевский, И.А. Житник. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 6 (2003)
  11. С.С. Андреев, Е.Б. Клюенков, А.Л. Мизинов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, В.В. Чернов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2, 45 (2005)
  12. С.С. Андреев, С.В. Гапонов, С.А. Гусев, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, К.А. Прохоров, Н.И. Полушкин, Е.Н. Садова, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, M.N. Haidl. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 66 (2001)
  13. S.A. Bogachev, N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.V. Shestov, S.Y. Zuev. Appl. Opt., 55 (9), 2126 (2016)
  14. И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 37 (2013)
  15. M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 253 (2020)
  16. A. Brenner, S. Senderoff. J. Res. Nat'l. Bur. Stand, 42, 105 (1949)
  17. Л. Майссел, Р. Глэнг. Технология тонких пленок. Справочник (Советское радио, М., 1977)
  18. R.M. Smertin. Thin Solid Films, 782 (1), 140044 (2023)
  19. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Review Scientific Instruments, 86, 016102 (2015)
  20. A.A. Akhsakhalyan, N.I. Chkhalo, N. Kumar, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, B.A. Ulasevich, S.V. Kuzin. Precision Eng., 71, 330 (2021)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme