Модификация свойств поверхности свободных пленок Si-Cu имплантацией ионов активных металлов
Исаханов З.А.1, Косимов И.О.1, Умирзаков Б.Э.1, Ёркулов Р.М.1
1Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
Email: za.isakhanov@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 мая 2019 г.
В окончательной редакции: 20 мая 2019 г.
Принята к печати: 3 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.
Методами оже-электронной спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь энергии электронами и ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии изучено влияние имплантации ионов Ва+ на состав, кристаллическую и электронную структуры поверхности свободных пленок Si-Cu(100). В частности, показано, что имплантация ионов Ва и последующий отжиг позволяют получить нанопленки типа ВаSi с некоторым (до 10 at.%) избытком несвязанных атомов Si. Ключевые слова: оже-электронная спектроскопия, имплантации ионов Ва+, нанопленки.
- Komarov F., Vlasukova L., Greben M., Milchanin O., Zuk J., Wesch W., Wendler E., Togambaeva A. // Nukl. Instr. Meth. 2013. Vol. 307. P. 102--106
- Stepanov A.L., Trifonov A.A., Osin Y.N., Valeev V.F., Nuzhdin V.I. // Optoelectr. Adv. Mat. Rapid Comm. 2013. Vol. 7. N 9--10. P. 692--697
- Leong D.N., Harry M.A., Reeson K.J., Homewood K.P. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 68. P. 1649
- Мурадкабилов Д.М., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2013. N 10. С. 58--62. [ Muradkabilov D.M., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. // J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2013. Vol. 7. N 5. P. 967--971.]
- Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Рузибаева М.К., Ташатов А.К., Донаев С.Б., Мавлянов Б.Б. // ЖТФ. 2013. T. 83. Bып. 9. С. 146--149. [ Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Ruzibaeva M.K., Tashatov A.K., Donaev S.B., Mavlyanov B.B. // Tech. Phys. 2013. Vol. 58. N 9. P. 1383--1386.]
- Алиев А.А., Исаханов З.А., Рузибаева М.К. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2012. N 2. C. 56--61. [ Aliev A.A., Isakhanov Z.A., Ruzibaeva M.K. // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2012. Vol. 6. N 1. P. 149--153.]
- Умирзаков Б.Е., Исаханов З.А., Рузибаева М.К., Мухтаров З.Э., Халматов А.С. // ЖТФ. 2015. T. 85. Вып. 4. С. 123--125. [ Umirzakov B.E., Isakhanov Z.A., Ruzibaeva M.K., Mukhtarov Z.E., Khalmatov A.S. // Tech. Phys. 2015. Vol. 60. N 4. P. 600--602.]
- Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. // Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. 320 с
- Wakashima K., Fukamachi M., Nagakura S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1969. N 8. P. 1167
- Исаханов З.А., Кодиров Т., Халматов А.С., Рузибаева М.К., Мухтаров З.Э., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2017. N 1. С. 100--103. [ Isakhanov Z.A., Kodirov T., Halmatov A.S., Ruzibaeva M.K., Muhtarov Z.E., Umirzakov B.E. // J. Surf. Investigation, X-ray, Sinchrotron and Neutron Techniques. 2017. Vol. 11. N 1. P. 152--155.]
- Исаханов З.А., Умирзаков Б.Е., Кодиров Т., Халматов А.С., Эргашов Е.С. // Патент. N IAP 05741, 25.12.2018
- Рентгеновские, электронные спектры и химическая связь / Под ред. В.В. Горганова. Меж. вузовский сборник. Изд-во Дальневосточного ун-та. Владивосток, 1986. С. 222--290
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
