Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2023, выпуск 5 » Статья стр. 643
<<<>>>
Влияние химико-механической обработки кремниевых пластин на морфологию их поверхности и прочность
DOI: 10.21883/JTF.2023.05.55459.289-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2023.05.56066.289-22
Козлов В.А.1,2, Николаев В.И.1, Шпейзман В.В.1, Тимашов Р.Б.1, Поздняков А.О.1, Степанов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2AO ПК "ФИД-Техника", Санкт-Петербург, Россия
Email: shpeizm.v@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 26 декабря 2022 г.
В окончательной редакции: 5 марта 2023 г.
Принята к печати: 7 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 21 апреля 2023 г.
PDF версия
Исследована механическая прочность различных кремниевых пластин толщиной 100 μm в зависимости от способов их получения и режимов их последующей шлифовки или полировки, включая химико-механическую. Нагружение пластин проводили методом "кольцо-в-кольцо", величину напряжений и прогиба под малым кольцом определяли методом конечных элементов. Для всех исследованных образцов методами стилусной профилометрии и атомно-силовой микроскопии получены профили и параметры шероховатости пластин при сканировании поверхности вдоль базовой линии и по площади. Обнаружена корреляция между величиной прочности пластин и характерными параметрами профиля их поверхности (средними значениями величины и периода колебаний высоты неровностей). Ключевые слова: кремний, прочность, шероховатость поверхности, химико-механическая обработка. DOI: 10.21883/JTF.2023.05.55459.289-22
  1. F. Kaule, B. Kohler, J. Hirsch, S. Schoenfelder, D. Lausch. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 185, 511 (2018). DOI: 10.1016/j.solmat.2018.05.057
  2. V.A. Popovich, A. Yunus, M. Janssen, I.M. Richardson, I.J. Bennett. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 95, 97 (2011). DOI: 10.1016/j.solmat.2010.04.038
  3. V.A. Popovich, A.C. Riemslag, M. Janssen, I.J. Bennett, I.M. Richardson. Int. J. Mater. Sci., 3, 9 (2013)
  4. H. Sekhar, T. Fukuda, K. Tanahashi, H. Takato, H. Ono, Y. Sampei, T. Kobayashi. Mater. Sci. Semicond. Process., 119, 105209 (2020) DOI: 10.1016/j.mssp.2020.105209
  5. J.-H. Woo, Y.-Ch. Kima, S.-H. Kima, J. Jang, H. N. Hanc, K.J. Choi, I. Kim, J.-Y. Kima. Scripta Mater., 140, 1 (2017). DOI: 10.1016/j.scriptamat.2017.06.047
  6. M. Boniecki, P. Kaminski, W. Weso owski, K. Krzyzak. Maerialitye-Elektrniczne (Electron. Mater.), 44, 8 (2016)
  7. D. Echizenya, H. Sakamoto, K. Sasaki. Proced. Eng., 10, 1443 (2011). DOI: 10.1016/j.proeng.2011.04.239
  8. A.M. Gabor, R. Janoch, A. Anselmo, J.L. Lincoln, H. Seigneur, Ch. Honeker. Proc. of the IEEE 43rd Photovoltaic Specialists Conf (PVSC) (Portland, OR, USA, 2016), v. 6.1, p. 3574. DOI: 10.1109/PVSC.2016.7750338
  9. S. Gouttebroze, H.I. Lange, X. Ma, R. Glockner, B. Emamifard, M. Syvertsen, M. Vardavoulias, A. Ulyashin. Phys. Status Solidi A, 210, 777 (2013). DOI: 10.1002/pssa.201300003
  10. G. Coletti, N. van der Borg, S. De Iuliis, C.J.J. Tool, L.J. Geerligs. Proc of the 21st European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (Dresden, Germany, 2006), rx06032
  11. V.A. Popovich, W. Geerstma, M. Janssen, I.J. Bennett, I.M. Richardson. EPD Congress 2015. Ed. by J. Yurko, A. Allanore, L. Bartlett, J. Lee, L. Zhang, G. Tranell, Y. Meteleva-Fischer, S. Ikhmayies, A.S. Budiman, P. Tripathy, G. Fredrickson (Springer, 2016), 241-248
  12. E. Cereceda1, J. Barredo, J.R. Gutierrez, J.C. Jimeno. Proc. of the 25th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition. 5th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion (Valencia, Spain, 2010), 1665-68
  13. В.В. Шпейзман, В.И. Николаев, А.О. Поздняков, А.В. Бобыль, Р.Б. Тимашов, А.И. Аверкин. ЖТФ, 90 (1), 79 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.01.48665.148-19 [V.V. Shpeizman, V.I. Nikolaev, A.O. Pozdnyakov, A.V. Bobyl', R.B. Timashov, A.I. Averkin. Tech. Phys. 65 (1), 73 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220010259]
  14. S.E. Nikitin, V.V. Shpeizman, A.O. Pozdnyakov, S.I. Stepanov, R.B. Timashov, V.I. Nikolaev, E.I. Terukov, A.V. Bobyl. Mater. Sci. Semicond. Process., 15, 106386 (2022). DOI: org/10.1016/j.mssp.2021.106386
  15. G. Rozgonyi, K. Youssef, P. Kulshreshtha, M. Shi, E. Good. Solid State Phenomena, 178--179, 79 (2011). DOI: 10.4028/www.scientific.net/SS. P. 178-179.79
  16. A. Masolin, P. Bouchard, R. Martini, M.Bernacki. J. Mater. Sci., 48, 979 (2013). DOI: 10.1007/s10853-012-6713-7
  17. Ф.Ф. Витман, В.П. Пух. Заводская лаборатория, 29, 863 (1963)
  18. M. Oswald, T. Loewenstein, O. Anspach, J. Hirsch, D. Lausch, S. Schoenfelder. Proc of the European PV Solar Energy Conference and Exhibition (Amsterdam, Netherlands, 2014). DOI: 10.4229/EUPVSEC20142014-2AV.1.38
  19. М. Staudacher, T. Lube, J. Schlacher, P. Supancic. Open Ceramics, 6, 100101 (2021). DOI: 10.1016/j.oceram.2021.100101
  20. W. Weibull. J. Appl. Mech., 18, 293 (1951). DOI: 10.1115/1.4010337
  21. В.А. Степанов, Н.Н. Песчанская, В.В. Шпейзман. Прочность и релаксационные явления в твердых телах (Наука, Л., 1984), 245 с
  22. N.I. Kargin, A.S. Gusev, S.M. Ryndya, A.D. Bakun, A.E. Ieshkin, A.A. Akovantseva, P.I. Misurkin, S.G. Lakeev, I. Matushchenko, S.F. Timashev. Sci. Vis., 9, 28 (2017)
  23. М. Zaiser. Adv. Phys., 55, 185-245 (2006)
  24. Е. Федер. Фракталы (Мир, М., 1991) [J. Feder. Fractals (Plenum Press, NY., 1988)]
  25. Е. Bouchaud. J. Phys. Condens. Matter., 9, 4319 (1997). DOI: 10.1088/0953-8984/9/21/002
  26. В.А. Оборин, М.В. Банников, Ю.В. Баяндин, М.А. Соковиков, Д.А. Билалов, О.Б. Наймарк. Вестник ПНИПУ. Механика, 2, 116 (2015). [V.A. Oborin, M.V. Bannikov, Y.V. Bayandin, M.A. Sokovikov, D.A. Bilalov, O.B. Naimark. PNRPU Mech. Bull., 2, 116 (2015). DOI: 10.15593/perm.mech/2015.2.07]
  27. S.F. Timashev, Yu.S. Polyakov. Fluct. Noise Lett., 7, R15 (2007). DOI: 10.1142/S0219477507003829
  28. С.Д. Андреев, Л.С. Ивлев. Оптика атмосферы и океана, 10, 1450 (1997).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme