Описаны метод изготовления и результаты исследований линзового корректора, преобразующего сферический расходящийся фронт в плоский и предназначенного для изучения плоских поверхностей в составе интерферометра с дифракционной волной сравнения. Особенностью корректора является использование асферической выпуклой поверхности с максимальным отклонением от ближайшей сферы ~ 200 μm. Приведены первые экспериментальные результаты, указывающие на перспективы применения ионно-пучковой обработки для улучшения качества волнового фронта. После процедуры ионно-пучковой обработки аберрации по всей апертуре корректора уменьшились более чем в 4 раза и составили по параметру перепада высот PV = 207 nm (~ λ/3) и среднеквадратичного отклонения (СКО) = 19.2 nm (~ λ/33). На площади диаметром 80% аберрации упали до нанометрового уровня: PV = 65 nm (~ λ/10) и СКО = 8.3 nm (~ λ/76). Ключевые слова: линзовый корректор, интерферометрия, асферическая линза, ионно-пучковое травление.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.