"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Электронные и оптические свойства нанопленок NiSi2/Si
Переводная версия: 10.1134/S1063784219050244
Умирзаков Б.Е.1, Ташмухамедова Д.А.1, Ташатов А.К.1, Мустафоева Н.М.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@rambler.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2019 г.

Определены оптимальные условия ионной имплантации и последующего отжига для получения наноразмерных пленок NiSi2/Si (111) с толщиной 3.0-6.0nm. Показано, что зонно-энергетические параметры и оптические свойства, характерные для толстых пленок NiSi2, начинают устанавливаться с d=5.0-6.0 nm. -18
  • Алексеев А.А., Олянич Д.А., Утас Т.В., Котляр В.Г., Зотов А.В., Саранин А.А. // ЖТФ. 2015. T. 85. Вып. 10. С. 94--100
  • Kim K.J., Kang T.-H., Kim K.-W., Shin H.-J., Kim B. // Appl. Surf. Sci. 2000. Vol. 161. P. 268--275
  • Starke U., Schardt J., Weib W., Rangelov G., Fauster T.H., Heinz K. // Surf. Rev. Lett. 1998. Vol. 5. P. 139--144
  • Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р., Молоцов С.Л., Вялых Д.В. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 8. С. 1519
  • Colinge J.P. // Material Research Society Proceedings. 1985. Vol. 35. P. 653. http://dx.doi.org/doi 10.1557/ PROC-35-653
  • Алтухов А.А., Жирнов В.В. Анализ морфологии и стехиометрии пленок CoSi/Si(100), полученных методами ТФЭ и РЭ // Материалы II-го Всесоюзного межотраслевого совещания "Тонкие пленки в электронике": Москва-Ижевск. 1991. С. 15
  • Рудаков В.И., Денисенко Ю.И., Наумов В.В., Симакин С.Г. // Микроэлектроника. 2011. Т. 40. N 6. C. 424--429
  • Мурадкабилов Д.М., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Pентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. N 10. С. 58-62. [ Muradkabilov D.M., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2013. Vol. 7. N 5. P. 967--971.]
  • Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Рузибаева М.К., Ташатов А.К., Донаев С.Б., Мавлянов Б.Б. // ЖТФ. 2013. T. 83. Вып. 9. С. 146--149. [ Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Ruzibaeva M.K., Tashatov A.K., Donaev S.B., Mavlyanov B.B. // Techn. Phys. 2013. Vol. 58. N 9. P. 1383--1386.]
  • Umirzakov B.E., Pugacheva T.S., Tashatov A.K., Tashmukhamedova D.A. // NIM--B. 2000. Vol. 166--167. P. 572--576
  • Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Мурадкабилов Д.М., Болтаев Х.Х. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 6. С. 66--70 [Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Muradkabilov D.M., Boltaev K.K. // Technical Physics, 2013, Vol. 58, N 6, p. 841--844.]
  • Самсонов Т.В., Дворина Л.А., Рудь Б.М. Силициды. М.: Металлургия, 1979. 372 с.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.