Влияние текстурирования поверхности пластин кремния для солнечных фотопреобразователей на их прочностные свойства
Шпейзман В.В.
1, Николаев В.И.
1, Поздняков А.О.
1, Бобыль А.В.
1, Тимашов Р.Б.
1, Аверкин А.И.
1, Никитин С.Е.
1, Коньков О.И.
1, Шелопин Г.Г.
1, Теруков Е.И.
1,2, Нащекин А.В.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: shpeizm.v@mail.ioffe.runkvlad@inbox.ru, bobyl@theory.ioffe.ru, nikitin@mail.ioffe.ru, oleg.konkov@mail.ioffe.ru, eug.terukov@mail.ioffe.ru, nashchekin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 ноября 2019 г.
В окончательной редакции: 27 ноября 2019 г.
Принята к печати: 15 января 2020 г.
Выставление онлайн: 7 апреля 2020 г.
Важной технологической операцией для повышения эффективности солнечных преобразователей на основе кремния является создание на поверхности кремния текстур с размерами шероховатостей, близкими к длинам волн видимого света. Рассмотрено влияние различных вариантов структурирования поверхности кремниевых пластин на их прочностные свойства. Рассмотрены четыре вида поверхностных текстур кремния: после избирательного травления в щелочном растворе, пирамидально текстурированные поверхности, текстурированные с помощью окисления под тонким слоем V2O5 и после высокотемпературного отжига и обработки в HF. Получены электронно-микроскопические изображения всех четырех текстур, и измерена прочность методом "кольцо-в-кольцо" по-разному текстурированных пластин кремния. Методом конечных элементов рассчитаны зависимости максимальных напряжений и прогиб под малым кольцом от нагрузки. Совпадение последней с экспериментом служило критерием правильности определения прочности пластин. Рассчитаны средние значения и среднеквадратичные отклонения прочности для каждой из четырех групп пластин кремния. Ключевые слова: кремний для солнечных преобразователей, структура поверхности, расчет напряжений, прочность.
- Taguchi M., Yano A., Tohoda S., Matsuyama K., Nakamura Y., Nishiwaki T., Fujita K., Maruyama E. // IEEE J. Photovoltaics. 2014. N 4. P. 96--99
- Kegel J., Angermann H., Sturzebecher U., Conrad E., Mews M., Korte L., Stegemann B. // Appl. Surf. Sci. 2014. Vol. 301. P. 56--62
- Kasap S., Capper P. (Eds.) Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials, Springer International Publishing AG. 2017
- Green A., Hishikawa Y., Warta W., Dunlop E.D., Levi D.H., Hohl-Ebinger J., Ho-Baillie A.W.Y. // Prog. Photovolt. Res. Appl. 2017. Vol. 25. P. 668--676
- ITRPV. Eigth. Edition, September 2017. http://www.semi.org/sites/semi.org/files/docs/ITRPV\_2014 \_Roadmap\_Revision1\_140324.pdf
- Kontges M., Kurtz S., Jahn U., Berger K.A., Kato K., Liu H., Friesen T., Van Iseghem M. // Rev. Failures Photovolt. Modul. Report IEA--PVPS T13--01:2014
- Forbes L. // Sol. Energy. 2012. Vol. 86. P. 319--325
- Edwards M., Bowden S., Das U., Burrows M. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2008. Vol. 92. P. 1373--1377
- Moreno M., Murias D., Marti nez J., Reyes-Betanzo C., Torres A., Ambrosio R., Rosales P., Roca i Cabarrocas P., Escobar M. // Solar Energy. 2014. Vol. 101. P. 182--191
- Buchler A., Beinert A., Kluska S., Haueisen V., Romer P., Heinz F.D., Glatthaar M., Schubert M. // Energy Proced. 2017. Vol. 124. P. 18--23
- Rion J., Leterrier Y., Mеnson J.-A.E., Blairon J.-M. // Composites: Part A. 2009. Vol. 40. P. 1167--1173
- Пат. РФ. N 2600076. Способ получения светопоглощающей кремниевой структуры. С.Е. Никитин, Е.Е. Терукова, А.В. Нащекин, А.В. Бобыль. 20.10.2016
- Никитин С.Е., Терукова Е.Е., Нащекин А.В., Бобыль А.В., Трапезникова И.Н., Вербицкий В.Н. // ФТП. 2017. T. 51. Bып. 1. C. 105
- Joachim Fruhauf. Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique. A Manual of Wet-Etched Silicon Structures. Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2005. Printed in Germany. 229 p. https://link.springer.com/content/pdf/10.1007%2Fb138230.pdf
- Angermann H., Laades A., Sturzebecher U., Conrad E., Klimm C., Schulze T.F., Jacob K., Lawerenz A., Korte L. // Solid State Phenomena. 2012. Vol. 187. N 349. P. 52
- Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Дж. Голдстейна, Х. Яковица. М.: Мир, 1978. 656 с
- Borghesi A., Pivac B., Sassella A., Stella A. // J. Appl. Phys. 1995. Vol. 77. P. 4169
- Wilson J.R., Levis M.E. // Nature. 1965. Vol. 206. P. 1350--1351
- Шпейзман В.В., Николаев В.И., Поздняков А.О., Бобыль А.В., Тимашов Р.Б., Аверкин А.И. // ЖТФ. 2020. Т. 90. Вып. 1. С. 79
- Gouttebroze S., Lange H.I., Ma X., Glockner R., Emamifard B., Syvertsen M., Vardavoulias M., Ulyashin A. // Phys. Status Solidi. A. 2013. Vol. 210. N 4. P. 777--784. DOI: 10.1002/pssa.201300003
- Gabor A.M., Janoch R., Anselmo A., Lincoln J.L., Seigneur H., Honeker Ch. // IEEE J. Photovolt. 2016. Vol. 6. N 1. P. 3575
- Rozgonyi G., Youssef K., Kulshreshtha P., Shi M., Good E. // Solid State Phenomena. 2011. Vol. 178--179. P. 79. DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.178-179.79
- Coletti G., van der Borg N., De Iuliis S., Tool C.J., Geerligs L.J. rx06032. 21st European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 4--8 September 2006, Dresden, Germany
- Rupnowski P., Sopori B. // Int. J. Fracture. 2009. Vol. 155. P. 67--74
- Popovich V.A., Geerstma W., Janssen M., Bennett I.J., Richardson I.M. EPD Congress. 2015. / Ed. J. Yurko, A. Allanore, L. Bartlett, J. Lee, L. Zhang, G. Tranell, Y. Meteleva-Fischer, S. Ikhmayies, A.S. Budiman, P. Tripathy, G. Fredrickson. TMS (The Minerals, Metals \& Materials Society). 2015. P. 242
- Витман Ф.Ф., Уфлянд Я.С., Иоффе Б.С. // Прикладная механика. 1970. Vol. 6. N 5. P. 122
- Степанов В.А., Песчанская Н.Н., Шпейзман В.В. // Прочность и релаксационные явления в твердых телах. Л.: Наука, 1984. 245 с
- Жога Л.В., Степанов В.А., Шпейзман В.В. // ФТТ. 1977. Т. 19. Вып. 8. С. 1521
- Галлагер P. Метод конечных элементов. Основы. М.: Изд-во Мир, 1984. 428 с. [ Gallagher R. Finite element analysis: Fundamentals. Prentice-Hall, Englewood Cliffs, N. J. 1975. 416 p.]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.