Вышедшие номера
Влияние осаждения атомов Ba и имплантации ионов Ba+ на электронную структуру монокристаллического Ge
Ташмухамедова Д.А.1, Умирзаков Б.Е.1, Эргашов Ё.С.1, Юсупжанова М.Б.1, Ёркулов Р.М.1
1Ташкентский государственный технический университет им. И.А. Каримова, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 24 декабря 2021 г.
Принята к печати: 27 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 14 февраля 2022 г.

Впервые исследовано влияние осаждения атомов Ba с толщиной theta≤3-4 монослоя и имплантации ионов Ba+ с энергией E0=0.5-2 keV на плотность состояний электронов валентной зоны, параметров энергетических зон, эмиссионных и оптических свойств Ge(111). Показано, что при осаждении атомов Ba с theta=1 монослой значение термоэлектронной работы выхода φ уменьшается на ~ 1.9 eV, а значение коэффициента вторичной электронной эмиссии sigmam и квантового выхода фотоэлектронов Y увеличивается в 1.5-2 раза. В случае имплантации ионов Ba+ с E0=0.5 keV при дозе облучения D=6·1016 cm-2 плотность состояния валентных электронов и параметры энергетических зон резко изменяются; квантовый выход фотоэлектронов увеличивается в 2 и более раз. Наблюдаемые изменения объясняются формированием на поверхности тонкого (~25-30 Angstrem) аморфного легированного слоя, состоящего из наноразмерных фаз типа Ba-Ge (~60-65 at.%) и избыточных (несвязанных) атомов Ba и Ge. При этом происходит уменьшение ширины запрещенной зоны Eg на ~ 0.3 eV. Ключевые слова: ионная имплантация, квантовый выход фотоэлектронов, эмиссионная эффективность, прогрев, ширина запрещенной зоны, аморфный слой.
  1. А.С. Дерябин, А.E. Долбак, М.Ю. Eсин, В.И. Машанов, А.И. Никифоров, О.П. Пчеляков, Л.В. Соколов, В.А. Тимофеев. Автометрия, 56 (5), 27 (2020). DOI: 10.15372/AUT20200503
  2. О.М. Сресели, М.А. Eлистратова, Д.Н. Горячев, E.В. Берегулин, В.Н. Неведомский, Н.А. Берт, А.В. Eршов. ФТП, 54 (10), 1112 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.10.49953.9468 [O.M. Sreseli, M.A. Elistratova, D.N. Goryachev, E.V. Beregulin, V.N. Nevedomskii, N.A. Bert, A.V. Ershov. Semiconductors, 54 (10),  1315 (2020). DOI: 10.1134/S1063782620100292] 
  3. А.В. Двуреченский, А.И. Якимов, А.В. Ненашев, А.Ф. Зиновьева. ФТТ, 46 (1), 60 (2004)
  4. S. Wirths, R. Geiger, N. von den Driesch, G. Mussler,  T. Stoica, S. Mantl, Z. Ikonic, M. Luysberg, S. Chiussi, J.M. Hartmann,  H. Sigg, J. Faist, D. Buca, D. Grutzmacher. Nature Photon., 9 (2), 88 (2015)
  5. G. Masini, L. Colace, G. Assanto. Mat. Sci. Eng. B, 89, 2 (2002). DOI: 10.1016/S0921-5107(01)00781-4
  6. L. Pavesi. J. Phys. Cond. Mat., 15 (26), R1169 (2003). DOI: 10.1088/0953-8984/15/26/201
  7. З.Ф. Красильник, А.В. Новиков. УФН,  170|,(3), 338 (2000). DOI: 10.3367/UFNr.0170.200003n.0338 [Z.F. Krasil'nik, A.V. Novikov. Phys. Usp.,  43, 295 (2000).  DOI: 10.1070/PU2000v043n03ABEH000703]  
  8. А.А. Дружинин, И.П. Островский, Ю.Н. Ховерко, С.И. Ничкало, Р.Н. Корецкий. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 5, 19 (2012)
  9. И.Г. Неизвестный. Автометрия, 52 (5), 5 (2016). DOI: 10.15372/AUT20160501
  10. Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. J. Cryst. Growth, 483, 265 (2018)
  11. Sh. Saito, A.Z. Al-Attili, K. Oda, Y. Ishikawa. Semicond. Sci. Technol.,  31 (4) 043002 (2016). DOI: 10.1088/0268-1242/31/4/043002
  12. J. Liu, L.C. Kimerling, J. Michel. Semicond. Sci. Tech.,  27 (9), 094006 (2012). DOI: 10.1088/0268-1242/27/9/094006
  13. Д.В. Юрасов, Н.А. Байдакова, А.Н. Яблонский, А.В. Новиков. ФТП, 54 (7), 685 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.07.49511.9379
  14. A.S. Zhuravlev, S. Dickmann, L.V. Kulik, I.V. Kukushkin. Phys. Rev. B, 89 (16), 161301 (2014). DOI: 10.1103/PhysRevB.89.161301
  15. Ф.Ю. Соломкин, А.С. Орехов, С.В. Новиков, Н.А. Архарова, Г.Н. Исаченко, Н.В. Зайцева, Н.В. Шаренкова, А.Ю. Самунин, В.В. Клечковская, А.Т. Бурков. ФТП, 53 (6), 770 (2019). DOI: 10.21883/FTP.2019.06.47725.34 [F.Yu. Solomkin, A.S. Orekhov, S.V. Novikov, N.A. Arkharova, G.N. Isachenko, N.V. Zaitseva, N.V. Sharenkova, A.U. Samunin,  V.V. Klechkovskaya, A.T. Burkov. Semiconductors, 53, 761 (2019). DOI: 10.1134/S1063782619060253]
  16. Л.К. Орлов, С.В. Ивин, В.М. Фомин. ЖТФ, 87 (3), 427 (2017). DOI: 10.21883/JTF.2017.03.44250.1925 [L.K. Orlov, S.V. Ivin, V.M. Fomin. Tech. Phys., 62 (3), 449 (2017).]
  17. B.E. Umirzakov, D.A. Tashmukhamedova, E.U. Boltaev, A.A. Dzhurakhalov. Mater. Sci. Eng. B, 101, 124 (2003)
  18. Ё.С. Эргашов, Д.А. Ташмухамедова, Б.E. Умирзаков. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 4, 104 (2017). DOI: 10.7868/S0207352817040084 [Y.S. Ergashov, D.A. Tashmukhamedova, B.E. Umirzakov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 11 (2), 480 (2017). DOI: 10.1134/S1027451017020252
  19. Р.М. Баязитов, Р.И. Баталов, E.И. Теруков, В.Х. Кудоярова. ФТТ, 43 (9), 1569 (2001)
  20. Ё.С. Эргашов, Д.А. Ташмухамедова, Э. Раббимов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 4, 38 (2015). DOI: 10.7868/S0207352815040083 [Y.S. Ergashov, D.A. Tashmukhamedova, E. Rabbimov. J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 9 (2), 350 (2015). DOI: 10.1134/S1027451015020287]
  21. Б.E. Умирзаков, Д.А. Ташмухамедова, А.К. Ташатов, Н.М. Мустафоева. ЖТФ, 89 (5), 759 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.05.47481.192-18 [B.E. Umirzakov, D.A. Tashmukhamedova, A.K. Tashatov, N.M. Mustafoeva. Tech. Phys., 64 (5), 708 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219050244]
  22. B. Schuller, R. Carius, S. Mantl. J. Appl. Phys., 94, 207 (2003). DOI: 10.1063/1.1576902
  23. Б.E. Умирзаков, Д.А. Ташмухамедова, Д.М. Мурадкабилов, Х.Х. Болтаев. ЖТФ, 83 (6), 66 (2013). [B.E. Umirzakov,  D.A. Tashmukhamedova, D.M. Muradkabilov, K.K. Boltaev. Tech. Phys., 58 (6), 841 (2013).]
  24. R. Geiger, T. Zabel, H. Sigg. Front. Mater., 2, 52 (2015). https://doi.org/10.3389/fmats.2015.00052
  25. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, В.А. Шустов, Н.М. Лядов, А.В. Новиков, П.А. Бушуйкин, Н.А. Байдакова, М.Н. Дроздов, П.А. Юнин. Автометрия, 55 (5), 5 (2019). DOI: 10.15372/AUT20190501
  26. R. Pillarisetty. Nature, 479, 324 (2011). https://doi.org/10.1038/nature10678
  27. E. Bruno, G.G. Scapelatto, G. Bisognin. E. Carria, L. Romano,  A. Carnera, F. Priolo. J. Appl. Phys, 108, 124902 (2010).   https://doi.org/10.1063/1.3520671

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.