Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2023, выпуск 8 » Статья стр. 1101
<<<>>>
Изучение диодных свойств двойного слоя комбинированного газового разряда
DOI: 10.21883/JTF.2023.08.55971.11-23
Russian Science Foundation , 19-19-00101
Бржозовский Б.М. 1, Бровкова М.Б.1, Гестрин С.Г.1, Зинина Е.П.1, Мартынов В.В. 1
1Институт машиноведения им. А.А. Благонравова РАН, Москва, Россия
Email: bmbsar85@mail.ru, bmbsar@mail.ru, gestrin.s@yandex.ru, e-zinina@bk.ru, v_martynov@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2023 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2023 г.
Принята к печати: 29 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 23 июля 2023 г.
PDF версия
Показано, что при зажигании вблизи поверхности обрабатываемого изделия, размещенного в резонаторной камере, комбинированного газового разряда, возникает двойной слой, обладающий диодными свойствами. Повышение уровня подводимой в камеру СВЧ мощности привело к уменьшению сопротивлений эквивалентного диода в открытом и закрытом режимах и увеличению тока, протекающего через установку. Попадающие на поверхность изделия ионы ионизированного СВЧ полем технологического газа (азота или аргона), наполняющего камеру, диффундируют внутрь изделия в результате процесса термодиффузии, что привело к образованию упрочняющего поверхностного слоя. Разогрев изделия происходил при подаче на него положительного потенциала смещения потоком поступающих на поверхность высокоэнергичных электронов, ускоренных до энергий в десятки и сотни электронвольт в зоне ускорения разряда. Ключевые слова: комбинированный разряд, низкотемпературная плазма, ионно-плазменное диффузионное внедрение, плазменная упрочняющая обработка, двойной слой, диодный эффект. DOI: 10.21883/JTF.2023.08.55971.11-23
  1. В.К. Шелег, А.Н. Жигалов, Д.Д. Богдан. Наука и техника, 19 (4), 271, (2020)
  2. S. Hussain, X. Yang, M.K. Aslam, A. Shaheen, M.S. Javed, N. Aslam, B. Aslam, G. Liu, G. Qiao. Chem. Engineer. J., 391, 123595 (2020)
  3. L. Luis, J. Andrade, C.M. Pesqueira, I. Siqueira, G.B. Sucharski, M.J. de Sousa. J. Thermal Spray Technol., 30, 205 (2021). DOI: 10.1007/s11666-021-01152-8
  4. A. Mosavi, F. Salehi, L. Nadai, S. Karoly, N.E. Gorji. Results in Physics, 16, 102883 (2020). DOI: 10.1016/j.rinp.2019.102883
  5. В.Е. Громов, Ю.Ф. Иванов, С.В. Коновалов, Ю. Фенг, Д.А. Косинов. Вестник МГТУ им. Г.И. Носова, 14 (2), 69 (2016)
  6. S.N. Grigoriev, A.S. Metel, T.V. Tarasova, A.A. Filatova, S.K. Sundukov, M.A. Volosova, A.A. Okunkova, Yu.A. Melnik, P.A. Podrabinnik. Metals, 10 (11), 1540 (2020)
  7. V.A. Aleksandrov, L.G. Petrova, A.S. Sergeeva, V.D. Aleksandrov, E.U. Akhmetzhanova. Russ. Engineer. Res., 39 (8), 693 (2019)
  8. Н.В. Гаврилов, А.С. Мамаев, А.В. Чукин. Поверхность. Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования, 11, 61 (2017)
  9. S. Grigoriev, A. Metel, M. Volosova, Y. Melnik, H.A. Ney, E. Mustafaev. Technologies, 7 (3), 62 (2019). DOI: 10.3390/technologies7030062
  10. M. Ueda, C. Silva, B. Gelson, L. Pichon, H. Reuther. J. Vacuum Sci. Technol. B, 37, 042902 (2019). DOI: 10.1116/1.5092435
  11. L. Luiz, B.C.E.S. Kurelo, G.B. de Souza, J. de Andrade, C.E.B. Marino. Mater. Today Commun., 28, 102655 (2021). DOI: 10.1016/j.mtcomm.2021.102655
  12. B. Yang, Q. Shen, Z. Gan, S. Liu. Cryst. Eng. Comm., 21, 6574 (2019)
  13. К.Ф. Сергейчев, Н.А.Лукина, Н.Р. Арутюнян. Физика плазмы, 45 (6), 513 (2019)
  14. К.Ф. Сергейчев. Успехи прикладной физики, 3 (4), 342 (2015)
  15. N.V. Gavrilov, A.S. Mamaev, A.V. Chukin, J. Surf. Invest., 11, 1167 (2017)
  16. В.А. Шабашов, Н.В. Гаврилов, К.А. Козлов, А.В. Макарова, С.Г. Титова, В.И. Воронин. Физика металлов и металловедение, 119 (8), 802 (2018)
  17. V.A. Burdovitsin, D.A. Golosov, E.M. Oks, A.V. Tyunkov, Y.G. Yushkov, D.B. Zolotukhin, S.M. Zavadsky, Surf. Coat. Technol., 358, 726 (2019)
  18. N.N. Koval, A.I. Ryabchikov, D.O. Sivin, I.V. Lopatin, O.V. Krysina, Y.H. Akhmadeev, D.Y. Ignatov, Surf. Coat. Technol., 340, 152 (2018)
  19. T. Moskalioviene, A. Galdikas. Surf. Coatings Technol., 366, 277 (2019)
  20. A.S. Metel, S.N. Grigoriev, M.A. Volosova, Yu.A. Melnik, E.S. Mustafaev. Instruments and Еxperimental Тechniques, 65 (6), 910 (2022)
  21. W. De Oliveira, B. Kurelo, D. Ditzel, F. Serbena, C. Foerster, G. de Souza. Appl. Surf. Sci., 434, 1161 (2018)
  22. K. Norrman, Y. Wang, E. Stamate, W. Zhang. Heliyon, 5, e01943 (2019).
  23. W.R. de Oliveira, A.R. Mayer, G.B. de Sousa, H.D. Carvajal Fals, A.G.M. Pukasiewicz. J. Thermal Spray Technol., 32, 737 (2023)
  24. V.P. Budaev, S.D. Fedorovich, A.V. Lubenchenko, A.V. Karpov, N.E. Belova, M.K. Gubkin. Heliyon, 6, e05510 (2020)
  25. M.S. Stechyshyn, A.V. Martynyuk, Y.M. Bilyk, V.P. Oleksandrenko, N.M. Stechyshyna. Mater. Sci., 53, 343 (2017)
  26. B. Brzhozovskii, M. Brovkova, S. Gestrin, V. Martynov, E. Zinina. J. Phys. D: Appl. Phys., 51, 145204 (2018)
  27. B. Brzhozovskii, M. Brovkova, S. Gestrin, V. Martynov, E. Zinina J. Phys. D: Appl. Phys., 52, 485202 (2019)
  28. Б.М. Бржозовский, С.Г. Гестрин, Е.П. Зинина, В.В. Мартынов. ЖТФ, 87 (12), 1857 (2017)
  29. B. Brzhozovskii, M. Brovkova, S. Gestrin, E. Zinina, V. Martynov. Heliyon, 7, e07006 (2021)
  30. X. Deng, Y. Takaoka, H. Kousaka, N. Umehara. Surf. Coating. Technol., 238, 80 (2014)
  31. L.J. Zhu, Z.Q. Chen, Z.X. Yin, G.D. Wang, G.Q. Xia, Y.L. Hu, X.L. Zheng, M.R. Zhou, M. Chen, M.H. Liu. Chinese Phys. Lett., 31, 035203 (2014)
  32. Ya.I. Londer, K.N. Ulyanov. High Temp., 51 (1), 7 (2013)
  33. Ya.I. Londer, K.N. Ulyanov. High Temp., 52 (6), 787 (2014)
  34. Ю.П. Райзер. УФН, 132 (3), 549 (1980)
  35. V.I. Farenik. Phys. Surf. Eng., 2 (1), 117 (2004)
  36. Е.М. Лифшиц, Л.П. Питаевский. Теоретическая физика. Х. Физическая кинетика (Наука, М., 1979)
  37. Н.В. Гаврилов, А.И. Меньшаков. Приборы и техника эксперимента, 5, 140 (2011)
  38. А.К. Ребров, М.В. Исупов, А.Ю. Литвинцев, В.Ф. Буров. Прикладная механика и техническая физика, 59 (5), 5 (2018)
  39. A. Popovich, M. Shevchenko, S. Savin, E. Zavedeev, M. Zanaveskin, A. Sinogeykin, V. Ralchenko, V. Konov. Coatings, 10 (10), 939 (2020). DOI: 10.3390/coatings10100939
  40. K. An, S.W. Yu, X.J. Li, Y.Y. Shen, B. Zhou, G.J. Zhang, X.P. Liu. Vacuum, 117, 112 (2015). DOI: 10.1063/6.0000846
  41. C.J. Widmann, W. Muller-Sebert, N. Lang, C.E. Nebel. Diamond Related Mater., 64, 1 (2016)
  42. J. Weng, F. Liu, L.W. Xiong., J.H. Wang, Q. Sun. Vacuum, 147, 134 (2018).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme