Исследование изменения кристаллической структуры поверхности Si(111) при ионной бомбардировке и последуещего отжига
Ministry of innovation, Background support the basic research of the Republic of Uzbekistan., project F2-53
Ниматов С.Ж.
1, Умирзаков Б.Е.
1, Худайкулов Ф.Я.
1, Руми Д.С.
11Ташкентский государственный технический университет им. И.А. Каримова, Ташкент, Узбекистан
Email: Nimatov@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 ноября 2018 г.
В окончательной редакции: 29 ноября 2018 г.
Принята к печати: 10 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Представлены результаты исследования модификации поверхности Si(111) при бомбардировке ионами щелочных элементов в сочетании с отжигом и показано, что при энергии ионов в интервале 0.3-1 keV после прогрева на поверхности Si формируется монослойное покрытие силицида металла. Установлено, что работа выхода φ поверхности образца Si(111) сложным образом зависит от дозы при различных энергиях облучения и типах ионов. Ключевые слова: ионная бомбардировка, отжиг, монослойная пленка, структура, работа выхода.
- Pelaz L., Marques L.A., Barbolla J. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 96. N 11. P. 5947-5976
- Nord J., Nordlund K., Keinonen J. // Abstracts of 19 th International conference on atomic collisions in solids. 2001. Paris, 29 July-3 August. P. 110
- Shoji E., Shimoji H., Morimoto S. и др. // Abstracts of 19 th International conference on atomic collisions in solids. 2001. Paris, 29 July-3 August. P. 200
- Шемухин А.А., Балакшин Ю.В., Черныш В.С., Патракеев А.С. и др. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 19. С. 83-89. [ Shemukhin A.A., Balakshin Yu V., Chernysh V.S., Patrakeev A.S., et al. // Tech. Phys. Lett. 2012. Vol. 38. N 10. P. 907-909.]
- Ниматов С.Ж., Руми Д.С. // XХII Междунар. конф. по взаимодействия ионов с поверхностью. "ВИП-2015". М. 2015. Т. 2. C. 152-155
- Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Рузибаева М.К., Ташатов А.К., Донаев С.Б., Мавлянов Б.Б. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 9. С. 146-149.[ Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Ruzibaeva M.K., Tashatov A.K., Donaev S.B., Mavlyanov B.B. // Tech. Phys. 2013. Vol. 58. N 9. P. 1383-1386.]
- Громов Д.Г., Пятилова О.В., Булярский С.В., Белов А.Н., Раскин А.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. Вып. 3. С. 562-566
- Руми Д.С., Ниматов С.Ж., Атабаев Б.Г., Гарафутдинова И.А. // УФЖ. 2001. N 3-4. С. 205-209
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
