Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом
Городецкий А.Е.
1, Маркин А.В.
1, Буховец В.Л.
1, Золотаревский В.И.
1, Залавутдинов Р.Х.
1, Бабинов Н.А.
2, Дмитриев А.М.
2, Раздобарин А.Г.
2, Мухин Е.Е.
21Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН, Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: aegorodetsky@mail.ru, avmarkin@mail.ru, utqexplorer@gmail.com, vzolot@phyche.ac.ru, rinadz@mail.r, babinovnikita@gmail.com, e.mukhin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 24 июля 2020 г.
Принята к печати: 11 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 11 октября 2020 г.
Исследовано влияние высокочастотного разряда на изменение топографии поверхности оптического кварца КУ-1 и пропускание видимого света (400-1000 nm). Рабочими газами разряда являлись D2 и смесь D2/N2, в которой доля N2 составляла 25 mol%. Добавление азота увеличивало скорость распыления с 60 до 300 nm/h при сохранении стехиометрии поверхностных слоев. После экспозиции в плазме среднеквадратичная шероховатость поверхности уменьшалась с 1.3 до 0.6 nm. Прозрачность кварца не изменилась. Анализ шероховатости и расчет диффузного рассеяния света с длиной волны 400 nm, прошедшего сквозь кварц, выполнены с использованием функций спектральной плотности мощности. Ключевые слова: кварц КУ-1, высокочастотный разряд, дейтерий, азот, атомно-силовая микроскопия, PSD-функция, пропускание света.
- D.V. Orlinski, V.T. Gritsyna. Problems of Atomic Science and Technology, 3, Series: Plasma Physics (5), 60 (2000)
- S. Takamura, T. Aota, Y. Uesugi, Y. Kikuchi, S. Maenaka, K. Fujita. Nucl. Fusion, 59, 046015 (2019)
- V.L. Bukhovets, A.E. Gorodetsky, R.Kh. Zalavutdinov, A.V. Markin, L.P. Kazansky, I.A. Arkhipushkin, A.P. Zakharov, A.M. Dmitriev, A.G. Razdobarin, E.E. Mukhin. Nucl. Mater. Energy, 12, 458 (2017)
- M. Zhou, M. Chen. Chem. Phys. Lett., 349 (1), 64 (2001)
- W. Orellana. Appl. Phys. Lett., 84 (6), 933 (2004)
- H.F. Winters, J.W. Coburn. Surf. Sci. Reports, 14, 161 (1992)
- A. Gujrati, S.R. Khanal, L. Pastewka, T.D.B. Jacobs. ACS Appl. Mater. Interfaces, 10, 29169 (2018). DOI: 10.1021/acsami.8b09899
- B.W. Scheer, J.C. Stover. SPIE, 3141, 78 (1997)
- N.I. Chkhalo, S.A. Churin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, M.V. Zorina. Optics Express, 22 (17), 20094 (2014). DOI:10.1364/OE.22.020094
- Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, В. Ермаков, С.И. Канорский, С.В. Кузин, С.В. Шестов, И.Л. Струля. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 8, 5 (2015)
- T. Jacobs, T. Junge, L. Pastewka. Surf. Topography: Metrology and Properties, 5 (1), 013001 (2017). DOI: 10.1088/2051-672X/aa51f8
- J.E. Harvey, S. Schroder, N. Choi, A. Duparre. Optical Engineer., 51 (1), 013402 (2012),
- E. Chason, T.M. Mayer. Appl. Phys. Lett., 62 (4), 363 (1993)
- K. Bhattacharjee, S. Bera, D.K. Goswami, B.N. Dev. Nucl. Instrum. Methods in Phys. Res. B, 230, 524 (2005)
- S. Schroder, T. Herffurth, A. Duparre, J.E. Harvey. Proceeding of SPIE --- The Intern. Society for Optical Engineer., 8169-28, 4, 1 (2011). DOI: 10.1117/12.896989
- R. Rougeot, R. Flamary, D. Mary, C. Aime. Astronomy \& Astrophysics, 626A1, 1 (2019). https: // doi.og/ 10.1051/0004-6361/201834634
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
