Вышедшие номера
Изменения текстуры и удельного сопротивления пленок Ti под действием ионной бомбардировки
Селюков Р.В.1, Амиров И.И. 1, Изюмов М.О.1, Наумов В.В. 1, Мазалецкий Л.А. 2
1Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
2Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
Email: ildamirov@yandex.ru, vvnau@rambler.ru, rvselyukov@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 27 июля 2023 г.
Принята к печати: 28 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 26 сентября 2023 г.

Исследованы кристаллическая текстура, микроструктура и удельное сопротивление пленок Ti толщиной 12-41 nm, подвергшихся ионной бомбардировке в аргоновой плазме при приложении к ним постоянного отрицательного смещения 20-30 V. Найдено, что такая обработка способствует формированию однокомпонентной текстуры [100] в пленках, имеющих исходно смешанную текстуру [100] + [001]. Показано, что чем меньше толщина пленки и чем выше смещение на ней, тем меньшее время обработки требуется для образования текстуры [100]. Обработка пленок толщиной 12 и 22 nm при смещении 30 V приводит к увеличению межплоскостных расстояний в направлении нормали к поверхности на 3% и уменьшению удельного сопротивления пленки на 14-20%. Ключевые слова: тонкие пленки, титан, ионная бомбардировка, плазма, текстура, удельное сопротивление, рентгеновская дифракция.