Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2023, выпуск 1 » Статья стр. 89
<<<>>>
Зондовое in situ измерение параметров плазмы при нанесении покрытий бора магнетронным методом
DOI: 10.21883/JTF.2023.01.54067.219-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2023.01.55443.219-22
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027 годы, 075-15-2021-1348
Гушенец В.И.1, Бугаев А.С.1, Визирь А.В.1, Окс Е.М.1,2, Николаев А.Г.1, Юшков Г.Ю.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
2Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
Email: gvi@opee.hcei.tsc.ru, bugaev@opee.hcei.tsc.ru, vizir@opee.hcei.tsc.ru, oks@opee.hcei.tsc.ru, nik@opee.hcei.tsc.ru, gyushkov@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 12 октября 2022 г.
Принята к печати: 14 октября 2022 г.
Выставление онлайн: 12 декабря 2022 г.
PDF версия
Описаны особенности зондовой методики и представлены результаты измерений параметров плазмы, генерируемой планарной магнетронной распылительной системой с мишенью из чистого бора в процессе нанесения покрытий. Особенность зондовых измерений заключалась в использовании нагрева собирающей поверхности одиночного ленгмюровского зонда. Нагрев приводил к снижению электрического сопротивления пленки бора на поверхности, что обеспечивало возможность проведения in situ зондовых измерений параметров плазмы магнетронного разряда в течение всего процесса нанесения покрытия бора. Ключевые слова: параметры плазмы, зондовый метод, планарный магнетрон, пленки бора.
  1. I. Campos, M. Palomar, A. Amador, R. Ganem, J. Martinez. Surf. Coat. Technol., 201, 2438 (2006). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2006.04.017
  2. C.V. Robino, M.J. Cieslak. Metall. Mater. Trans. A, 26 (7), 1673 (1995). DOI: 10.1007/BF02670754
  3. M. Kulka, N. Makuch, A. Piasecki. Surf. Coat. Technol., 325, 515 (2017). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2017.07.020
  4. A.N. Simonenko, V.A. Shestakov, V.N. Poboinya.  Metal Science and Heat Treatment, 24 (5), 360 (1982). DOI: 10.1007/BF00782814
  5. B. Sarma, N. Tikekar, K.S. Ravi Chandran. Ceramics International, 38 (8), 6795 (2012). DOI: 10.1016/j.ceramint.2012.05.077
  6. E. Rodri guez Cabeo, G. Laudien, S. Biemer, K.-T. Rie, S. Hoppe. Surf. Coat. Technol., 116-119, 229 (1999). DOI: 10.1016/S0257-8972(99)00116-4
  7. E.M. Oks, A. Anders, A.G. Nikolaev, Yu.G. Yushkov. Rev. Sci. Instrum., 88, 043506 (2017). DOI: 10.1063/1.4980149
  8. E.S. Greiner, J.A. Gutowski. J. Appl. Phys., 28 (11), 1364 (1957). DOI: 10.1063/1.1722660
  9. V.I. Gushenets, E.M. Oks, K.P. Savkin, A.V. Vizir, G.Yu. Yushkov, A. Hershcovitch, T.V. Kulevoy. Rev. Sci. Instrum., 81, 02B303 (2010). DOI: 10.1063/1.3258029
  10. Xu Sun, Xiaofei Liu, Jun Yin, Jin Yu, Yao Li, Yang Hang, Xiaocheng Zhou, Maolin Yu, Jidong Li, Guoan Tai, Wanlin Guo. Adv. Functional Mater., 27 (19), 1603300 (2017). DOI: 10.1002/adfm.201603300
  11. H.M. Mott-Smith, I. Langmuir. Phys. Rev., 28 (4), 727 (1926). DOI: 10.1103/PhysRev.28.727
  12. A.V. Vizir, A.G. Nikolaev, E.M. Oks, V.P. Frolova, A.A. Cherkasov, M.V. Shandrikov, G.Yu. Yushkov. Russ. Phys. J., 64 (12), 2177 (2022). DOI: 10.1007/s11182-022-02574-9
  13. P.V. Kashtanov, B.M. Smirnov, R. Hippler. Physics-Uspekhi, 50 (5), 455 (2007). DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
  14. T.E. Sheridan, M.J. Goeckner, J. Goree. J. Vac. Sci. Technol. A, 9 (3), 688 (1991). DOI: 10.1116/1.577344
  15. V. Karzin, V. Smirnov. J. Phys.: Conf. Ser., 729, 012021 (2016). DOI: 10.1088/1742-6596/729/1/012021
  16. D.J. Field, S.K. Dew, R.E. Burrell. J. Vac. Sci. Technol. A, 20 (6), 2032 (2002). DOI: 10.1116/1.1515800
  17. Bon-Woong Koo, Noah Hershkowitz, Moshe Sarfaty. J. Appl. Phys., 86 (3), 1213 (1999). DOI: 10.1063/1.370873
  18. W. Lochte-Holtgreven (Editor) Plasma Diagnostics (North-Holland, Amsterdam, 1968)
  19. R.L. Merlino. Am. J. Phys., 75 (12), 1078 (2007). DOI: 10.1119/1.2772282
  20. D. Bohm Chap. 3 in book The Characteristics of Electrical Discharges in Magnetic Fields A. Guthrie, R.K. Wakerling (Eds.), (McGraw-Hill, 1949)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme