Изготовление и исследование структур нормальный металл-изолятор-сверхпроводник Al/AlOx/Nb
Российский научный фонд, Конкурс 2023 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 23-79-10262
Министерство науки и высшего образования РФ , Конкурс крупных научных проектов по приоритетным направлениям научно-технологического развития, 075-15-2024-538
Маркина М.А.1,2, Чекушкин А.М.1, Тарасов М.А.1, Фоминский М.Ю.1, Пацаев Т.Д.3, Васильев А.Л.3
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия
3Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, Москва, Россия
Email: markina_ma@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 15 мая 2024 г.
Принята к печати: 15 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
Представлены разработка, изготовление и исследование структур на основе туннельных переходов нормальный металл-изолятор-сверхпроводник. Произведен анализ морфологии трехслойной структуры Al/AlOx/Nb методами просвечивающей электронной микроскопии, просвечивающей растровой электронной микроскопии и электронной дифракции. Для формирования туннельных переходов использована технология Selective Niobium Etching and Anodization Process. Достигнут параметр качества изготовленных структур - отношение R_d/R_n(V = 0)= 53 при температуре 2.8 K, теоретически ожидаемое значение составляет 54. Разработан дизайн структур из последовательно-параллельного электрического соединения пар туннельных контактов. Изготовлены интегральные структуры термометров, dR/dT которых в 2.5, 5 и 12.5 раз больше, чем одиночного туннельного перехода. Ключевые слова: туннельный переход, нормальный металл-изолятор-сверхпроводник (НИС), цепочки НИС контактов, SNEAP (от англ. "Selective Niobium Etching and Anodization Process"), плазмохимическое травление, просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ).
- J. Clarke, G.I. Hoffer, P.L. Richards. Rev. Phys. Applique, 9 (1), 69 (1974). DOI: 10.1051/rphysap:019740090106900
- D. Golubev, L. Kuzmin. J. Appl. Phys., 89 (11), 6464 (2001). DOI: 10.1063/1.1351002
- М. Тарасов, Л. Кузьмин, Е. Степанцов, И. Агуло, А. Калабухов, М. Фоминский, Z. Ivanov, T. Claeson. Письма в ЖЭТФ, 79 (6), 356 (2004). [M. Tarasov, L. Kuz'min, E. Stepantsov, I. Agulo, A. Kalabukhov, M. Fominskii, Z. Ivanov, T. Claeson. J. Experim. Theor. Phys. Lett., 79 (6), 298 (2004). DOI: 10.1134/1.1759413]
- J. Niemeyer. PTB-Mitt, 84 (4), 251 (1974)
- F.M. Al-Ghamdi, A. Ennawy, R.J. Bennett, A. Vradis. J. King Abdulaziz University-Science, 5 (1), 99 (1993). DOI: 10.4197/Sci.5-1.9
- I. Giaever. Phys. Rev. Lett., 5 (10), 464(1960). DOI: 10.1103/PhysRevLett.5.464
- I. Giaever, K. Megerle. Phys. Rev., 122 (4), 1101(1961). DOI: 10.1103/PhysRev.122.1101
- L.J. Zeng, S. Nik, T. Greibe, P. Krantz, C.M. Wilson, P. Delsing, E. Olsson. J. Phys. D: Appl. Phys., 48 (39), 395308 (2015). DOI: 10.1088/0022-3727/48/39/395308
- S. Fritz, L. Radtke, R. Schneider, M. Weides, D. Gerthsen. J. Appl. Phys., 125 (16), 165301 (2019). DOI: 10.1063/1.5089871
- А. Выставкин, Д. Шуваев, Л. Кузьмин, М. Тарасов, Э. Адерстед, М. Вилландер, Т. Клаесон. ЖЭТФ, 115 (3), 1085 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
