Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние электрического поля на скорость гидрогенизации графена в индукционно-связанной плазме
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия 
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: evgenypr@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 2 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 2 апреля 2024 г.
Принята к печати: 2 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
Представлены результаты экспериментов по обработке монослойного графена в индукционно-связанной водородсодержащей плазме низкого давления. Изучено влияние электрического поля на степень гидрогенизации образцов. Проведено сравнение комбинационных спектров рассеяния образцов до и после плазменной обработки при различных значениях напряжения на образце относительно заземленной камеры. Предложен способ измерения проводящих свойств образцов во время плазменной обработки. Данные параметры графена были измерены в зависимости от времени плазменной обработки при разных значениях напряжения на образце. Высказано предположение о том, что в ходе плазменной обработки основными частицами, которые могут вступать в реакцию с графеном, являются положительные ионы водорода. Ключевые слова: плазма, графен, плазмохимия, индукционно-связанная плазма, графан.
- K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S.V. Dubonos, I.V. Grigorieva, A.A. Firsov. Science, 306 (5696), 666 (2004). DOI: 10.1126/science.1102896
- V. Georgakilas, M. Otyepka, A.B. Bourlinos, V. Chandra, N. Kim, K.C. Kemp, P. Hobza, R. Zboril, K.S. Kim. Chem. Rev., 112 (11), 6156 (2012). DOI: 10.1021/cr3000412
- P.R. Wallace. Phys. Rev., 71 (9), 622 (1947). DOI: 10.1103/PhysRev.71.622
- R. Balog, B. J rgensen, L. Nilsson, M. Andersen, E. Rienks, M. Bianchi, M. Fanetti, E. L gsgaard, A. Baraldi, S. Lizzit, Z. Sljivancanin, F. Besenbacher, B. Hammer, T.G. Pedersen, P. Hofmann, L. Hornek r. Nature Mater., 9 (4), 315 (2010). DOI: 10.1038/nmat2710
- J.O. Sofo, A.S. Chaudhari, G.D. Barber. Phys. Rev. B, 75 (15), 153401 (2007). DOI: 10.1103/PhysRevB.75.153401
- S.M. Tan, Z. Sofer, M. Pumera. Electroanalysis, 25 (3), 703 (2013). DOI: 10.1002/elan.201200634
- L. Huang, Z. Zeng. Frontiers Phys., 7 (3), 324 (2012). DOI: 10.1007/s11467-011-0239-3
- T. Hussain, A. de Sarkar, R. Ahuja. Appl. Phys. Lett., 101 (10), 103907 (2012). DOI: 10.1063/1.4751249
- Л.С. Полак, А.А. Овсянников, Д.И. Словецкий, Ф.Б. Вурзель. Теоретическая и прикладная плазмохимия (Наука, М., 1975)
- D.C. Elias, R.R. Nair, T.M.G. Mohiuddin, S.V. Morozov, P. Blake, M.P. Halsall A.C. Ferrari, D.W. Boukhvalov, M.I. Katsnelson, A.K. Geim, K.S. Novoselov. Science, 323 (5914), 610 (2009). DOI: 10.1126/science.1167130
- K.E. Whitener. J. Vacuum Sci. Technol. A, 36 (5), 05G401 (2018). DOI: 10.1116/1.5034433
- J.D. Jones, W.D. Hoffmann, A.V. Jesseph, C.J. Morris, G.F. Verbeck, J.M. Perez. Appl. Phys. Lett., 97 (23), 233104 (2010). DOI: 10.1063/1.3524517
- M.G. Rybin, A.S. Pozharov, E.D. Obraztsova. Phys. Status Solidi С, 7 (11-12), 2785 (2010). https://doi.org/10.1002/pssc.201000241
- A. Vodopyanov, E. Preobrazhensky, A. Nezhdanov, M. Zorina, A. Mashin, R. Yakimova, D. Gogova. Superlattices and Microstructures, 160, 107066 (2021). DOI: 10.1016/j.spmi.2021.107066
- M. Brzhezinskaya, E.A. Belenkov, V.A. Greshnyakov, G.E. Yalovega, I.O. Bashkin. J. Alloys Compounds, 792, 713 (2019). DOI: 10.1016/j.jallcom.2019.04.107
- I. Shtepliuk, I.G. Ivanov, T. Iakimov, R. Yakimova, A. Kakanakova-Georgieva, P. Fiorenza, F. Giannazzo. Mater. Sci. Semicond. Process., 96, 145 (2019). DOI: 10.1016/j.mssp.2019.02.039
- Е.И. Преображенский, А.В. Водопьянов, А.В. Нежданов. ЖТФ, 93 (7), 884 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55741.71-23
- M. Brzhezinskaya, O. Kononenko, V. Matveev, A. Zotov, I.I. Khodos, V. Levashov, V. Volkov, S.I. Bozhko, S.V. Chekmazov, D. Roshchupkin. ACS Nano, 15 (7), 12358 (2021). DOI: 10.1021/acsnano.1c04286
- M. Wojtaszek, N. Tombros, A. Caretta, P.H.M. van Loosdrecht, B.J. van Wees. J. Appl. Phys., 110 (6), 063715 (2011). DOI: 10.1063/1.3638696
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
