Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Синтез пленок нанокристаллического графита в разряде с полым катодом
Переводная версия: 10.1134/S1063784218080194 
Сорокин И.А.
1,2, Колодко Д.В.
1,2, Шустин Е.Г.
1,2
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия 
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: iasorokin@mail.ru, dobrynya_kol@mail.ru, shustin@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 29 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.
Представлены результаты экспериментов по получению пленок нанокристаллического графита в тлеющем разряде с полым катодом на подложку Ni(111) на сапфире. Приведены характеристики разряда для разных газов и давлений, измерены эмиссионные спектры плазмы и проведена характеризация получаемых слоев с помощью методов комбинационного рассеяния и атомно-силовой микроскопии. Также измерена автоэлектронная эмиссия нанокристаллического графита. Полученные слои обладают хорошей однородностью, высокой автоэлектронной эмиссией. Выявлено наличие вертикально растущего графена.
- Robertson J. // Matertal Sci. Engineering. 2002. Vol. 37. N 4-6. P. 129--282
- Milne W.I. // Semicond. Sci. Technol. 2003. Vol. 18. N 3. P. S81--S85
- Milne W.I., Robertson J., Satyanarayana B.S., Hart A. // Int. J. Mod. Phys. 2000. Vol. 14. N 2--3. P. 301--307
- Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1969. 184 c
- Borisyuk Y.V., Oreshnikova N.M., Mozgrin D.V., Stepanova T.V., Pisarev A.A. // J. Physics: Conf. Series. 2016. Vol. 747. N 1
- Chu P.K., Li L. // Mater. Chem. Phys. 2006. Vol. 96. N 2--3. P. 253--277
- Sinelnikov D.N., Kurnaev V.A., Mamedov N.V. // J. Surf. Investigation. 2015. Vol. 9. N 6. P. 1281--1286
- Zhai C.X., Zhang Z.Y., Zhao L.L., Wang X.W., Zhao W. // Thin Sol. Films. 2015. Vol. 574. P. 10--14
- Ha J.M., Kim H.J., Raza H.S., Cho S.O. // Nanoscale Research Letters. 2013. Vol. 8. N 1. P. 1--8
- Xu N.S., Chen Y., Deng S.Z., Chen J., Ma X.C., Wang E.G. // J. Physics D: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. N 11. P. 1597--1601
- Шустин Е.Г., Исаев Н.В., Лузанов В.А., Темирязева М.П. // ЖТФ. 2017. Т. 87. Вып. 7. С. 1053--1056
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
