Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 8 » Статья стр. 1238
<<<>>>
Алмаз-карбид-кремниевый композит "скелетон" как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов
DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54572.85-22
Зорина М.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Торопов М.Н.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1, Гордеев С.К.2, Виткин В.В.3
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2ЦНИИ материалов, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2022 г.
Принята к печати: 6 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
PDF версия
Предложено применение алмаз-карбид-кремниевого композита "Скелетон"oledR с покрытием из аморфного кремния в качестве подложек многослойных рентгеновских зеркал для мощных источников синхротронного излучения (3+ и 4-го поколения). Стандартными методами глубокой шлифовки-полировки на образцах получены поверхности со следующими параметрами: плоскостность на уровне RMS90%=54.2 nm; эффективная шероховатость sigmaeff~1.0 nm; высокочастотная шероховатость sigma2x2~0.1 nm. Ключевые слова: рентгеновская оптика, рентгеновские зеркала, подложки для рентгеновских зеркал, шероховатость.
  1. [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.esrf.eu/Apache_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf
  2. [Электронный ресурс] Режим доступа: https://www.maxiv.lu.se/about-us/
  3. S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Ya.V. Zubavichus, I.V. Rakshun. AIP Conf. Proc., 2299, 060001 (2020). DOI: 10.1063/5.0030346
  4. A.R. Belurea, A.K. Biswas, D. Raghunathan, Rishipal, S. Bhartiya, R. Singh, S.K. Rai, R.S. Pawade, M.P. Kamath, N.S. Benerji. Mater. Today: Proceed., 26, 2260 (2020). DOI: 10.1016/j.matpr.2020.02.490
  5. L. Assoufid, H. Graafsma. MRS Bull., 42 (6), 418 (2017). DOI: 10.1557/mrs.2017.118
  6. Z. Wang, L. Wu, Y. Fang, A. Dun, J. Zhao, X. Xu, X. Zhu. Micromachines, 13 (2), 318 (2022). DOI: 10.3390/mi13020318
  7. P.Z. Takacs. Synchrotron Radiat. News., 2 (26), 24 (1989). DOI: 10.1080/08940888908261239
  8. Н.И. Чхало, М.В. Зорина, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Д.С. Казаков, А.В. Мильков, И.Л. Струля. ЖТФ, 89 (11), 1686 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [N.I. Chkhalo, M.V. Zorina, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, D.S. Kazakov, A.V. Mil'kov, I.L. Strulya. Tech. Phys., 64 (11), 1596 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219110070]
  9. D. Zhu, Y. Feng, S. Stoupin, S.A. Terentyev, H.T. Lemke, D.M. Fritz, M. Chollet, J.M. Glownia, R. Alonso-Mori, M. Sikorski, S. Song, T.B. van Driel, G.J. Williams, M. Messerschmidt, S. Boutet, V.D. Blank, Yu.V. Shvyd'ko, A. Robert. Rev. Sci. Instrum., 85 (6), 063106 (2014). DOI: 10.1063/1.4880724
  10. K. Li, Y. Liu, M. Seaberg, M. Chollet, T.M. Weiss, A. Sakdinawat. Opt. Express., 28 (8), 10939 (2020)
  11. M. Polikarpov, V. Polikarpov, I. Snigireva, A. Snigirev. Phys. Proced., 84, 213 (2016). DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.037
  12. [Электронный ресурс] Режим доступа: http://siliconwafers.net/
  13. N. Khatri, R. Sharma, V. Mishra, H. Garg, V. Karar. Adv. Mater. Proc., 2 (7), 425 (2017). DOI: 10.5185/amp.2017/704
  14. L.N. Abdulkadir, K. Abou-El-Hossein, A.I. Jumare, P.B. Odedeyi, M.M. Liman, T.A. Olaniyan. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 96, 173 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1529-x
  15. A. Mir, X. Luo, K. Cheng, A. Cox. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 94, 2343 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1021-7
  16. C. Катаев, В. Сидоров, С. Гордеев. Электроника: НТБ, 3, 60 (2011)
  17. L. Peverini, E. Ziegler, T. Bigault, I. Kozhevnikov. Phys. Rev. B, 72, 045445 (2005)
  18. М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ю.М. Токунов. ЖТФ, 90 (11), 1958 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [M.N. Toropov, A.A. Akhsakhalyan, M.V. Zorina, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, Yu.M. Tokunov. Tech. Phys., 65 (11), 1873 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110262]
  19. И.Г. Забродин, М.В. Зорина, И.А. Каськов, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1922 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [I.G. Zabrodin, M.V. Zorina, I.A. Kas'kov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65 (11), 1837 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110274]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme