Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Локальное анодное окисление кремния для создания кроссбар-архитектуры
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54559.105-22 
1Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия 
Email: vpolyakova@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 28 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 28 апреля 2022 г.
Принята к печати: 28 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Показана возможность формирования нейроматрицы в виде кроссбар-архитектуры на кремниевой подложке. Кроссбар-архитектуру в виде набора перпендикулярно расположенных друг к другу наноразмерных проводников, между которыми находится слой оксида титана, способный менять свою проводимость под действием приложенного напряжения, предложено формировать с использованием метода локального анодного окисления. Представлены результаты исследования технологических параметров метода локального анодного окисления кремния и титана для реализации элементов данной нейроматрицы в виде мемристорной структуры. Ключевые слова: кремний, титан, локальное анодное окисление, нейроматрица, кроссбар.
- F.M. Bayat, M. Prezioso, B. Chakrabarti. Experimental Demonstration of Firing Rate Neural Networks Based on Metal-Oxide Memristive Crossbars. In Sh. Yu (editor). Neuro-inspired Computing Using Resistive Synaptic Devices. (Springer International Publishing, 2017), p. 113-134
- J. Hasler, H.B. Marr. Front. Neurosci., 7, 118 (2013)
- S. George, S. Kim, S. Shah, J. Hasler, M. Collins, F. Adil, R. Wunderlich. S. Nease, S. Ramakrishnan. IEEE Trans. Very Large Scale Integr. (VLSI) Syst., 24 (6), 2253 (2016)
- V.I. Avilov, O.A. Ageev, V.A. Smirnov, M.S. Solodovnik, O.G. Tsukanova. Nanotechnologies in Russia, 10 (3-4), 214 (2015)
- A.K. Soe, S. Nahavandi, K. Khoshmanesh. Biosens Bioelectron., 35 (1), 1 (2012). DOI: 10.1016/j.bios.2012.02.012
- R. Kruger-Sehm, T. Dziomba, G. Dai. XI International Colloquium on Surfaces (ICS) At: Chemnitz, Volume: XI. International Colloquium on Surfaces: Proceedings. Part 2, 31 (2004)
- C. Schindler, M. Weides, M.N. Kozicki, R. Waser. Appl. Phys. Lett., 92, 122910 (2008). DOI: 10.1063/1.2903707
- N. Clement, D. Tonneau, H. Dallaporta, V. Bouchiat, D. Fraboulet, D. Mariole, J. Gautier, V. Safarov. Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures, 13 (2-4), 999 (2002). DOI: 10.1016/S1386-9477(02)00288-6
- A.T. Giannitsis, Estonian J. Engineer., 17 (2), 109 (2011). DOI: 10.3176/eng.2011.2.03
- A.O. Ageev, B.G. Konoplev, V.V. Polyakov, A.M. Svetlichnyi, V.A. Smirnov. Russ. Microelectron., 36 (6), 353 (2007)
- G. Rius, M. Lorenzoni, S. Matsui, M. Tanemura, F. Perez-Murano. Beilstein J. Nanotechnol., 6, 215 (2015)
- J.A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto, H. Yokoyama. J. Appl. Phys., 84, 6891 (1998)
- R. Panajotovic. Cleaning Silicon and Gold-Coated Substrates for SPM Measurements. Institute of Physics, University of Belgrade, Belgrade, Serbia European Network on Applications of Atomic Force Microscopy to NanoMedicine and Life Sciences (AFM4NanoMed\&Bio) 29.11.2013, www.afm4nanomedbio.eu
- V.V. Polyakova, V.A. Smirnov, O.A. Ageev. Nanotechnologies in Russia, 13 (1-2), 84 (2018)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
