Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2023, выпуск 7 » Статья стр. 963
<<<>>>
Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии
DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55754.99-23
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56635.99-23
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027, 075-15-2021-1350
Малышев И.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е. 1, Торопов М.Н.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: ilya-malyshev@ipmras.ru, mikhaylenko@ipmras.ru, aepestov@ipm.sci-nnov.ru, toropov@ipmras.ru, chernyshev@ipmras.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 19 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 19 апреля 2023 г.
Принята к печати: 19 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
PDF версия
Методом ионно-пучковой коррекции формы малоразмерным ионным пучком сформирован неосесимметричный асферический профиль поверхности коллектора для источника экстремального ультрафиолетового излучения TEUS-S100 с числовой апертурой NA=0.25, размахом высот по поверхности - 36.3 μm, точностью формы по среднеквадратическому отклонению - 0.074 μm, что позволило получить пятно фокусировки шириной на полувысоте 300 μm. Для решения задачи произведена модернизация технологического источника ионов КЛАН-53М - заменена плоской ионно-оптической системы на фокусирующую. Ионно-оптическая система, состоящая из пары вогнутых сеток с радиусом кривизны 60 mm, обеспечила следующие параметры ионного пучка: ток ионов- 20 mA, ширина на полувысоте - 8.2 mm на расстоянии 66 mm от среза ионного источника. Ключевые слова: экстремальное ультрафиолетовое излучение, ионно-пучковая коррекция, ионный источник, асферика.
  1. L.N. Allen, H.W. Romig. Proc. SPIE, 1333, 22 (1990). DOI: 10.1117/12.22786
  2. S.R. Wilson, D.W. Reicher, J.R. McNeil. Proc. SPIE, 966, 74 (1988). DOI: 10.1117/12.948051
  3. N.P. Eisenberg, R. Carouby, J. Broder. Proc. SPIE, 1038, 279 (1988). DOI: 10.1117/12.951063
  4. M. Xu,Y. Dai, X. Xie, L. Zhou, W. Liao. Appl. Opt., 54 (27), 8055 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.008055
  5. M. Zeuner, S. Kiontke. Optik Photonik, 7 (2), 56 (2012). DOI: 10.1002/opph.201290051
  6. T. Franz, T. Hansel. Ion Beam Figuring (IBF) Solutions for the Correction of Surface Errors of Small High Performance Optics, Optical Fabrication and Testing (21-24 October 2008, Rochester, NY., United States), p.OThC7
  7. Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.opteg.com
  8. И.Г. Забродин, М.В. Зорина, И.А. Каськов, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1922 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55754.99-23 [I.G. Zabrodin, M.V. Zorina, I.A. Kas'kov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65 (11), 1837 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110274]
  9. T. Wang, L. Huang, M. Vescovi, D. Kuhne, K. Tayabaly, N. Bouet, M. Idir. Opt. Express, 27 (11), 15380 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.015368
  10. W. Liao, Y. Dai, X. Xie, L. Zhou. Appl. Opt., 53 (19), 4266 (2014). DOI: 10.1364/AO.53.004266
  11. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.zemax.com/
  12. М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышов, Н.И. Чхало. ЖТФ, 91 (10), 1583 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51374.108-21 [M.N. Toropov, A.A. Akhsakhalyan, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 92 (13), 2141 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.13.52235.108-21]
  13. N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, S.N. Vdovichev, I.L. Strulya, Y.A. Plastinin, A.A. Rizvanov. J. Astron. Telesc. Instrum. Syst., 4 (1), 014003 (2018). DOI: 10.1117/1.JATIS.4.1.014003
  14. L.A. Cherezova, A.V. Mikha lov, A.P. Zhevlakov. J. Opt. Technol., 73 (11), 812 (2006). DOI: 10.1364/JOT.73.000812
  15. М.В. Зорина, И.М. Нефедов, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, С.А. Чурин, Н.И. Чхало. Поверхность, 8, 9 (2015). [M.V. Zorina, I.M. Nefedov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, S.A. Churin, N.I. Chkhalo. J. Surf. Investig., 9 (4), 765 (2015). DOI: 10.1134/S1027451015040394]
  16. A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov. Precis Eng., 69, 29 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
  17. M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, L.A. Goncharov, A.K. Chernyshev, I.G. Zabrodin, I. Kaskov, P.V. Krainov, D.I. Astakhov, V.V. Medvedev. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 1010, 165554 (2021). DOI: 10.1016/j.nima.2021.165554
  18. N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precis Eng., 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  19. М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. УФН, 182 (7), 727 (2012). [M.M. Barysheva, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, N.I. Chkhalo. Phys.-Usp., 55 (7), 681 (2012). DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727]
  20. I.V. Malyshev, N.I. Chkhalo, A.D. Akhsahalian, M.N. Toropov, N.N. Salashchenko, D.E. Pariev. J. Mod. Opt., 64 (4), 413 (2017). DOI: 10.1080/09500340.2016.1241440
  21. N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Rev. Sci. Instrum., 79, 033107 (2008). DOI: 10.1063/1.2900561

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme