Распределение кластеров, сформированных sp2- и sp3-связями, в углеродной алмазоподобной тонкой пленке
Плотников В.А.1, Макаров С.В.1, Еремеенкова О.О.1, Шуткин А.А.1
1Алтайский государственный университет, Барнаул, Россия
Email: plotnikov@phys.asu.ru
Поступила в редакцию: 2 мая 2020 г.
Выставление онлайн: 15 декабря 2020 г.
Представлены экспериментальные исследования углеродных тонких пленок, полученных конденсацией на металлическую подложку углерода из парогазовой фазы. Испарение графитовых мишеней осуществляли расфокусированным лазерным излучением. С помощью электронной просвечивающей микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии и спектров комбинационного рассеяния показано, что структура углеродной пленки состоит из крупных алмазных непроводящих фрагментов с sp3-связями, по границам которых локализованы токовые области с sp2-связями. Ключевые слова: тонкая углеродная пленка, sp2-, sp3-связи, алмазные, графитовые кластеры, лазерное излучение.
- M.G. Beghi, A.C. Ferrari, K.B.K. Teo, J. Robertson, C.E. Bottani, A. Libassi, B.K. Tanner. Appl. Phys. Lett., 81 (20), 3804 (2002)
- K.W.R. Gilkes, P.H. Gaskell, J. Robertson. Phys. Rev. B, 51 (18), 12303 (1995)
- B.K. Tay, D. Sheeja, S.P. Lau, X. Shi, B.C. Seet, Y.C. Yeo. Surf. Coat. Technol., 130, 248 (2000)
- J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev., 35 (66), 2946 (1987)
- J. Robertson. Mater. Sci. Eng. R., 37, 129 (2002)
- V.A. Plotnikov, B.F. Dem'yanov, A.P. Yeliseeyev, S.V. Makarov, A.I. Zyiryanova. Diamond Relat. Mater., 91, 225 (2019)
- В.А. Плотников, Б.Ф. Демьянов, С.В. Макаров, А.И. Зырянова. Письма в ЖТФ, 45 (7), 52 (2019). V.A. Plotnikov, B.F. Dem'yanov, S.V. Makarov, A.I. Zyryanova. Tech. Phys. Lett., 45 (4), 359 (2019). DOI: 10.1134/S1063785019040126
- V.N. Inkin, G.G. Kirpilenko, A.A. Dementjev, K.I. Maslakov. Diamond Relat. Mater., 9, 715 (2000)
- N. Dwivedi, S. Kumar, H.K. Malik. J. Appl. Phys., 112, 023518 (2012)
- D.L. Pappas, K.L. Saenger, J. Bruley, W. Krakow, J.J. Cuomo, T. Gu, R.W. Collins. J. Appl. Phys., 71 (11), 5675 (1992)
- С.А. Петров. Вестн. БГУ. Сер. 1, 1, 43 (2012)
- В.А. Плотников, Б.Ф. Демьянов, К.В. Соломатин, С.В. Макаров, В.И. Ярцев. Фундаментальные проблемы современного материаловедения, 10 (1), 50 (2013)
- М.Д. Старостенков, И.В. Лощина, Б.Ф. Демьянов. Фундаментальные проблемы современного материаловедения, 2 (1), 62 (2005)
- A. Hoffman, A. Heiman, H.P. Strunk, S.H. Christiansen. J. Appl. Phys., 91 (5), 3336 (2002)
- В.А. Плотников, Б.Ф. Демьянов, С.В. Макаров. Письма в ЖТФ, 35 (20), 10 (2009)
- M.G. Beghi, A.C. Ferrari, K.B.K. Teo, J. Robertson, C.E. Bottani, A. Libassi, B.K. Tanner. Appl. Phys. Lett., 81 (20), 3804 (2002)
- S. Bhargava, H.D. Bist, S. Sahli, M. Aslam, H.B. Tripathi. Appl. Phys. Lett., 67, 1706 (1995)
- F. Tuinstra, J.L. Koening. J. Chem. Phys., 53, 1126 (1970)
- J.R. Hardy, S.D. Smith. Philos Mag., 6, 1163 (1961)
- P.H. Gaskell, A. Saeed, P. Chieux, D.R. McKenzie. Phys. Rev. Lett., 67, 1286 (1991)
- P.H. Gaskell, A. Saeed, P. Chieux, D.R. McKenzie. Philos. Mag. B, 66, 155 (1992)
- D.R. McKenzie, D. Muller, B. Pailthorpe. Diamond Relat. Mater., 1, 51 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.