Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 11 » Статья стр. 1763
<<<>>>
Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона
DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48341.116-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110045
Presidium of the Russian Academy of Sciences, I.1 "Extreme light fields and their interaction with matter"
Russian Foundation for Basic Research, 18-32-00173
Russian Foundation for Basic Research, 17-52-150006
Russian Foundation for Basic Research, 18-32-00671
Барышева М.М. 1, Гарахин С.А. 1, Зуев С.Ю. 1, Полковников В.Н. 1, Салащенко Н.Н. 1, Свечников М.В. 1, Смертин Р.М.1, Чхало Н.И. 1, Meltchakov E.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, CNRS, Universite Paris-Saclay, Palaiseau Cedex, France
Email: mmbarysheva@ipmras.ru, garahins@ipm.sci-nnov.ru, zuev@ipmras.ru, polkovnikov@ipm.sci-nnov.ru, salashch@ipmras.ru, svch1991@gmail.com, smertin_ruslan@ipm.sci-nnov.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru, emela@free.fr
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
PDF версия
Разработаны и изготовлены широкополосные Mo/Si и Mo/Be многослойные зеркала стекового типа для диапазонов длин волн 11.1-13.8, 17-21 и 28-33 nm. Показано, что для таких структур равномерное отражение может быть достигнуто за небольшое число коррекций технологического процесса. Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические зеркала, стековые структуры, рефлектометр с лазерно-плазменным источником.
  1. Апериодические элементы в оптике мягкого рентгеновского диапазона / Под ред. Е.Н. Рагозина. М.: Физматлит, 2018. 131 c
  2. Shestov V., Ulyanov S., Vishnyakov E. // SPIE. 2002. Vol. 9144. P. 91443G1
  3. Yulin S. // SPIE. 2002. Vol. 4782. P. 196-203
  4. Вишняков Е.А., Каменец Ф.Ф., Кондратенко В.В. // Квант. электрон. 2012. Т. 42. N 2. С. 143-152
  5. Joensen K.D., Gorenstein P., Wood J.L., Christensen F.E. // Proc. SPIE. 1994. Vol. 2279. P. 180-189
  6. Kozhevnikov I.V., Bukreeva I.N., Ziegler E. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A. 2001. Vol. 460. N 2-3. P. 424-443
  7. Ziegler E., Bukreeva I.N., Kozhevnikov I.V., Pirozhkov A.S., Ragozin E.N. // Proc. SPIE. 1999. Vol. 3737. P. 386-395
  8. Бейгман И.Л., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // Письма в ЖЭТФ. 2001. Т. 74. N 3. С.167-171
  9. Гайкович П.К., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Шеферс Ф., Соколов А. // Квант. электрон. 2016. Т. 46. N 5. С. 406-413
  10. Kuhlmann T., Yulin S., Feigl T., Kaiser N., Bernitzki H., Lauth H. // Proc. SPIE. 2002. Vol. 4688. P. 509-515
  11. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я. и др. // Поверхность. Рент., синхр. и нейтр. исслед. 2017. N 1. С. 5-24
  12. Banine V., Benschop J.P., Leenders M., Moors R. // Proc. SPIE. The International Society for Optical Engineering. 2002. Vol. 3997. P. 126-135
  13. Braun S., Mai H., Moss M., Scholz R., Leson A. // Jpn. J. Appl. Phys. 2002. Vol. 41. P. 4074-4081
  14. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2018. Vol. 26. N 26. P. 33718-33731
  15. Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko F., Schafers N.N., Sertsu M.G., Sokolov A., Svechnikov M.V., Tatarsky D.A. // Opt. Lett. 2017. Vol. 42. N 24. P. 5070-5073
  16. Svechnikov M., Pariev D., Nechay A., Salashchenko N., Chkhalo N., Vainer Y., Gaman D. // J. Appl. Cryst. 2017. Vol. 50. P. 1428-1440
  17. Свечников М.В. // Нанофизика и наноэлектроника. Матер. XXIII Междунар. симпозиума. 2019. Т. 1. С. 519-520
  18. Windt D. // Computers in Physics. 1998. Vol. 12. N 4. P. 360-370
  19. Kuang S., Li S., Yang H., Huo T., Zhou H. // Opt. Precision Engineer. 2018. Vol. 26. N 10. P. 2395-2406
  20. Yao Y., Kunieda H., Wang Z. // Opt. Express. 2013. Vol. 21. N 7. P. 8638-8651
  21. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Рогачев Д.Н., Салащенко Н.Н., Струля И.Л., Чхало Н.И. // Изв. РАН. Сер. Физ. 2011. Т. 75. N 1. С. 71-76
  22. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.A., Chkhalo N.I., Gaponov S.V., Gusev S.A., Kluenkov E.B., Prokhorov K.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Zuev S.Yu. // Centr. Europ. J. Phys. 2003. Vol. 1. P. 191-209
  23. Гарахин С.А., Нечай А.Н., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Зуев С.Ю., Забродин И.Г., Каськов И.А., Пестов А.Е., Полковников В.Н. // Нанофизика и наноэлектроника. Матер. XXIII Междунар. симпозиума. 2019. Т. 1. С. 447-448.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme