Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние электрического поля на скорость гидрогенизации графена в индукционно-связанной плазме

Преображенский Е.И.¹, Водопьянов А.В.^1,2, Нежданов А.В.², Машин А.И.²

¹Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия Federal Research Center A.V. Gaponov-Grekhov Institute of Applied Physics of the Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Federal Research Center A.V. Gaponov-Grekhov Institute of Applied Physics of the Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

²Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия Lobachevsky University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Lobachevsky University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Email: evgenypr@ipfran.ru

Поступила в редакцию: 2 апреля 2024 г.

В окончательной редакции: 2 апреля 2024 г.

Принята к печати: 2 апреля 2024 г.

Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты экспериментов по обработке монослойного графена в индукционно-связанной водородсодержащей плазме низкого давления. Изучено влияние электрического поля на степень гидрогенизации образцов. Проведено сравнение комбинационных спектров рассеяния образцов до и после плазменной обработки при различных значениях напряжения на образце относительно заземленной камеры. Предложен способ измерения проводящих свойств образцов во время плазменной обработки. Данные параметры графена были измерены в зависимости от времени плазменной обработки при разных значениях напряжения на образце. Высказано предположение о том, что в ходе плазменной обработки основными частицами, которые могут вступать в реакцию с графеном, являются положительные ионы водорода. Ключевые слова: плазма, графен, плазмохимия, индукционно-связанная плазма, графан.

K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S.V. Dubonos, I.V. Grigorieva, A.A. Firsov. Science, 306 (5696), 666 (2004). DOI: 10.1126/science.1102896
V. Georgakilas, M. Otyepka, A.B. Bourlinos, V. Chandra, N. Kim, K.C. Kemp, P. Hobza, R. Zboril, K.S. Kim. Chem. Rev., 112 (11), 6156 (2012). DOI: 10.1021/cr3000412
P.R. Wallace. Phys. Rev., 71 (9), 622 (1947). DOI: 10.1103/PhysRev.71.622
R. Balog, B. J rgensen, L. Nilsson, M. Andersen, E. Rienks, M. Bianchi, M. Fanetti, E. L gsgaard, A. Baraldi, S. Lizzit, Z. Sljivancanin, F. Besenbacher, B. Hammer, T.G. Pedersen, P. Hofmann, L. Hornek r. Nature Mater., 9 (4), 315 (2010). DOI: 10.1038/nmat2710
J.O. Sofo, A.S. Chaudhari, G.D. Barber. Phys. Rev. B, 75 (15), 153401 (2007). DOI: 10.1103/PhysRevB.75.153401
S.M. Tan, Z. Sofer, M. Pumera. Electroanalysis, 25 (3), 703 (2013). DOI: 10.1002/elan.201200634
L. Huang, Z. Zeng. Frontiers Phys., 7 (3), 324 (2012). DOI: 10.1007/s11467-011-0239-3
T. Hussain, A. de Sarkar, R. Ahuja. Appl. Phys. Lett., 101 (10), 103907 (2012). DOI: 10.1063/1.4751249
Л.С. Полак, А.А. Овсянников, Д.И. Словецкий, Ф.Б. Вурзель. Теоретическая и прикладная плазмохимия (Наука, М., 1975)
D.C. Elias, R.R. Nair, T.M.G. Mohiuddin, S.V. Morozov, P. Blake, M.P. Halsall A.C. Ferrari, D.W. Boukhvalov, M.I. Katsnelson, A.K. Geim, K.S. Novoselov. Science, 323 (5914), 610 (2009). DOI: 10.1126/science.1167130
K.E. Whitener. J. Vacuum Sci. Technol. A, 36 (5), 05G401 (2018). DOI: 10.1116/1.5034433
J.D. Jones, W.D. Hoffmann, A.V. Jesseph, C.J. Morris, G.F. Verbeck, J.M. Perez. Appl. Phys. Lett., 97 (23), 233104 (2010). DOI: 10.1063/1.3524517
M.G. Rybin, A.S. Pozharov, E.D. Obraztsova. Phys. Status Solidi С, 7 (11-12), 2785 (2010). https://doi.org/10.1002/pssc.201000241
A. Vodopyanov, E. Preobrazhensky, A. Nezhdanov, M. Zorina, A. Mashin, R. Yakimova, D. Gogova. Superlattices and Microstructures, 160, 107066 (2021). DOI: 10.1016/j.spmi.2021.107066
M. Brzhezinskaya, E.A. Belenkov, V.A. Greshnyakov, G.E. Yalovega, I.O. Bashkin. J. Alloys Compounds, 792, 713 (2019). DOI: 10.1016/j.jallcom.2019.04.107
I. Shtepliuk, I.G. Ivanov, T. Iakimov, R. Yakimova, A. Kakanakova-Georgieva, P. Fiorenza, F. Giannazzo. Mater. Sci. Semicond. Process., 96, 145 (2019). DOI: 10.1016/j.mssp.2019.02.039
Е.И. Преображенский, А.В. Водопьянов, А.В. Нежданов. ЖТФ, 93 (7), 884 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55741.71-23
M. Brzhezinskaya, O. Kononenko, V. Matveev, A. Zotov, I.I. Khodos, V. Levashov, V. Volkov, S.I. Bozhko, S.V. Chekmazov, D. Roshchupkin. ACS Nano, 15 (7), 12358 (2021). DOI: 10.1021/acsnano.1c04286
M. Wojtaszek, N. Tombros, A. Caretta, P.H.M. van Loosdrecht, B.J. van Wees. J. Appl. Phys., 110 (6), 063715 (2011). DOI: 10.1063/1.3638696

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель