Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Алмаз-карбид-кремниевый композит "скелетон" как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54572.85-22 
Зорина М.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Торопов М.Н.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1, Гордеев С.К.2, Виткин В.В.3
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2ЦНИИ материалов, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
2ЦНИИ материалов, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2022 г.
Принята к печати: 6 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Предложено применение алмаз-карбид-кремниевого композита "Скелетон"oledR с покрытием из аморфного кремния в качестве подложек многослойных рентгеновских зеркал для мощных источников синхротронного излучения (3+ и 4-го поколения). Стандартными методами глубокой шлифовки-полировки на образцах получены поверхности со следующими параметрами: плоскостность на уровне RMS90%=54.2 nm; эффективная шероховатость sigmaeff~1.0 nm; высокочастотная шероховатость sigma2x2~0.1 nm. Ключевые слова: рентгеновская оптика, рентгеновские зеркала, подложки для рентгеновских зеркал, шероховатость.
- [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.esrf.eu/Apache_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf
- [Электронный ресурс] Режим доступа: https://www.maxiv.lu.se/about-us/
- S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Ya.V. Zubavichus, I.V. Rakshun. AIP Conf. Proc., 2299, 060001 (2020). DOI: 10.1063/5.0030346
- A.R. Belurea, A.K. Biswas, D. Raghunathan, Rishipal, S. Bhartiya, R. Singh, S.K. Rai, R.S. Pawade, M.P. Kamath, N.S. Benerji. Mater. Today: Proceed., 26, 2260 (2020). DOI: 10.1016/j.matpr.2020.02.490
- L. Assoufid, H. Graafsma. MRS Bull., 42 (6), 418 (2017). DOI: 10.1557/mrs.2017.118
- Z. Wang, L. Wu, Y. Fang, A. Dun, J. Zhao, X. Xu, X. Zhu. Micromachines, 13 (2), 318 (2022). DOI: 10.3390/mi13020318
- P.Z. Takacs. Synchrotron Radiat. News., 2 (26), 24 (1989). DOI: 10.1080/08940888908261239
- Н.И. Чхало, М.В. Зорина, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Д.С. Казаков, А.В. Мильков, И.Л. Струля. ЖТФ, 89 (11), 1686 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [N.I. Chkhalo, M.V. Zorina, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, D.S. Kazakov, A.V. Mil'kov, I.L. Strulya. Tech. Phys., 64 (11), 1596 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219110070]
- D. Zhu, Y. Feng, S. Stoupin, S.A. Terentyev, H.T. Lemke, D.M. Fritz, M. Chollet, J.M. Glownia, R. Alonso-Mori, M. Sikorski, S. Song, T.B. van Driel, G.J. Williams, M. Messerschmidt, S. Boutet, V.D. Blank, Yu.V. Shvyd'ko, A. Robert. Rev. Sci. Instrum., 85 (6), 063106 (2014). DOI: 10.1063/1.4880724
- K. Li, Y. Liu, M. Seaberg, M. Chollet, T.M. Weiss, A. Sakdinawat. Opt. Express., 28 (8), 10939 (2020)
- M. Polikarpov, V. Polikarpov, I. Snigireva, A. Snigirev. Phys. Proced., 84, 213 (2016). DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.037
- [Электронный ресурс] Режим доступа: http://siliconwafers.net/
- N. Khatri, R. Sharma, V. Mishra, H. Garg, V. Karar. Adv. Mater. Proc., 2 (7), 425 (2017). DOI: 10.5185/amp.2017/704
- L.N. Abdulkadir, K. Abou-El-Hossein, A.I. Jumare, P.B. Odedeyi, M.M. Liman, T.A. Olaniyan. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 96, 173 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1529-x
- A. Mir, X. Luo, K. Cheng, A. Cox. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 94, 2343 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1021-7
- C. Катаев, В. Сидоров, С. Гордеев. Электроника: НТБ, 3, 60 (2011)
- L. Peverini, E. Ziegler, T. Bigault, I. Kozhevnikov. Phys. Rev. B, 72, 045445 (2005)
- М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ю.М. Токунов. ЖТФ, 90 (11), 1958 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [M.N. Toropov, A.A. Akhsakhalyan, M.V. Zorina, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, Yu.M. Tokunov. Tech. Phys., 65 (11), 1873 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110262]
- И.Г. Забродин, М.В. Зорина, И.А. Каськов, И.В. Малышев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1922 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22 [I.G. Zabrodin, M.V. Zorina, I.A. Kas'kov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65 (11), 1837 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110274]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
