"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Разрядная система с самонакаливаемым полым катодом и испаряемым анодом в остроугольном магнитном поле для нанесения оксидных покрытий
Переводная версия: 10.1134/S1063784219060082
Гаврилов Н.В.1, Каменецких А.С.1, Емлин Д.Р.1, Третников П.В.1, Чукин А.В.2
1Институт электрофизики УрО РАН, Екатеринбург, Россия
2Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия
Email: gavrilov@iep.uran.ru
Поступила в редакцию: 1 июня 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.

Исследованы свойства разряда с самонакаливаемым полым катодом и испаряемым анодом, помещенными в остроугольное магнитное поле, создаваемое двумя встречно включенными катушками, установленными в области анода и катода. В области кольцевой магнитной щели установлен отрицательно смещенный держатель образцов. Сжатие столба разряда на аноде магнитным полем обеспечивает эффективное испарение металла (алюминий), загружаемого в анод-тигель, изменением тока катодной магнитной катушки регулировалось плотность генерируемой в объеме кислородсодержащей плазмы. Скорость нанесение покрытий из оксида алюминия реактивным анодным испарением в отличие от реактивного магнетронного распыления не ограничена окислением распыляемой мишени, ресурс термоэмиссионного катода составляет сотни часов. Высокая плотность ионного тока из плазмы (до 10 mA/cm2) обеспечивает снижение температуры кристаллизации и формирование нанокристаллических оксидных покрытий. Определены условия стабильного горения разряда с током до 40 А при давлении кислородно-аргоновой смеси 0.1 Pa. Приведены результаты зондовой диагностики параметров плазмы разряда, измерения скорости осаждения, анализа структуры и свойств покрытий из оксида алюминия. -18
  • Anders A. // J. Appl. Phys. 2017. Vol. 121. P. 171101
  • Morgner H., Neumann M., Straach S., Krug M. // Surf. Coat. Technol. 1998. Vol. 108--109. P. 513--519. doi: 10.1016/S0257-8972(98)00633-1
  • Zywitzki O., Goedicke K., Morgner H. // Surf. Coat. Technol. 2002. Vol. 151--152. P. 14--20. doi: 10.1016/S0257-8972(01)01632-2
  • McClure G.W. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. N 5. P. 2078--2084
  • Борисенко А.Г., Саенко В.А., Рудницкий В.А. // ТВТ. 1999. Т. 37. N 1. С. 5--12
  • Никитин М.М. // Известия РАН. Сер. физическая. 2010. Т. 74. N 2. С. 306--312
  • Kaufman H.R., Robinson R.S. // AIAA J. 1982. Vol. 20. N 6. P. 745--760 doi: 10.2514/3.51131
  • Полищук П., Ярцев И.М. // ТВТ. 1996. Т. 34. N 3. С. 385--391
  • Nerovnyi V.M., Khakhalev A.D. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. Vol. 41. P. 035201 (8pp). doi: 10.1088/0022-3727/41/3/035201
  • Гаврилов Н.В., Каменецких А.С., Третников П.В., Чукин А.В. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. Вып. 20. С. 86--94
  • Gavrilov N.V., Kamenetkikh A.S., Tretnikov P.V., Chuckin A.V. // Surf. Coat. Technol. 2018. Vol. 337. P. 453--460. doi: 10.1016/j.surfcoat.2018.01.058
  • Магнитные ловушки / О.А. Лаврентьев. Исследование электромагнитной ловушки. Киев: Наукова думка, 1968. C. 77--147
  • Гаврилов Н.В., Каменецких А.С., Спирин А.В., Чукин А.В. // ПТЭ. 2017. N 5. С. 136--141. [ Gavrilov N.V., Kamenetskikh A.S., Paranin S.N., Spirin A.V., Chukin A.V. // Instrum. Exper. Techniq. 2017. Vol. 60. N 4. P. 742--747.]
  • Schatz M. // Proceedings of the 18th International Electric Propulsion Conference, 30 September-2 October, 1985, Alexandria, VA, USA
  • Goebel D.M., Jameson K.K., Katz I., Mikellides I.G. // IEPC-2007-277. Proceedings of the 30th International Electric Propulsion Conference, Florence, Italy, September 17-20, 2007
  • Физика газового разряда / Райзер Ю.П. М.: Наука, 1992. 536 с.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.