"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Модель термического окисления кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063784219040108
Фадеев А.В.1, Девятко Ю.Н.2
1Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: AlexVFadeev@gmail.com
Поступила в редакцию: 26 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

Миниатюризация и увеличение скорости работы электронных приборов требует получения диэлектрических пленок оксида кремния нанометровой толщины. Для создания таких структур необходимо понимание процесса начального окисления кремния. Предложена теоретическая модель термического окисления тонких монослоев кремния, учитывающая рост напряжений в переходном слое оксид --- подложка по мере накопления в нем кислорода. -18
  1. Watanabe H., Kato K., Uda T., Fujita K., Ichikawa M. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 80. N 2. P. 345-348
  2. Green M.L., Gusev E.P., Degraeve R., Garfunkel E.L. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. N 5. P. 2057-2121
  3. Bongiorno A., Pasquarello A. // J. Mater. Sci. 2005. Vol. 40. P. 3047-3050
  4. Lu H.C., Gustafsson T., Gusev E.P., Garfunkel E. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 67. P. 1742-1744
  5. Gusev E.P., Lu H.C., Gustafsson T., Garfunkel E. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1994. Vol. 318. P. 69-74
  6. Deal B.E., Grove A.S. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. N 12. P. 3770-3778
  7. Tsetseris L., Pantelides S. T. // PRL. 2006. Vol. 97. P. 116101
  8. Akiyama T., Kageshima H. // Surf. Sci. 2005. Vol. 576. P. L65-L70
  9. Hattori T., Suzuki T. // Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 43. N 5. P. 470-472
  10. Himpsel F.G., Mc Feely F.R., Taleb-Ibrahimi A., Yarmoff J.A., Hollinger G. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 38. N 9. P. 6084-6096
  11. Borman V.D., Gusev E.P., Lebedinskii Yu.Yu., Troyan V.I. // Phys. Rev. Lett. 1991. Vol. 67. N 17. P. 2387-2390
  12. Ohishy K., Hattoty T. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. Vol. 33. P. L675-l678
  13. Szekeres A. // NATO Sci. Series 3 High Technol. 1998. Vol. 47. P. 65-73
  14. Almadia R.M.C., Goncalves S., Baumvol I.J.R. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N 19. P. 12992-12999
  15. Александров О.В., Дусь А.И. // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 11. С. 1400-1406
  16. Gerlach G., Maser K. // Adv. Cond. Matt. Phys. 2016. Vol. 2016. P. 1-13
  17. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Статистическая физика. М.: Наука, 1998. C. 567
  18. Kageshima H., Shiraishi K. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 81. N 26. P. 5936-5939

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.