Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2021, выпуск 10 » Статья стр. 1583
<<<>>>
Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей
DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51374.108-21
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.13.52235.108-21
Торопов М.Н.1, Ахсахалян А.А.1, Малышев И.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Чернышов А.К.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: toropov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 14 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 14 апреля 2021 г.
Принята к печати: 14 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.
PDF версия
Описаны метод изготовления и результаты исследований линзового корректора, преобразующего сферический расходящийся фронт в плоский и предназначенного для изучения плоских поверхностей в составе интерферометра с дифракционной волной сравнения. Особенностью корректора является использование асферической выпуклой поверхности с максимальным отклонением от ближайшей сферы ~ 200 μm. Приведены первые экспериментальные результаты, указывающие на перспективы применения ионно-пучковой обработки для улучшения качества волнового фронта. После процедуры ионно-пучковой обработки аберрации по всей апертуре корректора уменьшились более чем в 4 раза и составили по параметру перепада высот PV = 207 nm (~ λ/3) и среднеквадратичного отклонения (СКО) = 19.2 nm (~ λ/33). На площади диаметром 80% аберрации упали до нанометрового уровня: PV = 65 nm (~ λ/10) и СКО = 8.3 nm (~ λ/76). Ключевые слова: линзовый корректор, интерферометрия, асферическая линза, ионно-пучковое травление.
  1. М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин, М.И. Бакаев, И.В. Белова, И.Я. Бубис, В.А. Вейденбах, Н.М. Воронцова, С.В. Данилов, Н.Ю. Дудкина, И.И. Духопел, С.М. Кузнецов, 3.А. Куклева, Г.В. Листратова, Б.И. Лодыгин, Ю.К. Лысяный, С.В. Любарский, А.В. Михайлов, В.Я. Назарова, Е.И. Понфиленок, Б.И. Петров, Г.Т. Петровский, В.П. Повещенко, Г.Д. Придатко, С.М. Прохорчик, В.Н. Савушкин, Р.С. Соколова, Н.В. Суйковская, Л.В. Тарновская, И.Д. Торбин, Л.А. Черезова, Б.А. Чунин, А.В. Шатилов, Э.И. Шепурев, 3.В. Широкшина, В.X. Ягмуров. Справочник технолога-оптика, под ред. М.А. Окатова. (Политехника, СПб, 2004), с. 679
  2. G.E. Sommargren. Laser Focus World, 8, 61 (1996)
  3. K. Otaki, K. Ota, I. Nishiyama, T. Yamamoto, Y. Fukuda, S. Okazaki. J. Vac. Sci. Technol. B, 20 (6), 2449 (2002). https://doi.org/10.1116/1.1526605
  4. D. Malacara, ed. Optical shop testing. (2 ed.) (John Wiley\&Sons, Inc., N Y., 1992) ISBN 0-471-52232-5,
  5. U. Dinger, F. Eisert, H. Lasser, M. Mayer, A. Seifert, G. Seitz, S. Stacklies, F.-J. Stickel, M. Weiser. Proc. SPIE, 4146, 35 (2000). DOI: 10.1117/12.406674
  6. J.M. Sasian. Opt. Eng., 27 (12), 1051 (1988). DOI: 10.1117/12.7978676
  7. J.H. Burge. Proc. SPIE, 2576, 258 (1995)
  8. C. Zhao, J.H. Burge., Proc. SPIE, 6723, 67230L (2007). DOI: 10.1117/12.782920
  9. Н.Б. Вознесенский, Е.В. Гаврилов, А.П. Жевлаков, В.К. Кирилловский, П.В. Орлов. ЖТФ, 77 (2), 126 (2007). [N.B. Voznesensky, E.V. Gavrilov, A.P. Zhevlakov, V.K. Kirillovskie, P.V. Orlov. Tech. Phys., 52 (2), 271 (2007). DOI: 10.1134/S106378420702020X]
  10. N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, A.A. Soloviev. Appl. Opt., 55 (3), 619 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.000619
  11. А.А. Ахсахалян, Д.А. Гаврилин, И.В. Малышев, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Б.А. Уласевич, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало. ЖТФ, 89 (11), 1789 (2019). DOI: 10/21883/jtf.2019.11.48346.115-19 [A.A. Akhsakhalyan, D.A. Gavrilin, I.V. Malyshev, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, B.A. Ulasevich, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 64 (11), 1698 (2019).]
  12. М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, И.В. Малышев, Б.А. Уласевич, Д.А. Гаврилин, А.А. Ахсахалян. "ИНТЕРФЕРОМЕТР". Заявка 201918818. Приоритет 18.06.20193. Зарегистрировано в Госреестре 19.02.2020. N 271486
  13. N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Physics-Uspekhi, 63 (1), 67 (2020). DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038601
  14. М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ю.М. Токунов. ЖТФ, 90 (11), 1958 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20 [M.N. Toropov, A.A. Akhsakhalyan, M.V. Zorina, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, Yu. M. Tokunov. Tech. Phys., 65 (11), 1873 (2020).]
  15. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (Наука, М., 1973)
  16. N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineer., 48, 338 (2017). DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  17. A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov. Precision Engineer., 69, 29 (2021). https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.01.006

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme