Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027, 075-15-2021-1350
Малышев И.В.
1, Михайленко М.С.
1, Пестов А.Е.
1, Торопов М.Н.
1, Чернышев А.К.
1, Чхало Н.И.
11Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: ilya-malyshev@ipmras.ru, mikhaylenko@ipmras.ru, aepestov@ipm.sci-nnov.ru, toropov@ipmras.ru, chernyshev@ipmras.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 19 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 19 апреля 2023 г.
Принята к печати: 19 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Методом ионно-пучковой коррекции формы малоразмерным ионным пучком сформирован неосесимметричный асферический профиль поверхности коллектора для источника экстремального ультрафиолетового излучения TEUS-S100 с числовой апертурой NA=0.25, размахом высот по поверхности - 36.3 μm, точностью формы по среднеквадратическому отклонению - 0.074 μm, что позволило получить пятно фокусировки шириной на полувысоте 300 μm. Для решения задачи произведена модернизация технологического источника ионов КЛАН-53М - заменена плоской ионно-оптической системы на фокусирующую. Ионно-оптическая система, состоящая из пары вогнутых сеток с радиусом кривизны 60 mm, обеспечила следующие параметры ионного пучка: ток ионов- 20 mA, ширина на полувысоте - 8.2 mm на расстоянии 66 mm от среза ионного источника. Ключевые слова: экстремальное ультрафиолетовое излучение, ионно-пучковая коррекция, ионный источник, асферика.
- L.N. Allen, H.W. Romig. Proc. SPIE, 1333, 22 (1990). DOI: 10.1117/12.22786
- S.R. Wilson, D.W. Reicher, J.R. McNeil. Proc. SPIE, 966, 74 (1988). DOI: 10.1117/12.948051
- N.P. Eisenberg, R. Carouby, J. Broder. Proc. SPIE, 1038, 279 (1988). DOI: 10.1117/12.951063
- M. Xu,Y. Dai, X. Xie, L. Zhou, W. Liao. Appl. Opt., 54 (27), 8055 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.008055
- M. Zeuner, S. Kiontke. Optik Photonik, 7 (2), 56 (2012). DOI: 10.1002/opph.201290051
- T. Franz, T. Hansel. Ion Beam Figuring (IBF) Solutions for the Correction of Surface Errors of Small High Performance Optics, Optical Fabrication and Testing (21-24 October 2008, Rochester, NY., United States), p.OThC7
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.opteg.com
- И.Г. Забродин, М.В. Зорина, И.А. Каськов, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1922 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55754.99-23 [I.G. Zabrodin, M.V. Zorina, I.A. Kas'kov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65 (11), 1837 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110274]
- T. Wang, L. Huang, M. Vescovi, D. Kuhne, K. Tayabaly, N. Bouet, M. Idir. Opt. Express, 27 (11), 15380 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.015368
- W. Liao, Y. Dai, X. Xie, L. Zhou. Appl. Opt., 53 (19), 4266 (2014). DOI: 10.1364/AO.53.004266
- Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.zemax.com/
- М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышов, Н.И. Чхало. ЖТФ, 91 (10), 1583 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51374.108-21 [M.N. Toropov, A.A. Akhsakhalyan, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 92 (13), 2141 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.13.52235.108-21]
- N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, S.N. Vdovichev, I.L. Strulya, Y.A. Plastinin, A.A. Rizvanov. J. Astron. Telesc. Instrum. Syst., 4 (1), 014003 (2018). DOI: 10.1117/1.JATIS.4.1.014003
- L.A. Cherezova, A.V. Mikha lov, A.P. Zhevlakov. J. Opt. Technol., 73 (11), 812 (2006). DOI: 10.1364/JOT.73.000812
- М.В. Зорина, И.М. Нефедов, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, С.А. Чурин, Н.И. Чхало. Поверхность, 8, 9 (2015). [M.V. Zorina, I.M. Nefedov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, S.A. Churin, N.I. Chkhalo. J. Surf. Investig., 9 (4), 765 (2015). DOI: 10.1134/S1027451015040394]
- A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov. Precis Eng., 69, 29 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
- M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, L.A. Goncharov, A.K. Chernyshev, I.G. Zabrodin, I. Kaskov, P.V. Krainov, D.I. Astakhov, V.V. Medvedev. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 1010, 165554 (2021). DOI: 10.1016/j.nima.2021.165554
- N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precis Eng., 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
- М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. УФН, 182 (7), 727 (2012). [M.M. Barysheva, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, N.I. Chkhalo. Phys.-Usp., 55 (7), 681 (2012). DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727]
- I.V. Malyshev, N.I. Chkhalo, A.D. Akhsahalian, M.N. Toropov, N.N. Salashchenko, D.E. Pariev. J. Mod. Opt., 64 (4), 413 (2017). DOI: 10.1080/09500340.2016.1241440
- N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Rev. Sci. Instrum., 79, 033107 (2008). DOI: 10.1063/1.2900561
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
