Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7-30 nm
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56641.60-23 
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027, 075-15-2021-1361
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Email: garahins@ipmras.ru, lopatin@ipm.sci-nnov.ru, nechay@ipm.sci-nnov.ru, perekalov@ipmras.ru, aepestov@ipm.sci-nnov.ru, salashch@ipm.sci-nnov.ru, tsybin@ipm.sci-nnov.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2023 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2023 г.
Принята к печати: 28 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Рассчитаны и синтезированы многослойные интерференционные структуры, выступающие в качестве дисперсионных элементов для зеркального спектрометра на диапазон длин волн 7-30 nm. Реализованы три элемента: на диапазон λ=7-12 nm - многослойная структура Mo/B4C (число периодов N=60; толщина периода d=6.5 nm); на диапазон λ=11-18 nm - структура Mo/Bе (N=50; d=9.83 nm); на диапазон λ=17-30 nm - структура Be/Si/Al (N=40; d=18.2 nm). Для всего спектрального диапазона была получена эффективность более 10% при разрешении по длине волны 0.15-1.0 nm. Ключевые слова: мягкое рентгеновское и экстремальное ультрафиолетовое излучения, многослойные рентгеновские зеркала, лазерная плазма, спектроскопия.
- А.Е. Пестов, А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, А.Я. Лопатин, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, А.А. Соловьев, М.В. Стародубцев. Материалы XXVI Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника" (Нижний Новгород, 2022), т. 1, c. 580
- П.Н. Аруев, М.М. Барышева, Б.Я. Бер, Н.В. Забродская, В.В. Забродский, А.Я. Лопатин, А.Е. Пестов, М.В. Петренко, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, В.Л. Суханов, Н.И. Чхало. Квант. электрон., 42 (10), 943 (2012). [P.N. Aruev, M.M. Barysheva, B.Ya. Ber, N.V. Zabrodskaya, V.V. Zabrodskii, A.Ya. Lopatin, A.E. Pestov, M.V. Petrenko, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, V.L. Sukhanov, N.I. Chkhalo. Quant. Electron., 42 (10), 943 (2012). DOI: 10.1070/QE2012v042n10ABEH014901]
- Index of refraction [Электронный ресурс]. Режим доступа: https://henke.lbl.gov/optical_constants/getdb2.html, свободный
- M. Svechnikov. J. Appl. Cryst., 53, 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
- В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. УФН, 190 (1), 92 (2020). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623 [V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo. Phys. Usp., 63, 83 (2020). DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623]
- АО "Телеком-СТВ" [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.telstv.ru/?pageDen_silicon_wafers, свободный
- Р.С. Плешков, С.Ю. Зуев, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало, P. Jonnard. ЖТФ, 90 (11), 1870 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55760.60-23 [R.S. Pleshkov, S.Y. Zuev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, P. Jonnard. Tech. Phys., 65 (11), 1786 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110201]
- M.S. Bibishkin, D.P. Chehonadskih, N.I. Chkhalo, E.B. Kluyenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Proc. SPIE., 5401, 8 (2004). DOI: 10.1117/12.556949
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
