Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Изменения текстуры и удельного сопротивления пленок Ti под действием ионной бомбардировки

DOI: 10.61011/JTF.2023.10.56290.139-23

Селюков Р.В.¹, Амиров И.И.

¹, Изюмов М.О.¹, Наумов В.В.

¹, Мазалецкий Л.А.

¹Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия Valiev Institute of Physics and Technology of RAS, Yaroslavl Branch, Yaroslavl, Russia

Valiev Institute of Physics and Technology of RAS, Yaroslavl Branch, Yaroslavl, Russia

²Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия Demidov State University, Yaroslavl, Russia

Email: ildamirov@yandex.ru, vvnau@rambler.ru, rvselyukov@mail.ru

Поступила в редакцию: 30 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 27 июля 2023 г.

Принята к печати: 28 июля 2023 г.

Выставление онлайн: 26 сентября 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследованы кристаллическая текстура, микроструктура и удельное сопротивление пленок Ti толщиной 12-41 nm, подвергшихся ионной бомбардировке в аргоновой плазме при приложении к ним постоянного отрицательного смещения 20-30 V. Найдено, что такая обработка способствует формированию однокомпонентной текстуры [100] в пленках, имеющих исходно смешанную текстуру [100] + [001]. Показано, что чем меньше толщина пленки и чем выше смещение на ней, тем меньшее время обработки требуется для образования текстуры [100]. Обработка пленок толщиной 12 и 22 nm при смещении 30 V приводит к увеличению межплоскостных расстояний в направлении нормали к поверхности на 3% и уменьшению удельного сопротивления пленки на 14-20%. Ключевые слова: тонкие пленки, титан, ионная бомбардировка, плазма, текстура, удельное сопротивление, рентгеновская дифракция.

J.-H. Huang, Ch.-H. Ma, H. Chen. Surf. Coat. Technol., 200, 5937 (2006). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2005.09.005
W. Zhang, L. Yi, J. Tu, P. Chang, D. Mao, J. Wu. J. Electron. Mater., 34, 1307 (2005). DOI: 10.1007/s11664-005-0254-7
D.M. Li, F. Pan, J.B. Niu, M. Liu. J. Electron. Mater., 34, 1053 (2005). DOI: 10.1007/s11664-005-0095-4
S. Okasha, Y. Sekine, S. Sasaki, Y. Harada. Thin Solid Films, 732, 138784 (2021). DOI: 10.1016/j.tsf.2021.138784
J. Xiong, H.-Sh. Gu, K. Hu, M.-Z. Hu. Int. J. Miner. Metall. Mater., 17, 98 (2010). DOI: 10.1007/s12613-010-0117-y
A.T. Tran, O. Wunnicke, G. Pandraud, M.D. Nguyen, H. Schellevis, P.M. Sarro. Sens. Act. A Phys., 202, 118 (2013). DOI: 10.1016/j.sna.2013.01.047
M.A. Signore, A. Taurinoa, M. Catalano, M. Kim, Z. Che, F. Quaranta, P. Siciliano. Mater. Des., 119, 151 (2017). DOI: 10.1016/j.matdes.2017.01.035
R. Toyama, S. Kawachi, J. Yamaura, Y. Murakami, H. Hosono, Y. Majima. Jpn. J. Appl. Phys., 59, 075504 (2020). DOI: 10.35848/1347-4065/ab9627
К.А. Воротилов, О.М. Жигалина, В.А. Васильев, А.С. Сигов. ФТТ, 51 (7), 1268 (2009). [K.A. Vorotilov, O.M. Zhigalina, V.A. Vasil'ev, A.S. Sigov. Phys. Solid State, 51 (7), 1337 (2009). DOI: 10.1134/S106378340907004X]
A.K. Sahoo, J.A. Chelvane, J. Mohanty. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 32, 7567 (2021). DOI: 10.1007/s10854-021-05471-y
D.L. Ma, Y.T. Li, Q.Y. Deng, B. Huang, Y.X. Leng, N. Huang. Int. J. Mod. Phys. B, 33, 1940017 (2019). DOI: 10.1142/S0217979219400174
M.J. Jung, K.H. Nam, L.R. Shaginyan, J.G. Han. Thin Solid Films, 435, 145 (2003). DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00344-4
W. Zhang, L. Yi, K.T. Yue, M. P. Chang, J. Wu. J. Mater. Sci: Mater. Electron., 17, 931 (2006). DOI: 10.1007/s10854-006-0046-8
Y.-L. Liu, F. Liu, Q. Wu, A.-Y. Chen, X. Li, D. Pan. Trans. Nonferrous Met. Soc. China, 24, 2870 (2014). DOI: 10.1016/S1003-6326(14)63420-8
B.G. Priyadarshini, Sh. Aich, M. Chakraborty. Bull. Mater. Sci., 37, 1691 (2014). DOI: 10.1007/s12034-014-0722-x
B. Wu, Y. Yu, J. Wu, I. Shchelkanov, D.N. Ruzic, N. Huang, Y.X. Leng. Vacuum, 150, 144 (2018). DOI: 10.1016/j.vacuum.2018.01.039
Y. He, J. Zhang, W. Yao, D. Li, X. Teng. Appl. Surf. Sci., 255, 4484 (2009). DOI: 10.1016/j.apsusc.2008.11.053
K. Kamoshida, Y. Ito. J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 961 (1997). DOI: 10.1116/1.589515
А.С. Бабушкин, И.В. Уваров, И.И. Амиров. ЖТФ, 88 (12), 1845 (2018). DOI: 10.21883/JTF.2018.12.46786.37-18 [A.S. Babushkin, I.V. Uvarov, I.I. Amirov. Tech. Phys., 63 (12), 1800 (2018). DOI: 10.1134/S1063784218120228]
Р.В. Селюков, И.И. Амиров, В.В. Наумов. Микроэлектроника, 51 (6), 488 (2022). DOI: 10.31857/ S0544126922700120 [R.V. Selyukov, I.I. Amirov, V.V. Naumov. Russ. Microelectron., 51 (6), 488 (2022). DOI: 10.1134/S1063739722700081]
И.И. Амиров, Р.В. Селюков, В.В. Наумов, Е.С. Горлачев. Микроэлектроника, 50 (1), 3 (2021). DOI: 10.31857/S0544126921010038 [I.I. Amirov, R.V. Selyukov, V.V. Naumov, E.S. Gorlachev. Russ. Microelectron., 50 (1), 1 (2021). DOI: 10.1134/S1063739721010030]
Р.В. Селюков, М.О. Изюмов, В.В. Наумов, Л.А. Мазалецкий. Письма в ЖТФ, 47 (23), 35 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.23.51782.18890 [R.V. Selyukov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov, L.A. Mazaletskiy. Tech. Phys. Lett., 48 (15), 25 (2021). DOI: 10.21883/TPL.2022.15.53816.18890]
И.И. Амиров, М.О. Изюмов, В.В. Наумов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 8, 82 (2016). DOI: 10.7868/S0207352816080047 [I.I. Amirov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov. J. Surf. Investig., 10 (4), 855 (2016). DOI: 10.1134/S1027451016040236]
I.I. Amirov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov, E.S. Gorlachev. J. Phys. D: Appl. Phys., 54, 065204 (2021). DOI: 10.1088/1361-6463/abc3ed
R. Delhez, E.J. Mittemeijer. J. Appl. Cryst., 8, 609 (1975). DOI: 10.1107/S0021889875011466
W.E. Sweeney Jr., R.E. Seebold, L.S. Birks. J. Appl. Phys., 31, 1061 (1960). DOI: 10.1063/1.1735746
R.R. Pawar, V.T. Deshpande. Acta Cryst., A24, 316 (1968). DOI: 10.1107/S0567739468000525
J. Kong, H. Shen, B. Chen, Z. Li, W. Shi, W. Yao, Zh. Qi. Thin Solid Films, 207, 51 (1992). DOI: 10.1016/0040-6090(92)90100-P
R. Banerjee, E.A. Sperling, G.B. Thompson, H.L. Fraser, S. Bose, P. Ayyub. Appl. Phys. Lett., 82, 4250 (2003). DOI: 10.1063/1.1582361
D. Hazra, S. Datta, M. Mondal, J. Ghatak, P.V. Satyam, A.K. Gupta. J. Appl. Phys., 103, 103535 (2008). DOI: 10.1063/1.2924332
E.G. Fu, Y.Q. Wang, M. Nastasi. J. Phys. D, 45, 495303 (2012). DOI: 10.1088/0022-3727/45/49/495303
R. Checchetto. Thin Solid Films, 302, 77 (1997). DOI: 10.1016/S0040-6090(96)09552-1
J. Chakraborty, K. Kumar, R. Ranjan, S.G. Chowdhury, S.R. Singh. Solid State Phenom., 160, 109 (2010). DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.160.109
F.J. Jing, T.L. Yin, K. Yukimura, H. Sun, Y.X. Leng, N. Huang. Vacuum, 86, 2114 (2012). DOI: 10.1016/j.vacuum.2012.06.003
A. Babushkin, R. Selyukov, I. Amirov. Proc. SPIE, 11022, 1102223 (2019). DOI: 10.1117/12.2521617
E. Chason, J.W. Shin, S.J. Hearne, L.B. Freund. J. Appl. Phys., 111, 083520 (2012). DOI: 10.1063/1.4704683
M.E. Day, M. Delfino, J.A. Fair, W. Tsai. Thin Solid Films, 254, 285 (1995). DOI: 10.1016/0040-6090(94)06259-N
Р.В. Селюков, М.О. Изюмов, В.В. Наумов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 8, 26 (2020). DOI: 10.31857/S1028096020080142 [R.V. Selyukov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov. J. Surf. Investig., 14 (4), 777 (2020). DOI: 10.1134/S1027451020040321]
F.C. Zumsteg, F.J. Cadieu, S. Marcelja, R.D. Parks. Phys. Rev. Lett., 25, 1204 (1970). DOI: 10.1103/PhysRevLett.25.1204
R.A. Stager, H.G. Drickamer. Phys. Rev., 133, A830 (1964). DOI: 10.1103/PhysRev.133.A830

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель